技术总结
本发明实施例提供一种陶瓷件及其制作方法，该陶瓷件制作方法包括：在陶瓷粉粒中加入胶黏剂，形成陶瓷生胚；在陶瓷生胚未完全固化之前，采用具有指定图形的模板压入陶瓷生胚的待加工表面，以在待加工表面形成与模板对应的粗糙度图形；在经过指定时长之后，取出模板；待陶瓷生胚完全固化之后，对陶瓷生胚进行加工烧结。本发明实施例提供的陶瓷件及其制作方法，其不仅可以在不产生裂纹等损伤的前提下获得任意大小的表面粗糙度，而且还可以提高陶瓷件表面粗糙度的均匀性，从而可以避免出现局部副产物脱落的问题。
技术研发人员：高明圆;符雅丽;郑友山;王春
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2021.02.20
技术公布日：2021.06.18