无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种不使用工具就能够容易分解组装、且容易进行清洁或洗涤等维护作业的低吐出量用液体材料喷射阀，其包括：液体材料喷射阀本体和保持部件，其中，所述液体材料喷射阀本体具备：气缸部；嵌着在所述气缸部的基端侧、且具有微调机构的调节器部；具有使来自液体材料源的液体材料流入的液体材料流入部以及使来自压缩空气源的压缩空气流入的空气流入部的流体部；连通安装在所述流体部、具有开口部的吐出喷嘴；嵌插至所述活塞体的轴心、前端到达至所述吐出喷嘴的开口部的针体，所述保持部件为了防止所述调节器部和流体部从气缸部脱离，用于固定调节器部和流体部。
【专利说明】无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀
【技术领域】
[0001]本发明关于一种低吐出量用液体材料喷射阀，其用于对于半导体硅芯片、玻璃基板、各种树脂基板，以及金属部件等的被涂布物，将液态光致抗蚀剂、表面保护膜或功能性涂布剂等液体材料、特别是加入了粒状物质的液体材料(以下称为含填充物的液体材料)进行极微细地雾化，以形成薄的成膜。
【背景技术】
[0002]在半导体硅芯片或玻璃基板以及各种部件上，用含有导电浆料的溶融剂或含有荧光体材料的液体材料成膜时，已经使用了通过分配器成膜或通过丝网印刷成膜等的涂布技术。
[0003]含填充物的液体材料，如果不是高粘度液体材料会发生填充物的沉降或凝聚，所以，不能使用混合有稀释溶剂等形成低粘度的喷雾、或分配器以及其他的涂布工艺进行薄膜涂布。
[0004]因此，为了防止填充物的沉降，使这些材料含有高粘度的液体材料进而进行涂布。这种使用高粘度材料的喷雾，由于不能实现低吐出量的稳定雾化，因此，可以采用将填充物不沉降的500CPS以上的高粘度域的材料，通过例如分配器或丝网印刷方式，涂布在装载有芯片的5mm方形?IOmm方形的LED设备等整个表面的方法。
[0005]这种情况下，在混合搅拌中，有必要一边进行避免气泡产生的真空脱泡一边进行混合搅拌。进一步，在涂布过程中必须使填充物材料均等均一地分散层叠在成膜面上，因此，会增加吐出量管理、粘度管理等的费用，而且产生了生产外的涂布机器的接液部的分解洗净等大量的维护费用、运转时间外的浪费。
[0006]例如突光体，在用GaN或InGaN的半导体制造的相当于2mm方形?3mm方形的LED芯片的表面上直接接触对发光效率面来说更好，所以，希望将荧光体粉末混合至溶剂中，并薄薄地直接涂布在半导体芯片面上，之后使溶剂蒸发。虽然可以考虑一边不沉降、不凝聚地搅拌在溶剂或包含一部分绝缘材料的溶剂等中混合有荧光体粉末的低粘度涂布材料一边进行涂布的吐出阀，但是，在构造上不能作为通过喷枪本身进行充分搅拌的同时又能够喷出的机器。因此，作为能够得到搅拌效果的方法虽然具有使低粘度液体循环的方法，但是，在构造方面，在控制喷洒的吐出喷嘴和针的附近不能准备循环回路。
[0007]在此，提出了一种少量液体的喷雾装置(专利文献I )，其形成与通过超声波雾化或喷枪喷射方式形成超微粒子的级别相同或以上的液体或溶融体的微粒子，能够容易且确实地进行所希望份量的少量或微量的液体供给调整，而且，能够有效地涂布附着在被涂物上，通过喷射涂布，将液状光致抗蚀剂或表面保护膜以及功能性涂布剂等的液体或溶融体均一地薄薄地成膜在半导体硅芯片或玻璃基板以及各种透明部件等的被涂物上。
[0008]然而，上述少量液体的喷雾装置，由于处理含填充物的液体材料所以很容易堵塞，一旦发生了堵塞，由于部件数量较多，很难进行分解清洁或洗涤等的维护作业。
[0009]而且，由于上述少量液体的喷雾装置经常被安装在工业用机械臂上使用，因此进行分解清洁或洗涤等的维护作业会更加困难。
[0010]这样，在传统2流体式空气喷涂阀或喷枪型喷雾阀中，特别是被称为自动喷枪的自动喷射阀(以下称自动枪)，为了保持机密性、机械强度使用几种类型的紧固螺丝进行装配固定，其中，该自动喷枪为了使溶融液体产生为雾化微粒子，使用压缩空气进行远程操作，形成间断动作构成的圆形形状图案或连续动作构成的线状图案。因此，为了进行涂布液的接液部的清洁，拧去固定用紧固螺丝需要一定的时间，进一步，由于因固定用紧固螺丝等的重复操作所出现的消耗性恶化或因部件数量多而发生的部件缺失等原因，在可维护性以及成本方面等存在困难。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1:日本特开2009-28701
【发明内容】
[0014]发明所要解决的问题
[0015]本发明鉴于上述现有技术的问题，目的在于提供一种低吐出量用液体材料喷射阀，其可以不用工具就能够容易地分解组装，且容易进行清洁或洗涤等的维护作业。
[0016]解决问题的技术手段
[0017]本
【发明者】，为了解决这个问题，通过深入研究的结果发现:在作为空气喷涂这样的特殊喷涂方式即称为喷枪的喷涂方式中，通过选择不使用螺丝刀或扳手等工具一接触就可以进行分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，解决了上述问题，从而实现了本发明。
[0018]为了解决上述问题，本发明的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于，包括:液体材料喷射阀本体和保持部件，其中，液体材料喷射阀本体具备:内装有可上下活动的活塞体的气缸部；嵌着在上述气缸部的基端侧、且具有使活塞体上下活动的微调机构的调节器部；嵌着在上述气缸部的前端侧、且具有使来自液体材料源的液体材料流入的液体材料流入部以及使来自压缩空气源的压缩空气流入的空气流入部的流体部；连通安装在上述流体部且具有开口部的吐出喷嘴；嵌插至上述活塞体的轴心、且前端到达至上述吐出喷嘴的开口部的针体，保持部件为了防止上述调节器部和流体部从气缸部脱离，用于固定调节器部和流体部。
[0019]在本发明说明书中，上述低吐出量为每分钟0.1cc?5cc程度的吐出量。
[0020]根据上述结构，由于不使用工具就能够容易进行分解组装，因此具有容易进行清洁或洗涤等维修作业的优点。
[0021]而且，优选地，上述调节器部和上述流体部具有圆环状外周，在上述圆环状外周设置有凹部的同时，上述保持部件具有卡合在上述凹部的卡合部件，通过将上述卡合部件卡合在上述凹部，形成上述液体材料喷射阀本体被上述保持部件嵌着支撑的结构。
[0022]进一步，优选地，上述保持部件具有基部、下端部可自由旋转地被上述基部支撑的第一以及第二 U字状卡合部件，将上述液体材料喷射阀本体插入上述第一以及第二 U字状卡合部件的下端部的间隙中，通过将上述第一以及第二 U字状卡合部件的下端部卡合在所述流体部的圆环状外周的凹部，且将所述第一以及第二 U字状卡合部件的上端部卡合在所述调节器部的圆环状外周的凹部，形成使保持部件嵌着支撑上述液体材料喷射阀本体的结构。
[0023]而且，进一步，在上述流体部上设置液体材料排出部，使上述液体材料流入部与上述液体材料排出部连通，通过将由上述液体材料流入部流入的液体材料的剩余部分从上述液体材料排出部排出，并回流至上述液体材料源，从而能够形成可循环供给液体材料的结构。
[0024]而且，优选地，上述液体材料为含填充物的液体材料，上述低吐出量用液体材料喷射阀用于喷射上述含填充物的液体材料，上述针体的前端为圆锥形，上述吐出喷嘴在其前端具备接触环状座体，该接触环状座体具有与上述针体的前端倾斜对应的接触面，上述针体的前端可从上述吐出喷嘴的前端突出，通过调节上述针体的拉伸量，能够调整上述含填充物的液体材料的吐出量。相关结构，特别适用于填充物尺寸的平均粒径为8?ΙΟμπι左右且最大粒径为30 μ m的情况。而且，这种情况，上述针体的前端角度优选为5°?30°。另外，关于填充物的粒度分布，能够使用动态光散射粒径分布测定装置等通过动态光散射法进行测定。
[0025]上述液体材料为含填充物的液体材料，上述低吐出量用液体材料喷射阀用于喷射上述含填充物的液体材料，上述针体的前端为圆锥形，上述吐出喷嘴具备具有与上述针体的前端倾斜对应的接触部的接触环状环体，上述针体的前端不能从上述吐出喷嘴的前端突出，通过调节上述针体的拉伸量，可以调节上述含填充物的液体材料的吐出量。相关结构，特别适用于填充物尺寸的平均粒径为20?30 μ m左右且最大粒径为80 μ m的情况。而且，这种情况，上述针体的前端角度优选为45°?120°。
[0026]优选地，在上述吐出喷嘴开口部的下方，设置用于限制压缩空气流路的空气帽，在吐出上述液体材料时形成雾状空气流。
[0027]优选地，上述雾状空气流通过形成于上述空气帽的内壁面的内壁流路而产生。
[0028]而且，优选地，上述内壁流路形成5条以上的槽，上述槽向上述空气帽的出口开口部聚集，在上述出口开口部上形成对应上述槽的切口。
[0029]另外，上述雾状空气流也可以通过形成于上述空气帽的出口开口部周围的周围流路而产生。
[0030]进一步，上述空气帽具备内侧帽和外侧帽，在上述内侧帽的外周面放射状地形成外周流路，上述外周流路向上述出口开口部聚集。
[0031]进一步，优选地，上述雾状空气一边旋转一边与来自上述空气帽的出口开口部的液体材料混合着喷出。
[0032]通过使用本发明的低吐出量用液体材料喷射阀，对于半导体硅芯片、玻璃基板、各种树脂基板以及金属部件等的被涂布物，能够使液态光致抗蚀剂、表面保护膜或功能性涂布剂等液体材料，特别是含粒状物质填充物的液体材料极微细地雾化，从而形成薄的成膜。
[0033]例如，在利用LED的白色照明技术中，对安装有GaN或InGaN芯片的LED设备，能够通过使含有易沉降的YAG荧光体的液体材料一边进行液体循环一边进行涂布制造白色LED,这对于照明效率的提闻、品质的改善以及生广率的提闻具有很大的贡献。
[0034]当涂布这样的含填充物的液体材料时，在液体材料喷射喷雾阀的作业结束后，有必要用洗涤液对接液回路部分进行挤压洗涤以防止堵塞，进一步有必要分解接液部仔细清洁接液部的凹部处。本发明的液体材料喷射阀，不使用工具就能够很容易地在短时间内进行分解组装，所以，具有降低其清洁等涂布作业以外的维护费用以及提高吐出量的优点。
[0035]发明效果
[0036]根据本发明的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，能够不使用工具容易地进行分解组装，所产生的显著效果是能够提供一种容易进行清洁或洗涤等维护作业的低吐出量用液体材料喷射阀。
[0037]而且，根据本发明的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，具有能够减少部件数量尽量去掉组装各部件时所需的固定螺钉，通过人的手动作业一接触就可实现分解组装的效果。
[0038]进一步，根据本发明的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，能够对半导体硅芯片或玻璃基板以及各种部件，将特别是含有导电浆料的溶融剂、或含有形成LED时所使用的荧光体的绝缘性液体材料等，通过喷洒涂布形成一种均一、薄的直径在10_以下、特别是2mm?9mm的圆状图案或宽度在IOmm以下、特别是Imm?9mm的线状图案的成膜。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]图1是表示本发明无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的一实施方式的斜视图。
[0040]图2是表示本发明无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的一实施方式的分解斜视图。
[0041]图3是图1所示的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的分解组装说明图。
[0042]图4是图1所示的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的分解组装说明图。
[0043]图5是图1所不的低吐出量用液体材料喷射阀的保持部件以外的截面图。
[0044]图6是表示阀动作的框图。
[0045]图7是使用本发明无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的使用状态概略图。
[0046]图8是表示涂布液体材料后的测定结果的曲线图，其为表示涂布宽度和膜厚关系的曲线图。
[0047]图9是表示本发明无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的另一实施方式的截面图，其是除保持部件以外的截面图。
[0048]图10是从正面观看用在本发明低吐出量用液体材料喷射阀上的空气帽的一实施方式的斜视图。
[0049]图11是从内侧观看用在本发明低吐出量用液体材料喷射阀上的空气帽的一实施方式的斜视图。
[0050]图12是表示用在本发明低吐出量用液体材料喷射阀上的空气帽的另一实施方式的平面图。
[0051]图13是表示用在本发明低吐出量用液体材料喷射阀上的空气帽的其它另一实施方式的平面图。[0052]图14是表示用在本发明低吐出量用液体材料喷射阀上的空气帽的其他实施方式的平面图。
[0053]图15是表示用在本发明低吐出量用液体材料喷射阀上的另一其它实施方式的斜视图即内侧帽。
[0054]图16是表示在图15所示的空气帽的内侧帽上安装外侧帽的状态的斜视图。【具体实施方式】
[0055]虽然对本发明的实施方式进行以下说明，然，这些实施方式仅是示例，只要不脱离本发明技术构思，各种变形也是可以的。
[0056]在图中，符号10表示本发明无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀的一个实施方式。
[0057]低吐出量用液体材料喷射阀10，如图1以及图2所示，其包含以下结构:液体材料喷射阀本体28和保持部件30。其中，液体材料喷射阀本体28具备:内装有可上下活动的活塞体12的气缸部14 ;嵌着在上述气缸部14的基端侧、且具有使活塞体12上下活动的微调机构的调节器部16 ;嵌着在上述气缸部14的前端侧、且具有使来自液体材料源的液体材料流入的液体材料流入部18以及使来自压缩空气源的压缩空气流入的空气流入部20的流体部22 ;连通安装在上述流体部22、具有开口部77的吐出喷嘴74 ;嵌插至上述活塞体12的轴心、前端到达至上述吐出喷嘴74的开口部77的针体26。保持部件30为了防止上述调节器部16和流体部22从气缸部14脱离，用于固定调节器部16和流体部22。
[0058]上述调节器部16，如图2所示，其具备:嵌插至调节环32的调节螺钉34、以及介由O型环36承受上述调节螺钉34的上体部38，且可以通过微调机构进行微调节。
[0059]位于上述调节器部16下端部的上述上体部38具有圆环状外周40，在上述圆环状外周40上设置凹部42。另外，符号44是对组装进行加固用的互锁环。
[0060]气缸部14，如图2所示，其具有:用于保持针体26的滚针保持架46 ;外穿有弹簧48的活塞体12 ;安装O型大环50且容纳上述活塞体12的气缸体52 ;拧入或嵌着在上述气缸体52上、将空气供给至上述活塞体12的下部，且将上述活塞体12向上方付势的中间体部54。
[0061 ] 上述中间体部54在中央部具有开口部53，针体26介由滚针保持架46插通活塞体12的轴心,介由O型小环56插通中间体部54。
[0062]在上述中间体部54上，安装压缩空气的入口接头58，通过来自压缩空气供给源的压缩空气，将活塞体12向上方付势。这样，通过调节压缩空气的供给量，能够使活塞体12上下活动。
[0063]在上述气缸部14的前端侧即上述中间体部54的下端部，嵌着有流体部22。除了在上述流体部22的侧面安装有连接液体材料的回流管的入口接头60，还在上述液体材料流入部18上通过密封环62、紧固螺母64拧入液体循环用接头66，通过嵌着在上述液体循环用接头66上的R适配器68，安装用于容纳涂布液体材料的液体容器70。
[0064]另外，通过在流体部22上设置有液体材料排出部92，液体材料流入部18和液体材料排出部92通过流路94连通，从液体材料流入部18流入的液体材料的剩余部分从液体材料排出部92排出，以回流至液体材料源处，形成循环供给液体材料的结构。[0065]而且，在设置于上述流体部22侧面的空气流入部20上，安装了压缩空气用的空气接头72，从压缩空气供给源处供给压缩空气。
[0066]在上述流体部22的下面中央上，针体26被插通至中央，分别拧入针盖24以及空气帽78。其中，针盖24覆盖同时吐出上述液体材料和空气的吐出喷嘴74以及针体26，空气帽78用于限制压缩空气的流路。
[0067]上述保持部件30，具有基部80、下端部可自由旋转地被上述基部80支撑的第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84，在上述第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84的下端部的间隙86中插入上述液体材料喷射阀本体28，将上述第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84的下端部卡合在上述流体部22的圆环状外周的凹部88，将上述第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84的上端部卡合在上述调节器部16的圆环状外周的凹部42，由此，上述液体材料喷射阀本体28被保持部件30嵌着支撑。另外，保持部件30通过安装用螺栓90被安装在所希望的地方。
[0068]其次，图3和图4表示上述本发明低吐出量用液体材料喷射阀10的组装示例。
[0069]将拧装着吐出喷嘴74或针盖24及空气帽78的流体部22与中间体部54 —起嵌着组装，插入保持部件30的第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84的下端部的间隙86中，使上述第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84的下端部卡合并固定在上述流体部22的圆环状外周的凹部88 (图3 Ca)以及(b))。
[0070]然后，将活塞体12以及弹簧48插入气缸体52与中间体部54嵌着组装，接着嵌着组装上体部38 (图3 (C)?(e))。
[0071]之后，将保持部件30的第一 U字状卡合部件82以及第二 U字状卡合部件84的上端部卡合在调节器部16的圆环状外周的凹部42 (图3 Cf)以及(g))。
[0072]通过滚针保持架46将针体26固定在活塞体12上之后,将通过上下活动活塞体12进行液体材料液量调整的调节器部16拧入装配至气缸部14 (图3 (h)?(k))。
[0073]这样，通过嵌着或拧紧能够组装全部部件，而且，由于部件数量少，很容易进行组装，可以在2分钟之内完成一系列的组装作业。
[0074]当然，分解是通过和组装相反顺序的流程作业来进行的。分解作业时间仅用组装时间的一半(大约I分钟)就可完成。
[0075]而且，图示流体部22表示循环类型。通过将细的循环回路介由入口接头60连接至吐出喷嘴74前方的流体部22，可以达到防止含填充物的液体材料沉降的效果。喷枪，是一种作为在涂装塑料模型部件或小型物品时使用的小型手持式喷射阀所使用的方式。
[0076]该吐出喷嘴74的开口部直径为0.5mm以下，涂料的喷出控制所使用的针体26具有针形状，当涂液(液体材料)沿着针形状的针体26流出时，根据周围的压缩空气的喷射效果进行雾化(参照图5 Ca)以及图5 (b)等)。
[0077]液体材料的吐出量，可以通过手动作业所进行的针体26的拉伸量加减来实现，进行定量控制调整需要非常熟练，且涂布的雾化图案的宽度，在吐出喷嘴74的前端和被涂面间的距离为20?40mm左右的情况下，非常狭窄仅为IOmm左右。
[0078]但是，吐出量可以减少至每分钟Icc以下，即使将吐出喷嘴74的前端靠近至离被涂面IOmm左右的位置，也能够形成10 μ m以下的液体微细粒子，关于涂布效率，由于接近吐出喷嘴74所以能够以80%以上的高效率在被涂物上进行涂装。[0079]在本发明中，在自动涂布喷枪结构上使用上述手涂作业用喷枪的方式，而且，在该吐出喷嘴74的前端添加细小的循环回路，能够成功实现对例如易沉降含填充物液体材料所进行的均匀喷洒涂布。
[0080]例如，在包含有粘度为50CPS以下的稀释溶剂的树脂上即使以体积比为约30%左右混合制作而成低粘度液体材料，也可以在不降低涂覆效率的情况下实现直径为10_以下的圆形图案或宽度为IOmm以下的线状图案的成膜。
[0081]另外，本发明的低吐出量用液体材料喷射阀10，相对直径0.5mm孔径以下的吐出喷嘴74，作为控制液体材料吐出的结构的作用即针体26的前端部具有角度为10°以下的锐角结构，突出至吐出喷嘴74的出口孔的针帽24的中心孔，当吐出液体材料时，能够以10 μ m为单位调整作为针体26拉伸量的开度，通过该结构进行空气雾化。
[0082]这样，通过安装能够以ΙΟμπι为单位调节针体26的拉伸量的调节螺钉34，可以确保每次喷枪关闭时的吐出量的再现性，从而实现稳定吐出。
[0083]液体材料的吐出，当液体材料沿着极细的针体26的前端部渗出时，通过其周围的
0.2MPa以下的压缩空气流的负压效果液体材料被雾化，从孔径为0.5mm以下的吐出喷嘴74喷出，通过来自口径为2.0mm以下的针帽24的压缩压为0.2Mpa以下的漩涡状空气流，能够促进以碰撞扩散方式形成的液体材料的微粒化，也能够在雾化图案领域进行扩散。
[0084]而且，在图5的例子中，针体26的前端形成为锥形，前端角度Θ I为5°，吐出喷嘴74，在其前端具备具有与针体26的前端角度Θ I对应的接触面的接触环状座体75，上述针体26的前端可从上述吐出喷嘴74的前端突出形成，通过调节上述针体26的拉伸量，能够调整含填充物的液体材料的吐出量(图5 (c)以及图5 (d))。相关结构，特别适用于液体材料为含填充物的液体材料且填充物尺寸很小的情况，尤其是填充物的平均粒径为8?10 μ m左右且最大粒径为30 μ m的情况。
[0085]如图6所示，低吐出量用液体材料喷射阀10具有液体材料供给管102，其通过液体材料定量供给泵100从液体材料罐98定量供给贮藏的液体材料，其中，液体材料罐98作为添加了通过电磁搅拌器96不断搅拌浮动而成的含填充物的液体材料的液体材料源，而且，低吐出量用液体材料喷射阀10还配备了用于不断将液体材料回流至液体材料罐98中的液体材料回流管104，液体材料可以与低吐出量用液体材料喷射阀10的作业毫无关联地被不断返流至液体材料罐98中。液体材料供给管102连接液体容器70，液体材料回流管104介由入口接头60连接到液体材料排出部92。
[0086]低吐出量用液体材料喷射阀10吐出时的吐出压力，为向液体材料定量供给泵100的压力施加液体材料回流配管的抵抗压力时所形成的压力。更进一步，阀动作用压缩空气供给配管106介由入口接头58被连接至低吐出量用液体材料喷射阀10的中间体部54，且雾化用压缩空气供给配管108介由空气接头72被连接至流体部22，可以利用各个空气调压器来调节压缩空气压力。
[0087]例如，各个电磁阀的操作顺序如下所示:在正常雾化用电磁阀开始作业后约IOOms之后，阀动作用电磁阀开始作业，完成吐出时，先结束阀动作用电磁阀的作业，大约50ms后结束雾化用电磁阀的作业。这种顺序适合液体材料的最佳雾化。
[0088]低吐出量用液体材料喷射阀10，通过阀动作用电磁阀进行作业，压缩空气从阀动作用压缩空气供给配管106流入插着活塞体12的气缸体52中，使活塞体24在调节螺钉34侧进行作业，与活塞体12连接的针体26的后端部被抵接在调节螺钉34上，则针体26的行
程被停止在固定位置。
[0089]而且，针体26的前端部，从吐出喷嘴74脱离位于流体部22内液体材料供给部110的液体材料，通过液体材料定量供给泵100的泵送压力，为了防止液体材料的沉降可将管内液体材料流速设定为每秒3000mm?6000mm，为此，流体部22内的液体材料供给部110的流路73被设置成直径为1.5mm以下的细管，根据从吐出喷嘴74内部被挤压到针体26的前端部表面的同时从喷嘴的雾化用压缩空气供给配管108流出的雾化用压缩空气的喷射效果，针体26的前端部表面的液体材料，如图7所示，与雾化用压缩空气流112—起向空气帽78的中心出口雾化并形成雾化图案。
[0090]如此，如图7所示，附着在LED设备114内部特别是LED芯片116上的、未涂布的液体材料，进入用直径为1.0mm左右的细管制作的液体材料回流管104并回流至液体材料罐98中。
[0091]雾化粒子附着在设置于LED设备114内部的LED芯片116上是理所当然的，在其周围形成的连接用细线电线或被称为反射器的反射板等上，薄薄地附着有喷雾器端部的过喷部分。该成膜范围可以通过雾化用压缩空气供给压力和雾化图案用压缩空气供给压力(或流量)进行调整。
[0092]如果希望缩小雾化图案直径，应减少雾化图案用压缩空气供给压力(或流量)，且缩小与低吐出量用液体材料喷射阀10的被涂物间距离，如果希望使其扩大，应增大雾化图案用压缩空气供给压力(或流量)且扩大与低吐出量用液体材料喷射阀10的被涂物间距离。
[0093]成膜量即吐出量的调整，与设置在低吐出量液体材料喷射阀10的后端部的调节螺钉34的开闭量有关。打开调节螺钉34则吐出量增多，紧固调节螺钉34则吐出量减少。
[0094]如图5所示,作为图示例所示的低吐出量用液体材料喷射阀10,是一种循环使用液体材料的循环类型，如上所述，特别适用于液体材料为含填充物的液体材料且填充物尺寸小的情况，尤其是填充物的平均粒径为8?10 μ m左右且最大粒径为30 μ m的情况。
[0095]另一方面，图9所示的低吐出量用液体材料喷射阀，适用于液体材料为含填充物的液体材料且填充物尺寸大的情况，尤其是填充物的平均粒径为20?30 μ m左右且最大粒径为80 μ m的情况。
[0096]在图9中，符号118表不低吐出量用液体材料喷射阀的另一实施方式。低吐出量用液体材料喷射阀118，虽然针体120的前端呈圆锥状，可是上述针体120的前端角度大于低吐出量用液体材料喷射阀10的针体26。在图9的例子中，给出了上述针体120的前端角度Θ2为45°的例子。
[0097]低吐出量用液体材料喷射阀118具备接触环状环体124 (图示例为O型环)，该接触环状环体124具备带有开口部123的吐出喷嘴122和与上述针体120的前端倾斜对应的接触部，上述针体120的前端不能从上述吐出喷嘴122的前端突出，通过调节上述针体120的拉伸量，可以调节含填充物的液体材料的吐出量(图9 (c)以及图9 (d))。
[0098]在上述流体部22的下面中央处，针体120被插通至中央，安装有同时吐出上述液体材料和空气的吐出喷嘴122，拧着有兼具针帽和空气帽的盖部件126。
[0099]关于其他的结构，由于低吐出量用液体材料喷射阀118与上述低吐出量用液体材料喷射阀10的结构相同，因此省略详细说明。[0100]下面，表示用于本发明低吐出量用材料喷射阀10，118的空气帽76或盖部件126的最优选的实施方式。另外，由于盖部件126兼具针帽和空气帽，只要能实现空气帽的作用，就包含在本发明说明书中所说的空气帽中。
[0101]图10以及图11表示用于本发明低吐出量用液体材料喷射阀10，118的空气帽的一实施方式。空气帽128设置在上述吐出喷嘴74，122的开口部的下方，是用于限定压缩空气的流路的空气帽，当上述液体材料被吐出时与上述液体材料一起形成雾状空气流。
[0102]在图示例中，空气帽128具有基部130、设置在基部130上的凸部132、以及在上述凸部132穿开的出口开口部134。而且，如图10所示，出口开口部134为星形，形成5个切Π 136。
[0103]而且，在其内面侧，如图11所示，形成了内壁流路138。该内壁流路138，形成对应上述切口 136的槽，向上述空气帽128的出口开口部134聚集。在上述出口开口部134上，形成对应上述槽的切口 136。图11的例子中，形成5条作为内壁流路138的槽。因此，当吐出上述液体材料时，来自压缩空气源的雾化空气与上述液体材料一起沿内壁流路138从切口 136吐出，由此，与上述液体材料一起形成雾状空气流。然后，上述雾状空气一边旋转一边与来自上述空气帽128的出口开口部134的液体材料混合着喷出。
[0104]另外，虽然在图10以及图11的例子中给出了由5个切口 136形成的星形以及由5条内壁流路138形成的星形的例子，但只要能形成切口以及内壁流路，也可以适用于例如图12或图13的实施方式。
[0105]在图12中，空气帽140具有基部142、设置在基部142上的凸部144、以及在上述凸部144穿开的出口开口部146。而且，如图12所示，出口开口部146形成8个切口 148。而且，对应该切口 148形成内壁流路。这样，形成5条以上作为内壁流路的槽，与其对应优选形成5个以上的切口。
[0106]在图13中，空气帽150具有基部152、设置在基部152上的凸部154、以及在上述凸部154穿开的出口开口部156。而且，如图13所示，出口开口部156形成5个切口 158。虽然切口 158为一种矩形切口呈放射状扩散的形状，这样形状的切口也可以使用。而且，对应该切口 158形成内壁流路。这样，形成5条以上作为内壁流路的槽，与其对应优选形成5个以上的切口。
[0107]其次，图14表示用于本发明低吐出量用液体材料喷射阀10，118的空气帽的其他实施方式。
[0108]空气帽160具有基部162、设置在基部162上的出口开口部164、以及形成在出口开口部164周围的多个周围流路166。上述雾状空气流通过在空气帽160的出口开口部164周围形成的多个周围流路166而产生。因此，与上述液体材料一起形成雾状空气流。然后，上述雾状空气一边旋转一边与来自上述空气帽160的出口开口部164的液体材料混合着喷出。
[0109]其次，图15以及图16表示用于本发明低吐出量用液体材料喷射阀10，118的空气帽的其他实施方式。
[0110]空气帽170具备内侧帽172和外侧帽184，在上述内侧帽172的外周面上放射状形成外周流路174，上述外周流路174向内侧出口开口部176聚集。内侧帽172由基部178、设置在基部178上的多个放射状凸部180以及在其外周面形成的外周流路174构成。外侧帽184，在其中央具备外侧出口开口部182。而且，通过嵌合外侧帽184以限制压缩空气的流路。由此，与上述液体材料一起形成雾状空气流。然后，上述雾状空气一边旋转一边与来自上述空气帽170的内侧出口开口部176以及外侧出口开口部182的液体材料混合着喷出。
[0111]涂布的液体材料,通过从低吐出量用液体材料喷射阀的针体的后部施加静电,使喷洒后的微粒化液体粒子的尺寸进一步微细化。上述说明的关于本发明的低吐出量用液体材料喷射阀，采用体积电阻率为1013Ω.Cm以上的绝缘性部件制作针体以外的部件，从针体的后部，连接用于施加DC-10000V的直流高压电的高电压被覆配线，特别是为了将不含有填充物的液体材料设定为IO6Ω.c m以下的体积固有电阻率以下，加入的极性溶剂，使电导率变为10mS/cm以下，由此，可以进行具有静电的低吐出量涂布。液体材料的小液体粒子，由于固体成份含量显著增加，缺点是相对被涂物难以付着，但是，由于静电力附着变得非常容易，从而达到良好的涂着效率。施加静电与不施加静电时的涂着效率的差为5~10%。
[0112]而且，即使液体材料是体积固有电阻率为10 Ω.cm以下的水性材料，也能够通过将电导率设定为5mS/cm以下来抑制微细粒子的飞散。
[0113]实施例
[0114]对于如上述构成的低吐出量用液体材料喷射阀10的测量实验结果进行以下说明。
[0115](实施例1)将雾化图案的流量分布的测定(I)液体材料的粘度设定为30CPS。相对于重量比为I的聚烃硅氧密封剂原液(NV值100%粘度3000CPS)添加重量比为4的稀释溶剂(甲基乙基酮和甲苯的重量比为1:1的混合溶剂)，得到添加有重量比为I的YAG荧光体、且固体成分比为30% (大约体积NV值17%)、粘度为30CPS的液体材料。
[0116](2)液体材料的比重为1.3。``[0117](3)液体材料定量供给泵100，通过泵管其液压为0.01Mpa、吐出量为60cc/分钟。
[0118](4)从吐出喷嘴74到被涂物(200mm方形的平面玻璃板)的距离为20mm。
[0119](5)使雾化用压缩空气压力分别在0.1Mpa~0.2Mpa的范围变化。
[0120](6)吐出时间为100ms。
[0121](7)通过低吐出量用液体材料喷射阀的调节螺钉34，针体26的进程量为1mm，吐出量为 0.002mgo
[0122](8)固定低吐出量用液体材料喷射阀，对其正下方的膜厚分布进行测定。结果如图8所示。
[0123]图8中的A~C的涂布条件如下所示。
[0124]表1
【权利要求】
1.一种无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于，包括:液体材料喷射阀本体和保持部件，其中， 所述液体材料喷射阀本体具备:内装有可上下活动的活塞体的气缸部；嵌着在所述气缸部的基端侧、且具有使所述活塞体上下活动的微调机构的调节器部；嵌着在所述气缸部的前端侧、且具有使来自液体材料源的液体材料流入的液体材料流入部以及使来自压缩空气源的压缩空气流入的空气流入部的流体部；连通安装在所述流体部且具有开口部的吐出喷嘴；嵌插至所述活塞体的轴心、且前端到达至所述吐出喷嘴的开口部的针体， 所述保持部件为了防止所述调节器部和流体部从气缸部脱离，用于固定调节器部和流体部。
2.根据权利要求1所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述调节器部和所述流体部具有圆环状外周，在所述圆环状外周设置有凹部的同时，所述保持部件具有卡合在所述凹部的卡合部件，通过将所述卡合部件卡合在所述凹部，所述液体材料喷射阀本体被所述保持部件嵌着支撑。
3.根据权利要求2所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述保持部件具有基部、下端部可自由旋转地被所述基部支撑的第一以及第二 U字状卡合部件，将所述液体材料喷射阀本体插入至所述第一以及第二 U字状卡合部件的下端部的间隙中，通过将所述第一以及第二 U字状卡合部件的下端部卡合在所述流体部的圆环状外周的凹部，将所述第一以及第二U字状卡合部件的上端部卡合在所述调节器部的圆环状外周的凹部，使所述保持部件嵌着支撑所述液体材料喷射阀本体。·
4.根据权利要求1~3中任一项所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 在所述流体部上设置液体材料排出部，使所述液体材料流入部与所述液体材料排出部连通，通过将从所述液体材料流入部流入的液体材料的剩余部分从所述液体材料排出部排出，并回流至所述液体材料源，以循环供给液体材料。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述液体材料为含填充物的液体材料，所述低吐出量用液体材料喷射阀用于喷射所述含填充物的液体材料，所述针体的前端为圆锥形，所述吐出喷嘴在其前端具备接触环状座体，该接触环状座体具有与所述针体的前端倾斜对应的接触面，所述针体的前端可从所述吐出喷嘴的前端突出，通过调节所述针体的拉伸量，可以调节所述含填充物的液体材料的吐出量。
6.根据权利要求5所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述针体的前端角度为5°~30°。
7.根据权利要求1~4中任一项所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述液体材料为含填充物的液体材料，所述低吐出量用液体材料喷射阀用于喷射所述含填充物的液体材料，所述针体的前端为圆锥形，所述吐出喷嘴具备接触环体，该接触环体具有与所述针体的前端倾斜对应的接触部，所述针体的前端不能从所述吐出喷嘴的前端突出，通过调节所述针体的拉伸量，可以调节所述含填充物的液体材料的吐出量。
8.根据权利要求7所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述针体的前端角度为45°~120°。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 在所述吐出喷嘴的开口部的下方，设置具有出口开口部且用于限制压缩空气流路的空气帽，在吐出所述液体材料时形成雾状空气流。
10.根据权利要求9所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述雾状空气流通过形成于所述空气帽的内壁面的内壁流路而产生。
11.根据权利要求10所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述内壁流路形成5条以上的槽，所述槽向所述空气帽的出口开口部聚集，在所述出口开口部上对应所述槽形成切口。
12.根据权利要求9所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于，· 所述雾状空气流通过形成于所述空气帽的出口开口部周围的周围流路而产生。
13.根据权利要求9所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述空气帽具备内侧帽和外侧帽，在所述内侧帽的外周面放射状地形成外周流路，所述外周流路向所述出口开口部聚集。
14.根据权利要求1~13中任一项所述的无工具可分解组装的低吐出量用液体材料喷射阀，其特征在于， 所述雾状空气一边旋转一边与来自所述空气帽的出口开口部的液体材料混合着喷出。
【文档编号】B05B15/06GK103857474SQ201280039365
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2012年8月14日 优先权日:2011年9月2日
【发明者】岛田隆治 申请人:岛田机械合同会社