保管设备和保管方法
【专利摘要】本发明提供保管设备和保管方法。保管设备包括控制装置，该控制装置监视多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制多个供给量调节装置。控制装置将多个收纳部分成多个监视区域，来监视多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制多个供给量调节装置，使得向属于多个监视区域的每个的收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
【专利说明】保管设备和保管方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及保管设备和利用这种保管设备的保管方法，所述保管设备包括:多个收纳部，收纳容器；惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体；喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部。
【背景技术】
[0002]在日本特开2010 - 16199号公报(专利文献I)中公开了如上所述的保管设备的一例。专利文献I的设备包括:收纳容器的多个收纳部；以及分别向多个收纳部供给氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给路，利用惰性气体供给路将惰性气体供给到喷出部，从该喷出部喷出惰性气体而将惰性气体供给到收纳于收纳部的容器内。
[0003]在上述专利文献I的保管设备中，在将容器收纳于收纳部时，通过将惰性气体供给到容器内，使不符合半导体基板的质量管理的氧气和水蒸气等从排气部排出到容器内的外部，从而抑制收纳于容器的半导体基板产生氧化等不良情况。
[0004]这样，已知有这样的保管设备:将惰性气体供给到收纳于收纳部的容器内，将容器内的气体排出，来防止容器内的物品的质量劣化。
[0005]在将惰性气体供给到收纳于收纳部的容器内的情况下，伴随该惰性气体向容器内的供给，存在于容器的内部的气体从容器排出。这样被排出的气体从容器的排气口直接或经由容器与盖的间隙排出到收纳容器的收纳部。通过继续向容器内供给惰性气体，而将容器内的气体置换成惰性气体，惰性气体随之被排出到收纳部。
[0006]进而，在向两个以上的收纳部供给惰性气体的情况下，当这些收纳部集中时，在该集中的收纳部中惰性气体被排出，惰性气体的浓度局部升高。换言之，氧浓度局部变低。
[0007]但是，在这种保管设备中，考虑到对在周围作业的作业人员等的影响，而期望抑制氧浓度的降低。因此，例如有时构成为设置对设置有收纳部的设置空间的氧浓度进行检测的传感器，在该设置空间的氧浓度变成规定值以下的情况下，对多个收纳部停止供给惰性气体。
[0008]但是，在这种构成中，即使在整个设置空间氧浓度不变得那么低，由于在设置传感器的部位氧浓度局部降低也停止惰性气体的供给，因此，存在不必要地停止惰性气体的供给的不良情况。
[0009]因此，期望抑制惰性气体的浓度局部升高。
[0010]如上所述，期望在设置收纳部的设置空间中能够抑制惰性气体的浓度局部升高的保管设备。
【发明内容】
[0011]本发明的保管设备包括:
多个收纳部，收纳容器；
惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体；
喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及
排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部；
多个供给量调节装置，设置于上述惰性气体供给路中的各个上述多个收纳部的上述喷出部的上游侧，调节向各个上述喷出部的惰性气体的供给量；和
控制装置，监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制上述多个供给量调节装置；
这里，上述控制装置构成为，将上述多个收纳部分成针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域，来监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制上述多个供给量调节装置，使得向属于各个上述多个监视区域的上述收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
[0012]根据该构成，控制装置控制多个供给量调节装置，使得向属于多个监视区域的每个的收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
[0013]作为设定限制条件，例如考虑使对属于监视区域的收纳部组的惰性气体的合计供给量为设定值以下，或使对属于监视区域的收纳部组供给惰性气体的收纳部的数目为合计设定数以下，或对属于监视区域的收纳部组供给惰性气体的收纳部连续排列的数目为连续设定数以下等。
[0014]相对于针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域的每个，以满足如上所述的预先确定的设定限制条件的方式供给惰性气体，由此，能够抑制属于监视区域的收纳部组中的惰性气体的供给量。由此，在设置收纳部的设置空间中，能够抑制惰性气体的浓度局部升高到成为问题的程度。
[0015]顺便说一下，通过这样抑制供给量，将未供给的惰性气体供给到属于其他监视区域的收纳部组，由此相对于多个收纳部分散地供给惰性气体，海能够实现惰性气体的浓度的均匀化。
[0016]本发明的保管设备的技术特征也能够应用于保管方法，本发明也能够将那样的方法作为请求保护的对象。在该保管方法中，也能够获得上述保管设备的作业效果。
[0017]即，本发明的保管方法是利用保管设备的方法，
所述保管设备包括:
多个收纳部，收纳容器；
惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体；
喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及
排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部；
多个供给量调节装置，设置于上述惰性气体供给路中的各个上述多个收纳部的上述喷出部的上游侧，调节向各个上述喷出部的惰性气体的供给量；以及控制装置，
上述保管方法包含由上述控制装置执行的以下工序:
监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态的供给状态监视工序；以及控制上述多个供给量调节装置的调节装置控制工序；
这里，在上述供给状态监视工序中，将上述多个收纳部分成针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域，来监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，
在上述调节装置控制工序中，控制上述多个供给量调节装置，使得向属于各个上述多个监视区域的上述收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
[0018]以下，对本发明的优选实施方式的示例进行说明。
[0019]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述设定限制条件是这样的条件:设定为将各个上述监视区域中的每单位时间的惰性气体的供给量限制在预先确定的限制值以下。
[0020]根据该构成，将相对于属于多个监视区域的每个的收纳部组的每单位时间的惰性气体的供给量限制在设定值以下。因此，能够抑制各监视区域中的惰性气体的排出量，能够抑制惰性气体的浓度局部升高。
[0021]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，与上述多个收纳部相邻地设置有作业人员用通路，
上述监视区域沿着上述作业人员用通路延伸的方向设定多个。
[0022]根据该构成，监视区域沿着作业人员用通路延伸的方向设定有多个，相对于该多个监视区域的每个，以满足预先确定的设定限制条件的方式供给惰性气体。因此，能够在作业人员用通路延伸的方向上分散地供给惰性气体，能够抑制惰性气体对在作业人员用通路上移动的作业人员的影响。
[0023]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述收纳部在上下方向和左右方向双方分别设置有多个，
上述监视区域的每个相对于由在上下方向和左右方向中的至少一方上彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
[0024]根据该构成，收纳部在上下方向和左右方向双方分别设置有多个，因此能够提高容器的收纳效率。
[0025]进而，属于监视区域的收纳部组由在上下方向或左右方向彼此相邻的两个以上的收纳部构成。因此能够使收纳部组集中地定位。
[0026]进而，相对于集中定位的收纳部组，以满足预先确定的设定限制条件的方式供给惰性气体，由此能够抑制惰性气体的浓度局部升高。
[0027]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述监视区域的每个相对于由在上下方向上排成一列而彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
[0028]在惰性气体的比重大(比重比空气大)的情况下,在收纳部中从容器排出的惰性气体向下方流动，此时，有可能一边与在位于比该收纳部靠下方的收纳部中排出的惰性气体合流一边流动而导致惰性气体的浓度升高。并且，在设置有多个收纳部的设置空间中产生成为下降流的气流，由此惰性气体向下方流动的情况也是同样的。
[0029]但是，根据上述的构成，收纳部组能够以沿上下方向排列的列单位限制向多个收纳部供给的惰性气体，因此，即便如上所述惰性气体向下方流动，也能够抑制惰性气体的浓度局部升高。
[0030]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述设定限制条件为各个上述监视区域中的被供给惰性气体的上述收纳部的合计数是预先设定的合计设定数以下。
[0031]根据该构成，多个监视区域的每个中的被供给惰性气体的收纳部的合计数是合计设定数以下。该合计设定数认为是例如考虑了一个收纳部中的惰性气体的每单位时间的排出量来设定的。因此，能够抑制各监视区域中的惰性气体的排出量，能够抑制惰性气体的浓度局部升高。
[0032]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述设定限制条件为，在上下方向和左右方向中的至少一方上，向上述收纳部供给惰性气体的上述收纳部连续的数目为预先确定的连续设定数以下。
[0033]根据该构成，多个监视区域的每个中的被供给惰性气体的收纳部连续的数目为合计设定数以下。因此，能够抑制各监视区域中的惰性气体的排出量，同时能够在监视区域内分散惰性气体的排出，从而能够抑制惰性气体的浓度局部升高。
[0034]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述控制装置构成为执行以下处理:
供给处理，以上述容器收纳于上述收纳部作为条件，控制上述供给量调节装置，以向该收纳部供给惰性气体，
停止供给处理，控制上述供给量调节装置，使得对上述多个收纳部的一部分或全部停止惰性气体的供给；以及
再次开始供给处理，在进行了上述停止供给处理后，控制上述供给量调节装置，使得对由于上述停止供给处理而停止了惰性气体的供给的上述收纳部中的再次开始供给对象的收纳部供给惰性气体，
在上述再次开始供给处理中,在对上述再次开始供给对象的收纳部再次开始惰性气体的供给的情况下，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中选择一部分或全部的收纳部作为上述再次开始供给对象的收纳部，使得在上述再次开始供给对象的收纳部所属的上述监视区域中满足上述设定限制条件。
[0035]根据该构成，控制装置构成为执行停止供给处理，且然后执行再次开始供给处理。例示具体的状况进行说明，存在以下的情况:设置有检测设置收纳部的设置空间的氧浓度的传感器，在该设置空间的氧浓度成为规定值以下的情况下，进行停止供给处理，停止对多个收纳部的一部分或全部供给惰性气体。然后，当设置空间的氧浓度恢复为超过规定值的状况时，根据人为地或自动地指示的许可指令执行再次开始供给处理，对停止了惰性气体的供给的收纳部供给惰性气体。
[0036]在这种状况下，有多个通过再次开始供给处理而再次开始惰性气体的供给的收纳部，当这样的多个收纳部集中于某个区域时，在这些收纳部中排出惰性气体，其结果是，惰性气体的浓度局部升高，有可能导致氧浓度局部变低。
[0037]但是，在上述构成中，在再次开始供给处理中，以在监视区域中满足设定限制条件的方式，从能够成为再次开始供给对象的全部收纳部中选择一部分或全部的收纳部。进而，向所选择的再次开始供给对象的收纳部供给惰性气体，对没有被选择而从再次开始供给对象的收纳部不中的收纳部不供给惰性气体。因此,即便执行再次开始供给处理,惰性气体的浓度也不会局部升高。
[0038]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，上述控制装置构成为，管理关于各个上述多个收纳部的自收纳上述容器起的经过时间，在上述再次开始供给处理中，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中，使上述经过时间短的上述收纳部优先作为上述再次开始供给对象的收纳部。
[0039]例如，对于自收纳于收纳部的经过时间长的容器，由于用于供给惰性气体的时间存在富余，因此对容器充分供给惰性气体的可能性高。但是，对于自收纳于收纳部起的经过时间短的容器，由于用于供给惰性气体的时间没有富余，因此对容器没有充分供给惰性气体的可能性高。
[0040]因此，通过使这种经过时间短的收纳部优先作为再次开始供给对象的收纳部来供给惰性气体，能够早期地将惰性气体供给到没有被充分供给惰性气体的可能性高的容器。
[0041]在本发明的保管设备的实施方式中优选的是，设置有覆盖设置上述多个收纳部的设置空间的墙体。
[0042]根据该构成，能够不使惰性气体向墙体的外部流动，或者，即便在使惰性气体向墙体的外部流动的情况下，也能够使惰性气体从确定的部位排出，因此，在使惰性气体排出到设置空间外的情况下，容易管理惰性气体的排出状态。
[0043]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述设定限制条件是这样的条件:设定为将各个上述监视区域的每单位时间的惰性气体的供给量限制在预先确定的限制值以下。
[0044]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，在上述保管设备与上述多个收纳部相邻地设置有作业人员用通路，
在上述供给状态监视工序中，将上述监视区域沿着上述作业人员用通路延伸的方向设定多个。
[0045]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述收纳部在上下方向和左右方向双方分别设置多个，
在上述供给状态监视工序中，将上述监视区域的每个相对于由在上下方向和左右方向中的至少一方上彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
[0046]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，在上述供给状态监视工序中，将上述监视区域的每个相对于由在上下方向上排成一列而彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
[0047]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述设定限制条件为各个上述监视区域中的被供给惰性气体的上述收纳部的合计数是预先设定的合计设定数以下。
[0048]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述设定限制条件为，在上下方向和左右方向中的至少一方上，向上述收纳部供给惰性气体的上述收纳部连续的数目为预先确定的连续设定数以下。
[0049]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，在上述调节装置控制工序中执行以下处理:
供给处理，以上述容器收纳于上述收纳部作为条件，控制上述供给量调节装置，以向该收纳部供给惰性气体，
停止供给处理，控制上述供给量调节装置，使得对上述多个收纳部的一部分或全部停止惰性气体的供给；以及
再次开始供给处理，在进行了上述停止供给处理后，控制上述供给量调节装置，使得对由于上述停止供给处理而停止了惰性气体的供给的上述收纳部中的再次开始供给对象的收纳部供给惰性气体，
在上述再次开始供给处理中,在对上述再次开始供给对象的收纳部再次开始惰性气体的供给的情况下，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中选择一部分或全部的收纳部作为上述再次开始供给对象的收纳部，使得在上述再次开始供给对象的收纳部所属的上述监视区域中满足上述设定限制条件。
[0050]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，作为由上述控制装置执行的工序，还包含经过时间管理工序，在该经过时间管理工序中，管理关于各个上述多个收纳部的自收纳上述容器起的经过时间，
在上述再次开始供给处理中，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中使上述经过时间短的上述收纳部优先作为上述再次开始供给对象的收纳部。
[0051]在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，在上述保管设备上设置覆盖设置上述多个收纳部的设置空间的墙体。
【专利附图】
【附图说明】
[0052]图1是保管设备的纵剖侧视图，
图2是表示该设备的一部分的纵剖主视图，
图3是收纳部的立体图，
图4是收纳部的主视图，
图5是表示惰性气体向区域的供给方式的图，
图6是控制框图，
图7是表示氮气的净化模型的说明图，
图8是表示相对于收纳部设定的上下监视区域和左右监视区域的图，
图9是表示相对于收纳部设定的列监视区域的图，
图10是表示相对于连续设定数为I时的上下监视区域的氮气的供给状态的图，
图11是表示相对于连续设定数为2时的上下监视区域的氮气的供给状态的图，
图12是表示相对于连续设定数为3时的上下监视区域的氮气的供给状态的图，
图13是表示相对于连续设定数为I时的左右监视区域的氮气的供给状态的图，
图14是表示相对于连续设定数为2时的左右监视区域的氮气的供给状态的图，
图15是表示相对于连续设定数为3时的左右监视区域的氮气的供给状态的图，
图16是表示相对于列监视区域的氮气的供给状态的图。
[0053]附图标记说明
10保管架；10S收纳部；10i喷出喷嘴(喷出部);20塔式起重机；40质量流量控制器(供给量调节装置);50容器；60氮气供给路(惰性气体供给路)；61主干供给部分；62区域用供给部分；63收纳部用供给部分；CH区域；E监视区域；F排出部；H控制装置；W基板。
【具体实施方式】
[0054]以下基于附图对本发明的实施方式进行说明。
[0055]如图1所示，在保管设备上设置有:包括多个收纳容器50的收纳部1S的保管架
10;输送容器50的塔式起重机20 ;覆盖设置空间S的墙体K，包括多个收纳部1S的保管架10和塔式起重机20设置在设置空间S中；以及入库出库输送机CV，以贯穿墙体K的状态配设并载置输送容器50。容器50以密闭状态收纳基板W。
[0056]另外，保管架10以对置的状态设置有一对。在本实施方式中，基板W为半导体晶片，容器50为收纳该半导体晶片的FOUP (Front Opening Unified Pod)。
[0057]在保管设备中构成为，使洁净化后的空气在设置空间S中从上方向下方流动(顺流)，流动到设置空间S的下部的空气从形成于墙体K的下部的排出口(未图示)向保管设备的横向侧方排出。由此，抑制设置空间S内的氮气的浓度并实现设置空间S内的洁净化。
[0058]并且，在墙体K的横向侧方形成有能够供作业人员步行的作业人员用通路T。该作业人员用通路T沿着保管架10的纵长方向(左右方向)形成。这样，与多个收纳部1S相邻地设置作业人员用通路T，在多个收纳部1S和作业人员用通路T之间设置有墙体K。这里，保管架10的纵长方向是指保管架10的横宽方向。
[0059](容器50的结构)
如图4所示，容器50包括:包括供基板W出入的开口的壳体51 ;和关闭壳体51的开口的拆装自如的盖体52。
[0060]如图1、图2和图4所不,在壳体51的上表面形成有由升降机式的输送车D把持的顶部凸缘53。并且，在壳体51的底面设置有用于向容器50内注入作为惰性气体的氮气的供气口 501、及用于将氮气从容器50内排出的排气口 50ο。虽然省略图示，但在供气口 50i设置有注入侧开闭阀，在排气口 50ο设置有排出侧开闭阀。
[0061]S卩，容器50构成为，在收纳基板W的状态下由盖体52关闭开口，由开闭阀分别关闭供气口 50i及排气口 50ο，由此具有气密性。
[0062]供气口 50i的注入侧开闭阀由弹簧等施力体向闭阀方向施力，当供给到供气口50?的氮气的喷出压力成为高于大气压的设定开阀压力以上时，借助该压力被打开操作。
[0063]并且，排气口 50ο的排出侧开闭阀被弹簧等施力体向闭阀方向施力，当容器50内部的压力成为高于大气压的设定开阀压力以上时，借助该压力被打开操作。
[0064](塔式起重机20的结构)
如图1所示，塔式起重机20包括:行进台车21，在保管架10的正面侧沿着保管架10的纵长方向(左右方向)行进移动；桅杆22，立设于该行进台车21 ;上部框23，设置于桅杆22的上端且与未图示的上部导轨卡合；以及升降台24，在由上述桅杆22引导的状态下进行升降移动。
[0065]在升降台24装备有移载装置25，该移载装置25相对于收纳部1S或入库出库输送机CV移载容器50。
[0066]进而，塔式起重机20通过行进台车21的行进移动、升降台24的升降移动及移载装置25的移载动作,而在入库出库输送机CV与多个收纳部1S之间输送容器50。
[0067](收纳部1S的结构)
如图2所示，在保管架10上，收纳部1S在上下方向和左右方向双方排列设置有多个。若追加说明，则在本例中，在保管架10上沿上下方向排列设置有8层收纳部10S，沿左右方向排列设置有9列(图2中仅图示出4列)收纳部10S，在保管架10上收纳部1S设置在72个部位。
[0068]进而，如图5所示，将沿上下方向排列设置的4层、沿左右方向排列设置的3列共计12个部位的收纳部1S作为属于I个区域CH的收纳部10S，72个部位的收纳部1S被划分成属于6个区域CH中的某一个。这样，设置于保管架10的多个收纳部1S被划分成多个区域CH。
[0069]如图3所示，在多个收纳部1S分别配备有载置支承容器50的载置支承部10a，收纳部1S在载置支承于载置支承部1a的状态下收纳容器50。
[0070]在载置支承部1a设置有:三个定位突起10b，用于与形成于容器50的下表面部的被卡合部(未图示)卡合而将该容器50定位于规定位置；和两个存货传感器10z，对在载置支承部1a上是否载置有容器50 (即，容器50是否收纳于收纳部10S)进行检测。
[0071]并且，如图3和图4所示，在载置支承部1a设置有:作为向收纳于收纳部1S的容器50的内部喷出氮气的喷出部的喷出喷嘴1i ;以及使从容器50的内部排出的气体通流的排出用通气体10ο。
[0072]如图4所示，在容器50载置于载置支承部1a上的规定位置的状态下，喷出喷嘴1i设置于与配备于该容器50的下表面部的供气口 50i嵌合的部位，在容器50载置于载置支承部1a上的规定位置的状态下，排出用通气体10设置于与配备于该容器50的下表面部的排气口 50ο嵌合的部位。
[0073]S卩，当容器50收纳于收纳部1S并载置于载置支承部1a时，由定位突起1b将容器50在水平方向的位置定位于规定位置，并且喷出喷嘴1i以嵌合状态与供气口 50i连接，并且排出用通气体10以嵌合状态与排气口 50ο连接。
[0074]进而，在容器50载置支承于载置支承部1a的状态下，从喷出喷嘴1i喷出比大气压高设定值以上的压力的氮气，由此从容器50的供气口 50i将氮气注入容器50的内部，从容器50的排气口 50ο将容器50内的气体排出到外部。
[0075]在排气口 50ο连接排出用通气体10ο，容器50内的气体经由排气口 50ο和排出用通气体10排出到收纳有该容器50的收纳部10S。并且，容器50内的气体也从容器50与盖体52的间隙被排出到收纳部1S。
[0076]进而，由排气口 50ο和排出用通气体10构成排出部F，在从喷出喷嘴1i向收纳于收纳部1S的容器50的内部喷出氮气的情况下，所述排出部F将该容器50的内部的气体(残存于容器50内的空气或氮气等)排出到该容器50的外部。喷出喷嘴1i和排出用通气体10设置于各个收纳部10S。
[0077]并且，对于排气口 50ο，配备有该排气口 50ο的容器50通过收纳于收纳部1S而配备于收纳部10S。S卩，排出部F (排出用通气体10和排气口 50ο)配备于各个收纳部10S。
[0078](氮气的供给结构)
如图5所示，在保管设备设置有向多个收纳部1S供给氮气的作为惰性气体供给路的氮气供给路60。在本例中，该氮气供给路60仅相对于一对保管架10中的一方设置，仅向该一方的保管架10供给氮气。接下来对该氮气供给路60进行说明。
[0079]氮气供给路60包括主干供给部分61、多个区域用供给部分62以及多个收纳部用供给部分63。多个区域用供给部分62设置成从主干供给部分61向多个区域CH的每个分支，将在主干供给部分61通流的氮气向多个区域CH的每个分支供给。多个收纳部用供给部分63将在区域用供给部分62通流的氮气分别供给到属于与该区域用供给部分62对应的区域CH的多个收纳部10S，从喷出喷嘴1i喷出氮气。即，氮气供给路60将来自供给源(未图示)的氮气依次通向主干供给部分61、区域用供给部分62和收纳部用供给部分63，来从喷出喷嘴1i喷出氮气。
[0080]在主干供给部分61，从气体供给方向的上游起依次设置有第I主干用手动阀65、主干用控制阀66和第2主干用手动阀67。在区域用供给部分62，从气体供给方向的上游起依次设置有区域用手动阀69、压力调整阀70、压力检测传感器71和区域用控制阀72。在收纳部用供给部分63，从气体供给方向的上游起依次设置有收纳部用手动阀74、收纳部用控制阀75和质量流量控制器40，在收纳部用供给部分63的下游侧端部连接有喷出喷嘴1i。
[0081]如图5所示，使多个区域用供给部分62中的两个为一组，在使成组的两个区域用供给部分62彼此连通的状态下设置有旁通路77。进而，在旁通路77设置有旁通用手动阀78。
[0082]如图5所示，以与氮气供给路60连接的方式设置有用于从氮气供给路60排出氮气的氮气释放路80。进而，作为该氮气释放路80设置有:主干用释放路81，与主干供给部分61连接，用于从主干供给部分61排出氮气；以及区域用释放路82，与多个区域用供给部分62连接，用于从区域用供给部分62排出氮气。
[0083]在主干用释放路81，从气体排出方向的上游侧起依次设置有释放用压力调整阀86和主干用释放手动阀83。在区域用释放路82，从气体排出方向的上游侧起依次设置有区域用释放手动阀84和合流用释放手动阀85。
[0084]顺便说一下，第I主干用手动阀65、第2主干用手动阀67、区域用手动阀69、收纳部用手动阀74、旁通用手动阀78、主干用释放手动阀83、区域用释放手动阀84及合流用释放手动阀85由通过作业人员的人为操作而在关闭状态和打开状态之间被切换操作的手动阀构成。主干用控制阀66、区域用控制阀72及收纳部用控制阀75由基于控制装置H的控制指令而在打开状态和关闭状态之间被切换操作的控制阀构成。
[0085]压力调整阀70及释放用压力调整阀86通过调整通流的氮气的通流量，来调整下游侧的氮气的压力。
[0086]另外，在说明氮气供给路60时，将氮气从供给源朝向喷出喷嘴1i通流的方向称为气体供给方向，基于该气体供给方向的流动，定义气体供给方向的上游和下游来进行说明。
[0087]并且，在说明氮气释放路80时，将来自氮气供给路60的氮气通流的方向称为气体排出方向，基于该气体排出方向的流动，定义气体排出方向的上游和下游来进行说明。
[0088](控制结构)
如图6所示，向控制装置H输入存货传感器1z的检测信息，并且，控制装置H与塔式起重机20通信自如地连接。由此，控制装置H管理保管架10中的容器50的库存状态等，并且根据来自图外的上位控制器的入库指令和出库指令来控制塔式起重机20的动作。
[0089]追加说明，控制装置H在从上位控制器被指示入库指令时，执行入库输送处理。在入库输送处理中，根据库存状态，将没有收纳容器50的空的收纳部1S并且是作为供给收纳部(后述)管理的收纳部1S中的一个选择为收纳对象的收纳部10S，控制塔式起重机20的动作，以将容器50从入库出库输送机CV输送到收纳对象的收纳部10S。
[0090]并且，控制装置H在从上位控制器被指示出库指令时，执行出库输送处理。在出库输送处理中，控制塔式起重机20的动作，以将出库对象的容器50从收纳该容器50的收纳部1S输送到入库出库输送机CV上。
[0091]如图6所示，在控制装置H由通信线通信自如地连接有可编程逻辑控制器P和多个1扩展模块A。在可编程逻辑控制器P连接有多个质量流量控制器40。在1扩展模块A连接有属于对应的区域CH的存货传感器10z、压力检测传感器71和歧管87。
[0092]进而，控制装置H控制主干用控制阀66的动作，并且经由可编程逻辑控制器P向质量流量控制器40发送指令信息，另外经由1扩展模块A向歧管87发送指令信息。这样，控制装置H通过对多个质量流量控制器40分别发送指令信息来控制质量流量控制器40，从而监视多个收纳部1S中的氮气的供给状态。即，控制装置H执行监视多个收纳部1S中的氮气的供给状态的供给状态监视工序、和控制多个质量流量控制器40的调节装置控制工序。
[0093]歧管87根据来自控制装置H的指令信息进行动作，并使区域用控制阀72和收纳部用控制阀75动作，以对供给氮气的供给对象的收纳部1S供给氮气。
[0094]在质量流量控制器40配备有以下功能:调整在内部流路通流的氮气的流量(从喷出喷嘴1i喷出的氮气的流量)的流量调整阀、和检测从收纳部用供给部分63向喷出喷嘴1i通流的氮气的流量的流量检测传感器。进而，质量流量控制器40根据来自可编程逻辑控制器P的指令信息和流量检测传感器的检测信息控制流量调整阀，以将在内部流路流动的氮气的流量调整为目标流量。
[0095]在本实施方式中，质量流量控制器40将在内部流路流动的氮气的流量在O?50升/分钟之间调整。进而，本实施方式中使用的质量流量控制器40在全流量调整范围内以高速(例如I秒以内)调整为从控制装置H指示的目标流量。进而，多个质量流量控制器40分别设置于向喷出喷嘴1i的气体供给方向的下游侧(收纳部用供给部分63)，相当于调节向各喷出喷嘴1i的氮气的供给量的供给量调节装置。
[0096]这样，控制装置H经由可编程逻辑控制器P和1扩展模块A等，控制主干用控制阀66、区域用控制阀72、收纳部用控制阀75及质量流量控制器40的动作。
[0097](控制装置H的目标流量)
作为控制装置H对质量流量控制器40指示的目标流量，具有保管用的目标流量、喷嘴净化用的目标流量和清洁用的目标流量。保管用的目标流量是在容器50收纳于收纳部1S的状态下，用于向容器50的内部注入氮气而指示的目标流量。喷嘴净化用的目标流量是在容器50收纳于收纳部1S之前为了洁净化喷出喷嘴1i而指示的目标流量。清洁用的目标流量是在设置保管架10时或更换设置于氮气供给路60的设备时等，为了洁净化喷出喷嘴1i和供给配管Li等而指示的目标流量。
[0098]如图7所示，作为确定了目标流量和供给时间的多个净化模型，控制装置H存储有喷嘴净化模型P1、清洁模型P2以及四个保管用净化模型P3?P6。
[0099]进而，控制装置H构成为，在保管架10的设置时等，当由控制台HS指示了清洁开始指令时，控制装置H根据清洁模型P2指示清洁用的目标流量(供给流量)。
[0100]并且，控制装置H构成为，在容器50由入库出库输送机CV搬入到设置空间S内时，根据喷嘴净化模型Pi指示喷嘴净化用的目标流量。
[0101]另外，控制装置H构成为，在两个存货传感器1z检测容器50时，根据四个保管用净化模型P3?P6中的预先由控制台HS选择的一个模型，来指示保管用的目标流量。
[0102](净化模型)
接下来，根据图7分别对喷嘴净化模型P1、清洁模型P2和四个保管用净化模型P3?P6加以说明。
[0103]喷嘴净化模型Pl被确定为这样的模型:从收纳有容器50的时刻起，在作为收纳前供给时间而设定的供给时间tl期间，以作为喷嘴净化用的目标流量设定的目标流量LI供给氮气。
[0104]供给时间Tl例如设定为5秒，进而目标流量LI例如设定为30升/分钟。
[0105]清洁模型P2被确定为这样的模型:在由控制台HS指示了清洁开始指令起，在作为设置初始供给时间而设定的供给时间t2期间，以作为清洁用的目标流量设定的目标流量L2供给氮气。
[0106]供给时间t2例如设定为1800秒，进而，目标流量L2例如设定为20升/分钟。
[0107](保管用净化模型)
对于四个保管用净化模型P3?P6中的每一个，作为保管用的目标流量，设定有初始目标流量和比该初始目标流量少的稳定目标流量。
[0108]初始目标流量例如设定为50升/分钟，另外稳定目标流量例如设定为5升/分钟。初始目标流量和稳定目标流量由作业人员变更设定。
[0109]进而，对于四个保管用净化模型P3?P6，首先将保管用的目标流量作为初始目标流量，然后将保管用的目标流量变更为稳定目标流量这点是相同的，但是四个保管用净化模型P3?P6分别被确定为互不相同的模型。
[0110]下面，将四个保管用净化模型P3?P6分别记载为第一保管用净化模型P3、第二保管用净化模型P4、第三保管用净化模型P5以及第四保管用净化模型P6，对各模型加以说明。
[0111]第一保管用净化模型P3被确定为这样的模型:首先在设定供给时间t3期间，以作为初始目标流量的供给流量L31供给氮气，然后在一对存货传感器1z检测到容器50存在期间，以作为稳定目标流量的供给流量L32继续供给氮气。
[0112]第二保管用净化模型P4被确定为这样的模型:首先，在设定供给时间t4期间，以作为初始目标流量的供给流量L41供给氮气，然后在一对存货传感器1z检测到容器50存在期间，以作为稳定目标流量的供给流量L42继续间歇地供给氮气。
[0113]第三保管用净化模型P5被确定为这样的模型:首先，在设定供给时间t51期间，以作为初始目标流量的供给流量L51供给氮气，接着在设定供给时间t52期间，以作为稳定目标流量的供给流量L52供给氮气，将此作为一个循环，在一对存货传感器1z检测到容器50存在期间反复进行该循环。
[0114]第四保管用净化模型P6被确定为这样的模型:首先，在设定供给时间t61期间，以作为初始目标流量的供给流量L61供给氮气，接着在设定供给时间t62期间，以作为稳定目标流量的供给流量L62间歇地供给氮气，将此作为一个循环，在一对存货传感器1z检测到容器50存在期间反复进行该循环。
[0115](供给收纳部和停止收纳部)
控制装置H根据可编程逻辑控制器P的检测信息和控制台HS的输入信息等，区分成被适当供给氮气的供给收纳部和不能被适当供给氮气的停止收纳部来管理多个收纳部10S。
[0116]列举具体例进行说明，压力检测传感器71将检测信息输出到可编程逻辑控制器P。在由压力检测传感器71检测到的压力相对于与指令信息对应的压力背离了设定压力以上的情况下，可编程逻辑控制器P将压力异常信号发送给控制装置H。
[0117]进而，控制装置H根据来自可编程逻辑控制器P的压力异常信号，将属于与产生压力异常的压力检测传感器71对应的区域CH的收纳部1S作为停止收纳部管理。
[0118]并且，通过将压力检测传感器71更换为新的压力检测传感器71等，作业人员判断为能够适当地向作为停止收纳部管理的收纳部1S供给氮气的情况下，作业人员利用控制台HS输入许可信息。在利用控制台HS关于作为停止收纳部管理的收纳部1S输入许可信息时，控制装置H将曾经作为停止收纳部管理的收纳部1S作为供给收纳部管理。
[0119]这样，控制装置H根据来自监视或检测对区域CH的氮气的供给状态的装置(上述中为可编程逻辑控制器P或控制台HS)的信息，以区域CH为单位将收纳部1S区分成供给收纳部和停止收纳部进行管理。并且，虽然省略了列举具体例的说明，但控制装置H根据来自监视或检测对收纳部1S的氮气的供给状态的装置的信息，也以收纳部1S为单位将收纳部1S区分成供给收纳部和停止收纳部进行管理。
[0120]进而，原则上，控制装置H以容器50收纳于收纳部1S为条件执行供给处理。在供给处理中，控制质量流量控制器40的动作，以向该收纳部1S供给氮气。
[0121]在该供给处理中，对于作为供给收纳部管理的收纳部10S，利用塔式起重机20将容器50收纳于收纳部10S，当配备于该收纳部1S的两个存货传感器1z检测到容器50时，根据四个保管用净化模型P3?P6中的预先由控制台HS选择的一个模型，向质量流量控制器40指示保管用的目标流量。
[0122]并且，控制装置H执行停止供给处理，在该停止供给处理中，控制质量流量控制器40的动作，以停止对多个收纳部1S的一部分或全部供给氮气。
[0123]该停止供给处理伴随将收纳部1S的管理状态从供给收纳部切换为停止收纳部来进行。即，伴随保管架10整体(多个收纳部1S的全部)，或者以区域CH为单位或以收纳部1S为单位(多个收纳部1S的一部分)将管理状态切换为停止收纳部，未收纳容器50的收纳部1S不言而喻，对于收纳有容器50而通过供给处理供给了氮气的收纳部1S来说，也对质量流量控制器40停止保管用的目标流量的指令。
[0124]并且，控制装置H在进行了停止供给处理之后执行再次开始供给处理，在该再次开始供给处理中，控制质量流量控制器40的动作，以向通过停止供给处理而停止了氮气的供给的收纳部1S中的再次开始供给对象的收纳部1S供给氮气。
[0125]该再次开始供给处理伴随将收纳部1S的管理状态从停止收纳部切换为供给收纳部来进行。即，伴随以保管架10为单位、以区域CH为单位或者以收纳部1S为单位将管理状态切换至供给状态，将收纳有容器50的收纳部1S的一部分或全部作为再次开始供给对象的收纳部10S，对与该再次开始供给对象的收纳部1S对应的质量流量控制器40，根据四个保管用净化模型P3?P6中的预先由控制台HS选择的一个模型，指示保管用的目标流量。
[0126]另外，例如在以区域CH为单位将收纳部1S作为停止收纳部管理的情况下，当将属于该区域CH的收纳部1S的管理状态变更为供给收纳部时，执行再次开始供给处理，对属于该区域CH的收纳部1S且收纳有容器50的收纳部1S全部再次开始氮气的供给。
[0127]在这样的情况下，集中于I个区域CH地供给氮气(初始目标流量的氮气)，容器50内的气体随之被排出到收纳部10S，因此，氧浓度有可能局部降低。为了避免这种情况，控制装置H监视多个收纳部1S中的氮气的供给状态，控制多个质量流量控制器40，使得再次开始惰性气体的供给的收纳部1S不会集中于预定的区域。
[0128]加以说明，控制装置H将多个收纳部1S分成针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部1S构成的收纳部组设定的多个监视区域E，来监视对多个收纳部1S的氮气的供给状态，并控制(同时净化抑制控制)多个质量流量控制器40，使对分别属于多个监视区域E的收纳部1S (收纳部组)的氮气的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
[0129]接下来对控制装置H进行的同时净化抑制控制进行说明。顺便说一下，该同时净化抑制控制主要在以区域CH为单位再次开始氮气的供给时进行，但有时也在以收纳部1S为单位再次开始氮气的供给时，或在容器50收纳于收纳部1S时开始氮气的供给时进行。并且，有时在其他的收纳部1S中氮气的供给流量从初始目标流量切换到稳定目标流量时及从稳定目标流量切换到初始目标流量时进行。
[0130](同时净化抑制控制)
对多个收纳部1S设定多个监视区域E。首先对这多个监视区域E进行说明。
[0131]在监视区域E中具有:由沿上下方向彼此相邻地排成一列的收纳部组形成的上下监视区域El (例如，图8中单点划线所示的区域)；由沿左右方向彼此相邻地排成一列的收纳部组形成的左右监视区域E2 (例如，图8中双点划线所示的区域);以及由在保管架10的上下整体沿上下方向彼此相邻地排成一列的收纳部组形成的列监视区域E3 (例如，图9中粗线所示的区域)。
[0132]上下监视区域El和左右监视区域E2分别相对于多个收纳部1S中的每个设定，相对于72个部位的收纳部1S设定72个上下监视区域El和72个左右监视区域E2。具体而言，对于图8 (a)中标记”a”所示的收纳部10S，设定图8 (a)所示的上下监视区域El和左右监视区域E2。并且，对于图8 (b)中标记”a”所示的收纳部10S，设定图8 (b)所示的上下监视区域El和左右监视区域E2。另外，以下在提到图8?图16所记载的收纳部1S时，将标记” η ”所示的收纳部1S记载为收纳部1S [η]。例如，收纳部1S [a]表示标记”a”所示的收纳部10S。列监视区域E3与保管架10的列对应地设定，相对于9列收纳部1S设定9个列监视区域E3。多个收纳部1S分别属于9列的列监视区域E3中的某一个。
[0133]即，多个收纳部1S分别属于上下监视区域El、左右监视区域E2及列监视区域E3这三种监视区域E中的某一个。
[0134]进而，这样设定的上下监视区域E1、左右监视区域E2及列监视区域E3分别沿着作业人员用通路T (参照图1)延伸的方向(左右方向)设定有多个。并且，上下监视区域E1、左右监视区域E2及列监视区域E3分别相对于由在上下方向和左右方向中的至少一方上彼此相邻的两个以上的收纳部1S构成的收纳部组设定。并且，上下监视区域El和列监视区域E3相对于由沿上下方向排成一列而彼此相邻的两个以上的收纳部1S构成的收纳部组设定。
[0135]进而，能够利用控制台HS设定连续设定数或合计设定数，上下监视区域El和左右监视区域E2的宽广度根据所设定的连续设定数的数目而变化。即，连续设定数为规定上下监视区域El和左右监视区域E2的参数之一，通过该连续设定数与成为基准的收纳部1S[a]的位置，来确定上下监视区域El和左右监视区域E2的大小和位置。
[0136]S卩，在连续设定数设定为“I”的情况下，如图8 (a)和图10所示，相对于收纳部1S [a]设定的上下监视区域El由收纳部1S [a]和一对收纳部1S [bl]这三个收纳部1S形成。
[0137]在连续设定数设定为“2”的情况下，如图8 (a)和图11所示，相对于收纳部1S[a]设定的上下监视区域El由收纳部1S [a]、一对收纳部1S [bl]及一对收纳部1S[b2]这五个收纳部1S形成。
[0138]在连续设定数设定为“3”的情况下，如图8 (a)和图12所示，相对于收纳部1S[a]设定的上下监视区域El由收纳部1S [a]、一对收纳部1S [bl]、一对收纳部1S [b2]及一对收纳部1S [b3]这七个收纳部1S形成。
[0139]并且，在连续设定数设定为“I”的情况下，如图8 (a)和图13所示，相对于收纳部1S [a]设定的左右监视区域E2由收纳部1S [a]和一对收纳部1S [cl]这三个收纳部1S形成。
[0140]在连续设定数设定为“2”的情况下，如图8 (a)和图14所示，相对于收纳部1S[a]设定的左右监视区域E2由收纳部1S [a]、一对收纳部1S [cl]及一对收纳部1S[c2]这五个收纳部1S形成。
[0141]在连续设定数设定为“3”的情况下，如图8 (a)和图15所示，相对于收纳部1S[a]设定的左右监视区域E2由收纳部1S [a]、一对收纳部1S [cl]、一对收纳部1S [c2]及一对收纳部1S [c3]这七个收纳部1S形成。
[0142]这样，在本实施方式中，基本上，上下监视区域El和左右监视区域E2由以作为基准的收纳部1S [a]为中心通过连续设定数规定的三个、五个或者七个收纳部1S形成。
[0143]但是，如图8所示，根据收纳部10S[a]的位置，存在如下所述的属于监视区域E的收纳部1S的数量不同的情况。即，在连续设定数设定为“3”的情况下，还存在上下监视区域El和左右监视区域E2由小于七个(在图8 (b)中上下监视区域El为五个，左右监视区域E2为四个)的收纳部1S形成的情况。并且，在连续设定数设定为“2”的情况下，还存在上下监视区域El和左右监视区域E2由小于五个(在图8 (b)中上下监视区域El为四个，左右监视区域E2为三个)的收纳部1S形成的情况。并且，在连续设定数设定为“I”的情况下，还存在上下监视区域El和左右监视区域E2小于三个(在图8 (b)左右监视区域E2为两个)的情况。
[0144](设定限制条件)
接下来，根据图10?图16对设定限制条件进行说明。另外，图10?图16所示的集合的一个一个分别表示收纳部10S，在表示收纳部10S的集合整体标上斜线，示出被供给氮气的收纳部10S。并且，对于收纳部1S [a]在圆形标记中标上斜线，表示再次开始供给对象的收纳部10S。
[0145]并且，将供给初始目标流量的氮气的状态上下反转的情况下(图10 (b)中，不是将上侧的收纳部1S [bl]而是将下侧的收纳部1S [bl]作为被供给氮气的收纳部1S的情况)和左右反转的情况下，结果也是相同的。
[0146]并且，在以下的设定限制条件的说明中，通过满足一种监视区域E的设定限制条件，便于说明“成为再次开始供给对象的收纳部10S”或者“不成为再次开始供给对象的收纳部10S”，但实际上，通过在三种监视区域E中全部满足设定限制条件，而成为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0147]另外，上述的“供给氮气的收纳部10S”是被供给初始目标流量的氮气的收纳部10S，被供给稳定目标流量的氮气的收纳部1S不是“被供给氮气的收纳部10S”。在以下的说明中，若没有特别说明，则“被供给氮气”表示“被供给初始目标流量的氮气”。
[0148]在本实施方式中，相对于上下监视区域E1，将设定限制条件设为，在上下方向上向收纳部1S供给氮气的收纳部1S连续的数目为连续设定数以下。
[0149]在连续设定数设定为“I”的情况下，如图10 (a)所示，即便向收纳部1S [a]供给氮气，被供给氮气的收纳部1S连续的数目也为连续设定数的“I”以下，满足设定限制条件。因此，在图10 (a)所示的情况下，收纳部1S [a]成为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0150]并且，在连续设定数设定为“I”的情况下，如图10 (b)所示，当向收纳部1S [a]供给氮气时，被供给氮气的收纳部1S连续的数目超过连续设定数的“I”，不满足设定限制条件。因此，在图10 (b)所示的情况下，收纳部1S [a]不成为再次开始供给对象的收纳部 10S。
[0151]在连续设定数设定为“2”的情况下，如图11 (a)、(b)、(e)所示，即便向收纳部1S[a]供给氮气，被供给氮气的收纳部1S连续的数目也为连续设定数的“2”以下，满足设定限制条件。因此，在图11 (a)、(b)、(e)所示的情况下，收纳部1S [a]成为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0152]并且，在连续设定数设定为“2”的情况下，如图11 (C)、(d)所示，当向收纳部1S[a]供给氮气时，被供给氮气的收纳部1S连续的数目超过连续设定数的“2”，不满足设定限制条件。因此，在图11 (c)、(d)所示的情况下，收纳部1S [a]不成为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0153]在连续设定数设定为“3”的情况下，如图12 (a)?(d)、(g)所示，即便向收纳部1S [a]供给氮气，被供给氮气的收纳部1S连续的数目也为连续设定数的“3”以下，满足设定限制条件。因此，在图12 (a)?(d)、(g)所示的情况下，收纳部1S [a]成为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0154]并且，在连续设定数设定为“3”的情况下，如图12 (e)、(f)所示，当向收纳部1S
[a]供给氮气时，被供给氮气的收纳部1S连续的数目超过连续设定数的“3”，不满足设定限制条件。因此，在图12 (e)、(f)所示的情况下，收纳部1S [a]不成为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0155]在本实施方式中，相对于左右监视区域E2，将设定限制条件设为，在左右方向上向收纳部1S供给氮气的收纳部1S连续的数目成为连续设定数以下。
[0156]另外，左右监视区域E2仅收纳部组的排列方向与上下监视区域El的情况不同，因此，省略基于图13?图15的具体的说明。
[0157]在本实施方式中，相对于列监视区域E3，将设定限制条件设为，各个列监视区域E3的被供给氮气的收纳部1S的合计数为合计设定数以下。
[0158]对该列监视区域E3的设定限制条件是这样的条件:将列监视区域E3中的每单位时间的氮气的供给量以限制为预先确定的限制值以下为目的进行设定。
[0159]进而，在合计设定数为“3”的情况下，如图16 (a)、(b)所示，即便向收纳部1S[a]供给氮气，被供给氮气的收纳部1S的合计数为合计设定数的“3”以下，满足设定限制条件。因此，在图16 (a)、(b)所示的情况下，收纳部1S [a]成为再次开始供给对象的收纳部1S0
[0160]进而，在合计设定数设定为“3”的情况下，如图16 (C)所示，当向收纳部1S [a]供给氮气时，被供给氮气的收纳部1S的合计数超过合计设定数的“3”，因此不满足设定限制条件。因此，在图16 (c)所示的情况下，收纳部1S [a]不成为再次开始供给对象的收纳部1S0
[0161 ](再次开始供给对象的收纳部的选择)
控制装置H在再次开始供给处理中，在向再次开始供给对象的收纳部1S再次开始供给氮气的情况下，从能够成为再次开始供给对象的全部收纳部1S中选择一部分或全部的收纳部1S成为再次开始供给对象的收纳部，使得在再次开始供给对象的收纳部1S所属的监视区域E中满足设定限制条件。
[0162]S卩，在再次开始供给处理中，例如，伴随以区域CH为单位将管理状态切换为供给状态，属于该区域CH的收纳部1S并且是收纳有容器50的收纳部1S成为能够成为再次开始供给对象的收纳部10S。进而，从能够成为该再次开始供给对象的全部收纳部1S中选择再次开始供给对象的收纳部10S，使得在各监视区域E中满足设定限制条件。
[0163]并且，控制装置H根据存货传感器1z的检测信息对多个收纳部1S的每个管理自收纳容器50起的经过时间，在再次开始供给处理中，从能够成为再次开始供给对象的全部收纳部1S中，使经过时间短的收纳部1S优选而作为再次开始供给对象的收纳部10S。
[0164]即，从能够成为再次开始供给对象的全部收纳部1S中，使自收纳容器50起的经过时间短的收纳部1S优先而判断是否满足设定限制条件。因此，对于经过时间短的收纳部10S，在向周围供给氮气的收纳部1S少的状态下，判断是否满足设定限制条件。其结果是，经过时间短的收纳部1S容易被选择为再次开始供给对象的收纳部10S，因此容易接受氮气供给。
[0165]〔其他实施方式〕
(I)在上述实施方式中也可以是，在开始供给处理后，执行停止供给处理，然后对于执行该处理的收纳部10S，继续收纳容器50，直到开始再次开始供给处理，但伴随执行停止供给处理，从执行该处理的收纳部1S取出容器50，在开始再次开始供给处理之前，使该容器50返回执行该处理的收纳部10S。
[0166]另外，如上所述取出的容器50可以输送到位于同一保管设备内的另一收纳部10S,并且还可以与入库出库输送机CV或输送车D协作地输送到另一保管设备的收纳部10S。
[0167](2)在上述实施方式中，控制装置H根据设置于收纳部1S的存货传感器1z的检测信息，对于多个收纳部1S的每个管理自收纳容器50起的经过时间。但是，控制装置H也可以构成为，根据检测是否已经由入库出库输送机CV将容器50搬入到设置空间S内的传感器的检测信息，对于收纳该容器50的收纳部1S算出自收纳容器50起的经过时间进行管理，或管理自容器50搬入设置空间S内起的经过时间。进而，也可以根据这样管理的经过时间,来选择再次开始供给对象的收纳部10S。
[0168](3)在上述实施方式中，对于上下监视区域El和左右监视区域E2，将设定限制条件设为，被供给惰性气体的收纳部1S连续的数目为预先确定的连续设定数以下，对于列监视区域E3，将设定限制条件设为，被供给惰性气体的收纳部1S的合计数为预先确定的合计设定数以下。
[0169]但是，也可以适当变更对于各监视区域E的设定限制条件。例如，对于上下监视区域E，将设定限制条件设为，被供给惰性气体的收纳部1S的合计数为预先确定的合计设定数以下。
[0170]并且，对于各监视区域E，算出将对所属的收纳部1S供给的每单位时间的惰性气体的供给量合计的合计供给量，将设定为将合计供给量限制在预先确定的限制值以下的条件作为设定限制条件。
[0171](4)在上述实施方式中，对于多个收纳部1S的每个设定了上下监视区域E1、左右监视区域E2及列监视区域E3这三种监视区域E，但对于多个收纳部1S的每个，也可以仅设定三种监视区域E中的一种或两种。
[0172]并且，虽然对于多个收纳部1S的每个设定了监视区域E，但也可以通过对每隔I列的收纳部1S仅设定列监视区域E3等，而仅对多个收纳部1S的一部分设定监视区域E。
[0173](5)在上述实施方式中，例示了容器50为收纳半导体基板的FOUP的结构，但不限于这样的结构，例如，也可以为收纳中间掩模(reticule)的中间掩模容器。并且，虽然惰性气体为氮气，但作为惰性气体，可以使用除氮气以外的氩气等与所收纳的基板W反应性低的各种气体。顺便说一下，作为收纳于容器50的物品，可以广泛地应用于工业产品、食品、药品等。
[0174](6)在上述实施方式中，设置于保管设备的一对保管架10中仅对一个保管架10设置了惰性气体供给路，但也可以对双方的保管架10都设置惰性气体供给路。顺便说一下，在这样相对于双方的保管架10设置惰性气体供给路的情况下，将在一个保管架10的收纳部1S和另一个保管架10的收纳部1S中对置的收纳部1S作为彼此相邻的收纳部1S来形成监视区域E。
[0175](7)在上述实施方式中，由质量流量控制器40构成供给量调节装置，但也可以利用其它装置构成供给量调节装置，例如，利用收纳部用控制阀75构成供给量调节装置。
[0176](8)在上述实施方式中，设置有覆盖设置多个收纳部1S的设置空间S的墙体K，但也可以不设置墙体K，而使设置空间S为开放的空间，使外部空气通过设置空间S内来搅拌设置空间S内的惰性气体。
[0177](9)在上述实施方式中，利用排气口 50ο和排出用通气体10构成排出部F，但也可以构成为将容器内的惰性气体从配备于容器50的排气口 50ο直接排出，将配备于收纳于收纳部1S的容器50的排气口 50ο作为配备于收纳部1S的排出部F。
[0178]( 10)在上述实施方式中，控制装置H对多个供给量调节装置的每个发送指令信息来控制供给量调节装置，由此监视多个收纳部1S中的氮气的供给状态，但也可以是控制装置H对多个供给量调节装置的每个发送指令信息来控制供给量调节装置，进而，控制装置H从供给量调节装置接收惰性气体的供给信息，由此监视多个收纳部1S中的氮气的供给状态。
[0179](11)关于其他构成，本说明书中公开的实施方式在所有方面都是例示，本发明的范围不受它们限定。在不脱离本发明的主旨的范围内能够适当改变。因此，在不脱离本发明的主旨的范围内改变得到的其他实施方式当然也包括在本发明的范围内。
【权利要求】
1.一种保管设备，包括: 多个收纳部，收纳容器； 惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体； 喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及 排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部； 其特征在于， 多个供给量调节装置，设置于上述惰性气体供给路中的各个上述多个收纳部的上述喷出部的上游侧，调节向各个上述喷出部的惰性气体的供给量； 控制装置，监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制上述多个供给量调节装置； 这里，上述控制装置构成为，将上述多个收纳部分成针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域，来监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态，控制上述多个供给量调节装置，使得向属于各个上述多个监视区域的上述收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
2.根据权利要求1所述的保管设备，其特征在于， 上述设定限制条件是这样的条件:设定为将各个上述监视区域中的每单位时间的惰性气体的供给量限制在预先确定的限制值以下。
3.根据权利要求1或2所述的保管设备，其特征在于， 与上述多个收纳部相邻地设置有作业人员用通路， 上述监视区域沿着上述作业人员用通路延伸的方向设定有多个。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的保管设备，其特征在于， 上述收纳部在上下方向和左右方向双方分别设置有多个， 上述监视区域的每个相对于由在上下方向和左右方向中的至少一方上彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
5.根据权利要求4所述的保管设备，其特征在于， 上述监视区域的每个相对于由在上下方向上排成一列而彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
6.根据权利要求4或5所述的保管设备，其特征在于， 上述设定限制条件为各个上述监视区域中的被供给惰性气体的上述收纳部的合计数是预先设定的合计设定数以下。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的保管设备，其特征在于， 上述设定限制条件为，在上下方向和左右方向中的至少一方上，向上述收纳部供给惰性气体的上述收纳部连续的数目为预先确定的连续设定数以下。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的保管设备，其特征在于， 上述控制装置构成为执行以下处理: 供给处理，以上述容器收纳于上述收纳部作为条件，控制上述供给量调节装置，以向该收纳部供给惰性气体， 停止供给处理，控制上述供给量调节装置，使得对上述多个收纳部的一部分或全部停止惰性气体的供给；以及 再次开始供给处理，在进行了上述停止供给处理后，控制上述供给量调节装置，使得对由于上述停止供给处理而停止了惰性气体的供给的上述收纳部中的再次开始供给对象的收纳部供给惰性气体， 在上述再次开始供给处理中，在对上述再次开始供给对象的收纳部再次开始惰性气体的供给的情况下，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中选择一部分或全部的收纳部作为上述再次开始供给对象的收纳部，使得在上述再次开始供给对象的收纳部所属的上述监视区域中满足上述设定限制条件。
9.根据权利要求8所述的保管设备，其特征在于， 上述控制装置构成为，管理关于各个上述多个收纳部的自收纳上述容器起的经过时间，在上述再次开始供给处理中，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中，使上述经过时间短的上述收纳部优先作为上述再次开始供给对象的收纳部。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的保管设备，其特征在于， 设置有覆盖设置上述多个收纳部的设置空间的墙体。
11.一种保管方法，利用保管设备， 上述保管设备包括: 多个收纳部，收纳容器； 惰性气体供给路，向各个上述多个收纳部供给惰性气体； 喷出部，设置于各个上述多个收纳部，将从上述惰性气体供给路供给的惰性气体向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出；以及 排出部，设置于各个上述多个收纳部，在从上述喷出部向收纳于上述收纳部的上述容器的内部喷出惰性气体的情况下，将该容器的内部的气体排出到该容器的外部； 多个供给量调节装置，设置于上述惰性气体供给路中的各个上述多个收纳部的上述喷出部的上游侧，调节向各个上述喷出部的惰性气体的供给量；以及控制装置， 上述保管方法包含由上述控制装置执行的以下工序: 监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态的供给状态监视工序；以及 控制上述多个供给量调节装置的调节装置控制工序； 这里，在上述供给状态监视工序中，将上述多个收纳部分成针对每个由彼此相邻的两个以上的收纳部构成的收纳部组设定的多个监视区域，来监视上述多个收纳部中的惰性气体的供给状态， 在上述调节装置控制工序中，控制上述多个供给量调节装置，使得向属于各个上述多个监视区域的上述收纳部的惰性气体的供给状态满足预先确定的设定限制条件。
12.根据权利要求11所述的保管方法，其特征在于， 上述设定限制条件是这样的条件:设定为将各个上述监视区域的每单位时间的惰性气体的供给量限制在预先确定的限制值以下。
13.根据权利要求11或12所述的保管方法，其特征在于， 在上述保管设备与上述多个收纳部相邻地设置有作业人员用通路， 在上述供给状态监视工序中，将上述监视区域沿着上述作业人员用通路延伸的方向设定多个。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的保管方法，其特征在于， 上述收纳部在上下方向和左右方向双方分别设置多个， 在上述供给状态监视工序中，将上述监视区域的每个相对于由在上下方向和左右方向中的至少一方上彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
15.根据权利要求14所述的保管方法，其特征在于， 在上述供给状态监视工序中，将上述监视区域的每个相对于由在上下方向上排成一列而彼此相邻的两个以上的收纳部构成的上述收纳部组设定。
16.根据权利要求14或15所述的保管方法，其特征在于， 上述设定限制条件为各个上述监视区域中的被供给惰性气体的上述收纳部的合计数是预先设定的合计设定数以下。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的保管方法，其特征在于， 上述设定限制条件为，在上下方向和左右方向中的至少一方上，向上述收纳部供给惰性气体的上述收纳部连续的数目为预先确定的连续设定数以下。
18.根据权利要求11至17中任一项所述的保管方法，其特征在于， 在上述调节装置控制工序中执行以下处理: 供给处理，以上述容器收纳于上述收纳部作为条件，控制上述供给量调节装置，以向该收纳部供给惰性气体， 停止供给处理，控制上述供给量调节装置，使得对上述多个收纳部的一部分或全部停止惰性气体的供给；以及 再次开始供给处理，在进行了上述停止供给处理后，控制上述供给量调节装置，使得对由于上述停止供给处理而停止了惰性气体的供给的上述收纳部中的再次开始供给对象的收纳部供给惰性气体， 在上述再次开始供给处理中,在对上述再次开始供给对象的收纳部再次开始惰性气体的供给的情况下，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中选择一部分或全部的收纳部作为上述再次开始供给对象的收纳部，使得在上述再次开始供给对象的收纳部所属的上述监视区域中满足上述设定限制条件。
19.根据权利要求18所述的保管方法，其特征在于， 作为由上述控制装置执行的工序，还包含经过时间管理工序，在该经过时间管理工序中，管理关于各个上述多个收纳部的自收纳上述容器起的经过时间， 在上述再次开始供给处理中，从能够成为上述再次开始供给对象的全部收纳部中使上述经过时间短的上述收纳部优先作为上述再次开始供给对象的收纳部。
20.根据权利要求11至19中任一项所述的保管方法，其特征在于， 在上述保管设备上设置覆盖设置上述多个收纳部的设置空间的墙体。
【文档编号】B65G1/04GK104249896SQ201410287375
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年6月25日 优先权日:2013年6月26日
【发明者】高原正裕, 上田俊人 申请人:株式会社大福