直拉单晶用加热器的制作方法

文档序号:11040363阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种直拉单晶用加热器,其特征在于:包括圆筒状的加热器本体(110),所述加热器本体(110)包括上部产热部(112)和下部产热部(114),所述上部产热部(112)的产热量大于下部产热部(114)的产热量;所述直拉单晶用加热器(100)安装到单晶炉中后,上部产热部(112)与单晶棒结晶面以及单晶棒结晶面以上的区域对应,下部产热部(114)与坩埚对应。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:所述直拉单晶用加热器为电阻加热器,所述上部产热部(112)的电阻值大于下部产热部(114)的电阻值。

3.根据权利要求2所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:所述上部产热部(112)上分布有多个上部槽孔(1121),下部产热部(114)上分布有多个下部槽孔(1141)。

4.根据权利要求3所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:所述上部槽孔(1121)的数量多于下部槽孔(1141)的数量。

5.根据权利要求3所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:下部槽孔(1141)的顶端向上延伸至上部产热部(112)。

6.根据权利要求1所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:所述加热器本体(110)的底端连接有多个在圆周方向均匀分布的安装座(120),该多个安装座(120)的数量为两个以上。

7.根据权利要求6所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:该多个安装座(130)的数量为4个。

8.根据权利要求6所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:多个安装座(120)中的其中两个安装座(120)兼具安装座和电极脚功能。

9.根据权利要求3所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:上部槽孔(1121)和下部槽孔(1141)分别为竖直的细条状结构。

10.根据权利要求3所述的直拉单晶用加热器,其特征在于:多个上部槽孔(1121)沿着圆周方向均匀排列在上部产热部(112)上,多个下部槽孔(1141)沿着圆周方向均匀排列在下部产热部(114)上。

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