一种硅晶棒取料系统的制作方法

文档序号:25541687发布日期:2021-06-18 20:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅晶棒取料系统,包括工作台(1)、盛料装置(2)、支撑装置(3)和取料装置(4),其特征在于:所述的工作台(1)的顶部由左至右依次设置有盛料装置(2)、支撑装置(3)和取料装置(4);

所述的盛料装置(2)包括矩形空心架(20)、盛料板(21)、一号电动推杆(22)、第一推板(23)、水平板(24)、二号电动推杆(25)、第二推板(26)和隔离架(27),所述的工作台(1)顶部左侧固定安装有矩形空心架(20),所述的矩形空心架(20)的内壁下端固定安装有盛料板(21),所述的盛料板(21)为倾斜状,且矩形空心架(20)的左侧内壁且位于盛料板(21)的上方开设有固定槽,固定槽内固定安装有一号电动推杆(22),一号电动推杆(22)的移动端固定安装有第一推板(23),第一推板(23)的底部和盛料板(21)的顶部相接触,矩形空心架(20)的右侧内壁且位于盛料板(21)的上方开设有一号矩形通槽,且所述的矩形空心架(20)的内壁且位于盛料板(21)的正上方固定安装有水平板(24),水平板(24)的左侧顶部由前至后开设有二号矩形通槽,矩形空心架(20)的右侧内壁且位于水平板(24)的上方开设有移动槽,移动槽内固定安装有二号电动推杆(25),二号电动推杆(25)的移动端固定安装有第二推板(26),所述的矩形空心架(20)的左端内壁且位于水平板(24)的上方设置有隔离架(27);

所述的支撑装置(3)包括支座(30)、一号弧形凹槽(31)、挡板(32)、滑移槽(33)、滑动块(34)、限位板(35)、垂直立板(36)和伸缩支架杆(37),所述的工作台(1)的顶部且位于矩形空心架(20)的右侧固定安装有支座(30),支座(30)的顶部由前至后开设有一号弧形凹槽(31),所述的支座(30)的左右两端固定安装有挡板(32),挡板(32)的高度和一号矩形通槽的底部相平齐,且左侧的挡板(32)和矩形空心架(20)相接触,两组挡板(32)的顶部前后对称开设有滑移槽(33),滑移槽(33)内安装有滑动块(34),两组滑动块(34)之间通过限位板(35)相连接,所述的工作台(1)的顶部且位于支座(30)的前后两侧对称固定安装有垂直立板(36),两组垂直立板(36)的相对面开设有限位槽,限位槽内安装有伸缩支架杆(37),伸缩支架杆(37)的移动端和限位板(35)的一端固定连接;

所述的取料装置(4)包括圆柱杆(40)、伸缩板(41)、移动板(42)、电动气缸(43)、转动杆(44)、矩形板(45)、电动滑块(46)、一号夹紧架(47)、二号夹紧架(48)和移动架(49),所述的工作台(1)的顶部且位于支撑装置(3)的右侧通过轴承安装有圆柱杆(40),圆柱杆(40)的顶部固定安装有伸缩板(41),伸缩板(41)的右端底部安装有加重块,伸缩板(41)的左端固定安装有移动板(42),移动板(42)的底部开设有一号圆形凹槽,一号圆形凹槽内安装有电动气缸(43),电动气缸(43)的移动端固定安装有转动杆(44),转动杆(44)的底部固定安装有矩形板(45),矩形板(45)的底部前后两侧对称开设有滑动槽,滑动槽内设置有电动滑块(46),且滑动槽内还设置有一号夹紧架(47),电动滑块(46)和一号夹紧架(47)固定连接,且矩形板(45)的底部中间位置固定安装有二号夹紧架(48),且工作台(1)顶部且位于圆柱杆(40)的位置设置有移动架(49)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶棒取料系统,其特征在于:所述的隔离架(27)包括三号矩形通槽(271)、隔离板(272)、圆形杆(273)和l形定位杆(274),所述的矩形空心架(20)的左端内壁且位于水平板(24)的上方由下至上均匀开设有三号矩形通槽(271),三号矩形通槽(271)内设置有隔离板(272),隔离板(272)的一端由上至下开设有定位孔,且矩形空心架(20)的顶部左端中心位置开设有二号圆形凹槽,二号圆形凹槽内设置有圆形杆(273),圆形杆(273)的左侧壁固定安装有l形定位杆(274),l形定位杆(274)的竖直段位于定位孔内。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶棒取料系统,其特征在于:所述的水平板(24)的顶部左侧由前至后开设有一号矩形凹槽,一号矩形凹槽内均匀设置有压缩弹簧(241),压缩弹簧(241)的顶部固定安装有梯形板(242)。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶棒取料系统,其特征在于:所述的一号弧形凹槽(31)的上端面均匀设置有多组小弹簧(311),小弹簧(311)的顶部固定安装有一号弧形板(312),一号弧形板(312)上安装有橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶棒取料系统,其特征在于:所述的一号夹紧架(47)包括伸出板(471)、弧形夹紧板(472)、伸缩弹簧杆(473)、环形板(474)和伸缩杆(475),滑动槽内设置有伸出板(471),伸出板(471)的前后两端面左右两侧对称通过销轴安装有两组弧形夹紧板(472),两组弧形夹紧板(472)之间通过伸缩弹簧杆(473)相连接,且两组弧形夹紧板(472)外套设有环形板(474),所述的伸出板(471)的底部且位于两组弧形夹紧板(472)的左右两侧对称固定安装有伸缩杆(475),伸缩杆(475)的末端和环形板(474)的上端面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶棒取料系统,其特征在于:所述的二号夹紧架(48)和一号夹紧架(47)的结构相同。

7.根据权利要求1所述的一种硅晶棒取料系统,其特征在于:所述的移动架(49)包括从动齿轮(491)、驱动电机(492)和不完全齿轮(493),所述的圆柱杆(40)的下端固定安装有从动齿轮(491),所述的工作台(1)的顶部开设有放置槽,放置槽内安装有驱动电机(492),驱动电机(492)的输出轴安装有不完全齿轮(493),不完全齿轮(493)和从动齿轮(491)啮合传动。


技术总结
本发明涉及一种硅晶棒取料系统,包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置,所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架,本发明通过设置的工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置的配合,首先将需要进行取料的硅晶棒放置到盛料装置中,盛料装置可以根据不同的直径对硅晶棒进行有序排列,从而提高了机械的适用性,此时在通过设置的支撑装置对不同长度的硅晶棒进行限位,使得硅晶棒位于取料装置的正中心位置,最后通过取料装置将硅晶棒进行取料,设置的取料装置使得再对硅晶棒进行取料时不会发生倾斜现象。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:新一代半导体研究所(深圳)有限公司
技术研发日:2021.02.07
技术公布日:2021.06.18
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