一种硅片用装片工装的制作方法

本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种硅片用装片工装。

背景技术：

随着金刚线切片技术推广，硅片产能提升2-3倍，对于后端清洗的压力日益增大，且金刚线硅片边缘在清洗过程中易受损，造成硅落异常，因此对于装片工装便于操作性要求提高。

现有的工装结构员工从周转盒内，将一摞硅片取出，从工装正面将硅片推入，硅片的左右两侧会与侧板摩擦，造成硅落。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种硅片用装片工装，减少硅片装片时边缘受损，且便于操作。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种硅片用装片工装，包括底座和底板，所述底板通过一垫片呈斜坡状设在所述底座上，所述底板上设有若干自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔，所述底板两侧的所述底座上分别设有侧板，所述底座与所述底板连接的一端上分开设有两后板，所述后板上设有防撞皮筋，所述后板分别与接近的所述侧板的顶端之间设有连接板，所述后板与所述侧板相互垂直且留有间隙设置。

优选的，所述底座上设有通孔，所述通孔与所述水溢出孔相对应。

优选的，所述底座上设有若干安装孔，所述垫片上设有若干底座连接孔和底板连接孔，所述底板上设有底板安装孔，所述垫片通过所述安装孔、所述底座连接孔、所述底板连接孔和所述底板安装孔分别与所述底座和所述底板安装连接，所述安装连接采用螺栓或螺丝连接。

优选的，所述底板下设有底座接触面，所述底座接触面连接安装在所述底座上，所述底板上与所述底座接触面相反的一面呈斜坡状设在所述底座上。

优选的，所述底板与所述底座之间的倾斜角度范围为10°-15°。

优选的，所述侧板上设有提手，所述提手为方形孔或圆腰形孔。

优选的，所述连接板为l型连接板，所述l型连接板上设有若干连接螺孔，所述连接板通过所述连接螺孔分别与所述侧板和所述后板安装连接，所述安装连接采用螺纹连接。

优选的，所述底座上与所述后板相对的一侧上设有感应螺丝。

优选的，所述底板、所述侧板和所述后板的材料均为pvc。

本实用新型的有益效果是：工装整体结构稳定，员工操作简易；工装侧板与后板的设计，可以有效的减少硅片装片过程时，与侧板的摩擦，减少装片过程中的硅片异常受损和边缘受损；后板留有间隙设置，便于从后侧板间取硅片碎片；底板溢水设计，可方便装取湿硅片。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型背部结构示意图；

图3是本实用新型垫片结构示意图；

图4是本实用新型底板结构示意图；

图5是本实用新型侧面安装结构示意图；

图6是本实用新型装片结构示意图；

图中标记为：1.底座；11.通孔；2.垫片；21.底座连接孔；22.底板连接孔；23.安装螺栓；3.底板；31.水溢出槽；32.水溢出孔；33.底板安装孔；4.侧板；41.提手；5.后板；6.防撞皮筋；7.连接板；71.连接螺孔；8.感应螺丝；9.硅片。

具体实施方式

如图1和图2所示，一种硅片用装片工装，整体工装的材质为pvc板，包括底座1和底板3，底板3通过一垫片2呈斜坡状设在底座1上，底板3两侧的底座1上分别设有侧板4，侧板4上设有提手41，提手41为方形孔或圆腰形孔，便于提拉、搬运。底座1与底板3连接的一端上分开设有两后板5，后板5上设有防撞皮筋6，后板5上设有防撞皮筋6的预留穿孔，防撞皮筋6的材质主要为橡胶，其防止硅片在装片时与后板5撞击，导致硅落。后板5分别与接近的侧板4的顶端之间设有连接板7，连接板7为l型连接板，l型连接板上设有若干连接螺孔71，连接板7通过连接螺孔71分别与侧板4和后板5安装连接，左右侧板4与后板5上端也设有螺纹孔，安装连接采用螺纹连接，结构稳定，左右侧板4、后板5与底座1也通过圆柱头螺丝连接。后板5与侧板4相互垂直且留有间隙设置。进一步的，底座1两侧装有感应螺丝8，其端头可被光电开关感应，便于在装片工装装完片后，下道工序定位用。

如图1-图5所示，底座1上设有若干安装孔，垫片2上设有若干底座连接孔21和底板连接孔22，底板3上设有底板安装孔33，垫片2通过安装孔、底座连接孔21、底板连接孔22和底板安装孔33分别与底座1和底板3安装连接，安装连接采用螺栓或螺丝连接。底板3下设有底座接触面，底座接触面连接安装在底座1上，底板3上与底座接触面相反的一面呈斜坡状设在底座1上。其中，底板3通过垫片2与底座1通过圆柱头螺丝连接，垫片2形状为t型，主要使底板3与底座1呈10-15°角，防止硅片在搬运过程中倾斜滑出。进一步的，底板3上设有若干自上而下的水溢出槽31，水溢出槽31之间设有互通的水溢出孔32，底座1上设有通孔11，通孔11与水溢出孔32相对应，在装湿硅片时，可通过水溢出孔32和通孔11将水流出，以便之后的硅片操作。

如图1-图6所示，一种硅片用装片工装在使用过程中，从上往下放置硅片9，左右侧板4和后板5分开设置，材料方便加工，且预留出了硅片9倒角位置，避免与一体的侧板4转角出撞击坏片；后板5中间预留间隔，方便取碎硅片9，且可以从上往下转硅片9、减少硅片9推入时与侧板的摩擦，从而减少硅片装片时受损。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种硅片用装片工装，其特征在于，包括底座和底板，所述底板通过一垫片呈斜坡状设在所述底座上，所述底板上设有若干自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔，所述底板两侧的所述底座上分别设有侧板，所述底座与所述底板连接的一端上分开设有两后板，所述后板上设有防撞皮筋，所述后板分别与接近的所述侧板的顶端之间设有连接板，所述后板与所述侧板相互垂直且留有间隙设置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述底座上设有通孔，所述通孔与所述水溢出孔相对应。

3.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述底座上设有若干安装孔，所述垫片上设有若干底座连接孔和底板连接孔，所述底板上设有底板安装孔，所述垫片通过所述安装孔、所述底座连接孔、所述底板连接孔和所述底板安装孔分别与所述底座和所述底板安装连接，所述安装连接采用螺栓或螺丝连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述底板下设有底座接触面，所述底座接触面连接安装在所述底座上，所述底板上与所述底座接触面相反的一面呈斜坡状设在所述底座上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述底板与所述底座之间的倾斜角度范围为10°-15°。

6.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述侧板上设有提手，所述提手为方形孔或圆腰形孔。

7.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述连接板为l型连接板，所述l型连接板上设有若干连接螺孔，所述连接板通过所述连接螺孔分别与所述侧板和所述后板安装连接，所述安装连接采用螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述底座上与所述后板相对的一侧上设有感应螺丝。

9.根据权利要求1所述的一种硅片用装片工装，其特征在于，所述底板、所述侧板和所述后板的材料均为pvc。

技术总结
本实用新型提供一种硅片用装片工装，包括底座和底板，所述底板通过一垫片呈斜坡状设在所述底座上，所述底板上设有若干自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔，所述底板两侧的所述底座上分别设有侧板，所述底座与所述底板连接的一端上分开设有两后板，所述后板上设有防撞皮筋，所述后板分别与接近的所述侧板的顶端之间设有连接板，所述后板与所述侧板相互垂直且留有间隙设置。本实用新型减少硅片装片时边缘受损，且便于操作。

技术研发人员：邹文龙;冯强;丁雷
受保护的技术使用者：苏州晶樱光电科技股份有限公司
技术研发日：2019.09.29
技术公布日：2020.07.28