一种直拉单晶炉连续补料装置的制作方法

文档序号:11836550阅读:241来源:国知局

本实用新型属于硅材料制造技术领域,具体涉及一种直拉单晶炉连续补料装置。



背景技术:

目前,现有的补料技术,按照对直拉单晶炉炉体是否需要改造分为两类,一类是需要对炉体进行改造的补料技术,另一类是对炉体不需要进行改造的补料技术,对炉体改造的成本较高,对大型原有设备不容易改造;对炉体不需要改造的补料技术更容易实施及大批量推广。

对于炉体不需要进行改造的补料技术目前存在不能连续多次加料、容易卡料以及一次性装料少等缺点,该类填料技术均有连杆结构,而且连杆均在料筒中央,连杆在装满原料的料筒内控制填料器下口的开合动作容易出现卡料等问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种直拉单晶炉连续补料装置,解决了现有的直拉单晶炉设备不能连续加料的缺点。

本实用新型所采用的技术方案是:一种直拉单晶炉连续补料装置,包括装料筒和与其活动连接的底盖,底盖上设置有至少一根直连杆,直连杆通过头部连接的连接重锤悬挂于钢丝绳夹头上,装料筒的筒体上设置有限位盘。

本实用新型的特点还在于,

底盖和装料筒通过合页活动连接。

底盖上的直连杆上设有软连接段。

直连杆设置有一根,合页和直连杆的位置相对设置。

直连杆设置有两根,两根直连杆的上端通过连接横梁连接,连接重锤固定于连接横梁上,两根直连杆与合页的位置构成等腰三角形。

限位盘上与直连杆相对应的位置设置有穿孔并且直连杆穿过限位盘。

底盖为半球形,装料筒为与底盖形状相适应的圆柱形。

装料筒为碳碳装料筒、氮化硅装料筒、碳化硅装料筒、氧化锆装料筒或者石英装料筒。

本实用新型的有益效果是:本实用新型提供一种结构简单、可以多次连续、又平稳安全投料的直拉单晶炉补料装置,解决了现有的直拉单晶炉设备不能连续加料的缺点,减少了拉制单晶过程中产生过多的埚底料等次品物料,降低了拉制单晶硅生产成本。

附图说明

图1是本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置的结构示意图。

图中,1.连接重锤,2.连接横梁,3.直连杆,4.装料筒,5.限位盘,6.软连接段,7.合页,8.底盖。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的一种直拉单晶炉连续补料装置的结构如图1所示,其结构包括装料筒4,装料筒4为圆柱形,可达到装料方便又能满足一次性装料量大的特点,在装料筒4中上部设置有限位盘5,在连接横梁2上固定有连接重锤1、两端向下分别连接有直连杆3,直连杆3的另一端固定于底盖8上,连接重锤1可以直接连接在悬挂籽晶的钢丝绳夹头上,操作简单又能保障安全性,控制底盖8开合的有直连杆3、软连接段6和合页7,在直连杆3上设计的软连接段6,可以控制底盖8开合时以弧形的方式缓慢打 开,使装料筒4内的硅料缓慢补入单晶炉内。

事例性的,直连杆3也可以只设置一根,其头部与连接重锤1直接相连,并且位置与合页7相对,即直连杆3与合页7分别位于底盖8的两端。

本实用新型提供的一种直拉单晶炉连续补料装置的装料筒4可以为耐高温、抗腐蚀的材料制成,例如装料筒4可以为碳碳装料筒、氮化硅装料筒、碳化硅装料筒、氧化锆装料筒或者石英装料筒。

本实用新型提供的一种直拉单晶炉连续补料装置的工作过程如下:

步骤1、先进行副室隔离,隔离完成后转出副室,使安装籽晶的钢丝绳夹头降到与连接重锤1处于同一水平,用销钉固定连接重锤1与钢丝绳夹头,确认连接可靠后提升本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置;

步骤2、当本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置完全进入副室时,合上副室进行副室净化;

步骤3、净化完成后打开隔离阀,下降本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置,使限位盘5下降到指定位置后,继续下降钢丝绳,使直连杆3及软连接段6继续下降,底盖8会由合页7另一侧缓慢打开,使装料筒4内部的硅料缓慢补入单晶炉内;

步骤4、补料完成后立即提升本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置,进入副室后关闭隔离阀进行隔离及冷却;

步骤5、当补料装料冷却2-10分钟后,将副室充至大气,提升副室,将本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置与副室同步转出并取出本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置。

根据不同的热场及炉型可以按照上述步骤多次给直拉单晶炉内补料。

由于本实用新型的一种直拉单晶炉连续补料装置中把直连杆设置在装料筒外侧,从而解决了以前连杆在装料筒中心容易卡料、装料较少等问题;在装料筒中上部设计的限位盘起保护装料筒在下降过程中只能下降到指定 位置就自动停止下降,限位盘还可以根据不同热场及炉型上下调节,使现有的连续补料装置满足不同热场及炉型的连续补料;在连接横梁上设计的连接重锤可以直接悬挂在连接籽晶的钢丝绳夹头上,操作简单、安全;底盖设计为半球形,有效防止了加料时产生溅硅、热辐射等问题,容易开合;控制底盖开合的有合页、直连杆、软连接,可以更好地保障底盖的开合度,又可以保证装料筒内部硅料装满时,不会撒漏在单晶炉外部;在直连杆上设计有软连接段,可以控制底盖开合时以弧形的方式缓慢打开,使装料筒内的硅料缓慢补入单晶炉内。

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