陶瓷件及其制作方法与流程

文档序号:25544016发布日期:2021-06-18 20:41阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种陶瓷件制作方法,其特征在于,包括:

在陶瓷粉粒中加入胶黏剂,形成陶瓷生胚;

在所述陶瓷生胚未完全固化之前,采用具有指定图形的模板压入所述陶瓷生胚的待加工表面,以在所述待加工表面形成与所述模板对应的粗糙度图形;

在经过指定时长之后,取出所述模板;

待所述陶瓷生胚完全固化之后,对所述陶瓷生胚进行烧结。

2.根据权利要求1所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,所述指定图形包括凸起阵列图形。

3.根据权利要求2所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,所述凸起阵列图形包括在所述模板的工作表面上呈阵列排布的多个尺寸相同的凸起。

4.根据权利要求3所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,多个所述凸起等间距排列;或者,多个所述凸起连续排列。

5.根据权利要求3所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,所述凸起的外径自所述工作表面朝远离所述工作表面的方向逐渐减小。

6.根据权利要求5所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,所述凸起为圆锥体、圆台或者半球体中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,所述模板包括石英板或者树脂板。

8.根据权利要求1所述的陶瓷件制作方法,其特征在于,所述指定时长为5min-10min。

9.一种陶瓷件,其特征在于,采用权利要求1-8任意一项所述的陶瓷件制作方法制成。

10.根据权利要求9所述的陶瓷件,其特征在于,所述陶瓷件应用于半导体加工设备中的介质窗、内衬或者介质筒。


技术总结
本发明实施例提供一种陶瓷件及其制作方法,该陶瓷件制作方法包括:在陶瓷粉粒中加入胶黏剂,形成陶瓷生胚;在陶瓷生胚未完全固化之前,采用具有指定图形的模板压入陶瓷生胚的待加工表面,以在待加工表面形成与模板对应的粗糙度图形;在经过指定时长之后,取出模板;待陶瓷生胚完全固化之后,对陶瓷生胚进行加工烧结。本发明实施例提供的陶瓷件及其制作方法,其不仅可以在不产生裂纹等损伤的前提下获得任意大小的表面粗糙度,而且还可以提高陶瓷件表面粗糙度的均匀性,从而可以避免出现局部副产物脱落的问题。

技术研发人员:高明圆;符雅丽;郑友山;王春
受保护的技术使用者:北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日:2021.02.20
技术公布日:2021.06.18
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