导电复合材料及其制备方法和含有该导电复合材料的制品与流程

本申请涉及导电复合材料，尤其涉及一种导电复合材料及其制备方法和含有该导电复合材料的制品。

背景技术：

1、光掩膜作为半导体器件的衬底材料而被广泛使用，在半导体的制程中，通常需要在不同工序下对光掩膜进行加工或在不同工序之间转移光掩膜，为防止晶圆被污染或损坏，可以将晶圆放置于特制的光掩膜载具上，通过该晶圆载具承载晶圆以实现晶圆的加工和转移。光掩膜载具通常会采用导电材料制成，可使光掩膜载具能够将其积累的静电荷释放出去，降低静电荷对所承载的光掩膜的损害。此外，制造光掩膜载具的导电材料通常还需要满足一些性能要求，例如透光性能等，这样才能有助于半导体的制造。

2、然而，在相关技术中，制造光掩膜载具的导电材料无法兼顾抗静电性能和透光性能。

技术实现思路

1、本申请提供一种导电复合材料及其制备方法和含有该导电复合材料的制品，该导电复合材料能够同时兼顾抗静电性能和透光性能。

2、本申请第一方面提供一种导电复合材料，基于所述导电复合材料的总量为100重量份，所述导电复合材料包括如下重量份的组分：

3、甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物，90重量份-95重量份，所述甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物的目数为100目-500目；

4、抗静电剂，4.5重量份-9.5重量份；

5、碳纳米管，0.1重量份-0.3重量份；

6、白矿油，2重量份-3重量份；

7、其它助剂，0.2重量份-0.6重量份。

8、在本申请提供的导电复合材料中，通过合理选择组分及其含量，使各组分之间能够协同作用，以降低导电复合材料的表面电阻率和提高导电复合材料的光透射系数，从而使导电复合材料同时兼顾抗静电性能和透光性能。

9、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物的熔融指数为10g/1omin-25g/10min。

10、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述抗静电剂包括永久抗静电剂。

11、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述其它助剂包括抗氧剂。

12、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述永久性抗静电剂包括酰胺类永久抗静电剂、酯类永久抗静电剂和碳黑中的一种或多种。

13、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述碳纳米管包括单壁碳纳米管。

14、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述白矿油的运动粘度小于或等于5pa·s。

15、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述单壁碳纳米管的平均直径为1.2nm-2.0nm；

16、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述单壁碳纳米管的平均长度大于或等于5μm。

17、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述导电复合材料满足如下特制中的至少一者：

18、(i)所述导电复合材料的的表面电阻率小于或等于108ω；

19、(ii)所述导电复合材料的光透射系数大于或等于85％。

20、本申请第二方面提供了一种制备如本申请第一方面所述的导电复合材料的方法，包括：

21、将碳纳米管分散于白矿油中，得到混合浆料；

22、将所述混合浆料与甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物、抗静电剂和其它助剂按照比例进行搅拌混合，得到预制体，其中，所述甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物的目数为100目-500目；

23、对所述预制体进行造粒，得到导电复合材料。

24、根据本申请第二方面的前述任一实施方式，所述将碳纳米管分散于白矿油中，得到混合浆料，包括：

25、将碳纳米管与白矿油按照1∶20-30质量比通过机械搅拌进行预分散，搅拌速度为200rpm/min-500rpm/min，搅拌时间为30min-60min；

26、然后进行超声波分散，超声波功率为700w-900w，频率为40k，分散的时间为2h-12h。

27、根据本申请第二方面的前述任一实施方式，所述对所述预制体进行造粒，得到导电复合材料，包括：

28、采用挤出造粒的方式对所述预制体进行造粒，得到所述导电复合材料；

29、和/或，所述预制体经过多段温度区域进行熔融挤出，所述挤出温度为180℃-220℃。

30、本申请第三方面提供了一种制品，所述制品包含如本申请第一方面任一实施方式中所述的导电复合材料或如本申请第二方面所述的制备方法制备得到的导电复合材料。

技术特征：

1.一种导电复合材料，其特征在于，基于所述导电复合材料的总量为100重量份，所述导电复合材料包括如下组分：

2.根据权利要求1所述的导电复合材料，其特征在于，所述甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物的熔融指数在10g/10min-25g/10min；

3.根据权利要求2所述的导电复合材料，其特征在于，所述永久性抗静电剂包括酰胺类永久抗静电剂、酯类永久抗静电剂和碳黑中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的导电复合材料，所述碳纳米管包括单壁碳纳米管；和/或，所述白矿油的运动粘度小于或等于5pa.s。

5.根据权利要求4所述的导电复合材料，其特征在于，所述单壁碳纳米管的平均直径为1.2nm-2.0nm；

6.根据权利要求1-5中任一项所述的导电复合材料，其特征在于，所述导电复合材料满足如下特征中的至少一者：

7.一种制备如权利要求1-6中任一项所述的导电复合材料的方法，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述将碳纳米管分散于白矿油中，得到混合浆料，包括：

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述对所述预制体进行造粒，得到导电复合材料，包括：

10.一种制品，其特征在于，所述制品包含如权利要求1-7中任一项所述的导电复合材料或制备如权利要求8-9中所述的方法得到的导电复合材料。

技术总结
本申请提供了一种导电复合材料及其制备方法和含有该导电复合材料的制品，基于导电复合材料的总量为100重量份，导电复合材料包括如下组分：甲基丙烯酸甲酯‑丙烯腈‑丁二烯‑苯二烯共聚物，90重量份‑95重量份，甲基丙烯酸甲酯‑丙烯腈‑丁二烯‑苯二烯共聚物的目数为100目‑500目；抗静电剂，4.5重量份‑9.5重量份；碳纳米管，0.1重量份‑0.3重量份；白矿油，2重量份‑3重量份；其它助剂，0.2重量份‑0.6重量份。该导电复合材料能够同时兼顾抗静电性能和透光性能。

技术研发人员：涂国梁
受保护的技术使用者：深圳市博纳新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12