一种单晶炉循环水路结构的制作方法

本公开涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉循环水路结构。

背景技术：

1、现有专利(公告号：cn213835620u)公开了单晶炉循环水路结构，该实用新型通过将冷却循环水路延伸设计到上法兰及下法兰，来增强单晶炉的散热效果，使上法兰上的密封圈保持在不高的工作温度，延长了密封圈的使用寿命及其密封效果，但是冷却水一般属于工业用水，含有较多的钙镁盐，经过长期使用的循环水路，其管道内壁会产生较多水垢，水垢的存在会减小管道的横截面积，并减小冷水流量，大幅降低冷却效率，因此，需要拆卸循环管路，以便进行清洗，而上述实用新型难以拆卸循环水路。

2、为此，我们提出了一种单晶炉循环水路结构。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种单晶炉循环水路结构。

2、第一方面，本申请提供了一种单晶炉循环水路结构，包括：

3、法兰结构，所述法兰结构包括内部均设有散热槽的下法兰和上法兰，所述下法兰和上法兰之间同轴设有外筒和内筒，所述外筒和内筒之间插设有螺旋管，所述下法兰和上法兰上分别设有与散热槽连通的进水部件、排水部件，所述螺旋管上下两端通过导管与散热槽连通，所述内筒与下法兰焊接连接，内筒与上法兰密封连接，所述外筒与上法兰焊接连接，外筒与下法兰密封连接，所述上法兰顶部设有密封凹槽，所述密封凹槽内安装有密封圈二。

4、根据本申请实施例提供的技术方案，所述下法兰和上法兰上分别设有与散热槽连通的连接槽，所述导管一端与连接槽连接。

5、根据本申请实施例提供的技术方案，所述下法兰和上法兰上分别设有与外筒、内筒配合的装设凹槽，所述装设凹槽内安装有密封圈一。

6、根据本申请实施例提供的技术方案，所述螺旋管下端竖直设有多个支撑柱，所述支撑柱通过螺纹座二与螺旋管连接，所述螺旋管周围均匀设有限位结构。

7、根据本申请实施例提供的技术方案，所述限位结构包括互相连接的连接杆和摩擦头，所述摩擦头呈半球形且与外筒内壁抵接，所述连接杆通过螺纹座一与螺旋管连接。

8、综上所述，本技术方案具体公开了一种单晶炉循环水路结构，通过设置下法兰、上法兰、内筒和外筒，通过使外筒一端与上法兰焊接，另一端与下法兰密封连接，再使内筒一端与上法兰密封连接，另一端与下法兰焊接连接，使内筒和外筒进行分离，以便露出内筒与外筒之间的螺旋管，为拆卸螺旋管的拆卸提供前提条件，通过设置导管、连接槽，利用连接槽，作为螺旋管与散热槽之间连接的过渡结构，配合导管，再将连接槽与螺旋管进行连接，从而使螺旋管和散热槽互相连通，无需通过焊接等固定连接的方式将螺旋管进行设置，只需拆卸导管，即可将螺旋管从内筒上取下，便于拆卸，以便进一步对螺旋管进行清洗。

技术特征：

1.一种单晶炉循环水路结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水路结构，其特征在于，所述下法兰(4)和上法兰(5)上分别设有与散热槽(6)连通的连接槽(16)，所述导管(17)一端与连接槽(16)连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉循环水路结构，其特征在于，所述下法兰(4)和上法兰(5)上分别设有与外筒(1)、内筒(7)配合的装设凹槽(14)，所述装设凹槽(14)内安装有密封圈一(15)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉循环水路结构，其特征在于，所述螺旋管(8)下端竖直设有多个支撑柱(13)，所述支撑柱(13)通过螺纹座二(12)与螺旋管(8)连接，所述螺旋管(8)周围均匀设有限位结构。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉循环水路结构，其特征在于，所述限位结构包括互相连接的连接杆(10)和摩擦头(11)，所述摩擦头(11)呈半球形且与外筒(1)内壁抵接，所述连接杆(10)通过螺纹座一(9)与螺旋管(8)连接。

技术总结
本申请公开了一种单晶炉循环水路结构，包括内部均设有散热槽的下法兰和上法兰，所述下法兰和上法兰之间同轴设有外筒和内筒，所述外筒和内筒之间插设有螺旋管，所述下法兰和上法兰上分别设有与散热槽连通的进水部件、排水部件，所述螺旋管两端通过导管与散热槽连通，所述内筒与下法兰焊接连接，内筒与上法兰密封连接，所述外筒与上法兰焊接连接，外筒与下法兰密封连接；通过设置下法兰、上法兰、内筒和外筒，使内筒和外筒进行分离，为拆卸螺旋管的拆卸提供前提条件，通过设置导管、连接槽，只需拆卸导管，即可将螺旋管从内筒上取下，便于拆卸，以便对螺旋管进行清洗。

技术研发人员：王伟,孟庆宇
受保护的技术使用者：晶隆铭兴科技香河有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/13