一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统的制作方法

1.本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统。


背景技术：

2.针对目前市场多样化的产品。异形基板越来越多，设计一款兼容不同形状基板的自动溅射镀膜设备是真空镀膜技术领域追求的目标。近年来，智能手机、平板电脑、ar/vr眼镜等电子产品市场蓬勃发展；相应地，这些智能终端的品质提升也对此类产品所需触摸屏的镀膜技术提出了更高要求。而在镀膜行业，对于客户来说，不同类型基板产需要在原来的平板载具的基础上，更新为异形产品装载轴载具，但是全自动搬送镀膜设备由于占地空间的概念，原来的堆栈结构会导致整个设备占地过大，对场地要求也会高，不利于生产。


技术实现要素：

3.本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，通过在环形导轨上设置独立的料串单元，实现异形产品的自动化输送。
4.本发明目的实现由以下技术方案完成：一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，设置在真空镀膜设备的搬送腔内，所述搬送腔位于真空镀膜设备的工艺腔下方，其特征在于：所述环形输送系统包括若干料串单元、环形导轨以及动力装置，若干所述料串单元安装在环形导轨上，所述动力装置可与所述料串单元构成传动配合使所述料串单元沿着所述环形导轨移动。
5.所述料串单元包括装载轴、工件插座、球头柱塞、滑座，所述装载轴安装在所述工件插座内，所述工件插座设置在所述滑座上，所述球头柱塞设置在所述工件插座和所述滑座之间，所述滑座下方设置有滑动轮，所述滑动轮与所述动力装置构成传动配合。
6.所述装载轴的下端设置有承重板，所述承重板位于所述工件插座的上方。
7.所述承重板上设置有防尘板。
8.所述动力装置包括真空电机和减速机组、同步带轮组和螺杆，所述真空电机和减速机组通过所述同步带轮组和所述螺杆构成传动配合，所述螺杆与所述料串单元的滑动轮构成传动配合。
9.两个或两个以上的所述料串单元之间设置有连杆。
10.本发明的优点是：占地空间小，集约性强；单个装载轴下端配有配重装置，保持输送线的稳定，搬送精度高；结构简单、合理，搬送方便，适于推广。
附图说明
11.图1为本发明的安装结构示意图；图2为本发明的俯视图；图3为图2的主视图；
图4为图3中的局部放大图。
具体实施方式
12.以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1
‑
4所示，图中标记1
‑
14分别表示为：工件插座1、滑座2、滑动轮3、连杆4、球头柱塞5、环形导轨6、承重板7、防尘板8、螺杆9、同步带轮组10、真空电机和减速机组11、装载轴12、工艺腔13、搬送腔14。
13.实施例：如图1所示，本实施例中的真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统用于真空镀膜设备的工艺腔13和搬送腔14之间的镀膜产品交互，尤其是异形产品的交互。具体而言，真空镀膜设备包括工艺腔13和搬送腔14，其中工艺腔13为执行镀膜工艺的腔体，搬送腔14则是用于实现大气侧与真空镀膜设备之间的镀膜产品交互，本实施例中的环形输送系统设置在搬送腔14之中。在执行时，未镀膜的产品由大气侧进入搬送腔14内的环形输送系统，而后经搬送进入工艺腔13内进行镀膜，完成镀膜后的已镀膜产品经搬送回到搬送腔14内，之后再返回大气侧。
14.如图2和图3所示，本实施例中的环形搬送系统主体包括若干料串单元和环形导轨6，若干料串单元均设置在环形导轨6上并可在动力装置的驱动下沿环形导轨6移动。环形导轨6的结构设定有一个搬送位置，在该搬送位置可完成单个料串单元在搬送腔14与工艺腔13之间的交互。
15.如图3和图4所示，每个料串单元包括装载轴12，装载轴12上可搭载异形产品。装载轴12的底部插装至工件插座1内，工件插座1安装在滑座2上，装载轴12的底端插入滑座2之中；在工件插座1和滑座2之间设置有球头柱塞5，装载轴12插入滑座2的插入处留有一定间隙，防止装载轴12在移动时发生晃动。在滑座2的底部设置有滑动轮3，滑动轮3装载在环形导轨6上且可与动力装置构成传动配合，即动力装置可驱动滑动轮3在环形导轨6上移动。在使用时，异形产品装载在装载轴12上并稳定承载于滑座2处。
16.如图3和图3所示，在工件插座1的上方设置有承重板7，该承重板7作为配重装置用于保持输送线的稳定。在承重板7的上方设置有防尘板8用于避免装载轴12上的产品上的膜料落在下方结构上，而导致难以清洁的问题。
17.如图2所示，动力装置由螺杆9、同步带轮组10、真空电机和减速机组11构成，其中真空电机和减速机组11作为原动件，其通过同步带轮组10与螺杆9构成传动配合，螺杆9与料串单元底部的滑动轮3构成传动配合，在使用时，真空电机和减速机组11带动同步带轮组10使螺杆9旋转，带动滑动轮3以及料串单元整体在环形导轨6上移动，达到搬送目标。
18.如图3所示，在相邻的两个料串单元的滑座2之间可设置连杆4，以在不影响装载轴12使用的前提下，进一步提高料串单元在移动时的稳定性。
19.本实施例在具体实施时：如图1所示，大气侧的操作人员人工装卸产品的时候，因为是采用环形导轨6进行产品的搬送，因此无需将整个环形输送线都取出，只需要将将环形输送线向搬送腔14外侧移动单个产品装载轴的距离，即可进行单个料串单元的装卸，装卸后环形输送线运动至下一个位置，即可继续装卸。
20.虽然以上实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明，但本
领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本发明作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。


技术特征：
1.一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，设置在真空镀膜设备的搬送腔内，所述搬送腔位于真空镀膜设备的工艺腔下方，其特征在于：所述环形输送系统包括若干料串单元、环形导轨以及动力装置，若干所述料串单元安装在环形导轨上，所述动力装置可与所述料串单元构成传动配合使所述料串单元沿着所述环形导轨移动。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述料串单元包括装载轴、工件插座、球头柱塞、滑座，所述装载轴安装在所述工件插座内，所述工件插座设置在所述滑座上，所述球头柱塞设置在所述工件插座和所述滑座之间，所述滑座下方设置有滑动轮，所述滑动轮与所述动力装置构成传动配合。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述装载轴的下端设置有承重板，所述承重板位于所述工件插座的上方。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述承重板上设置有防尘板。5.根据权利要求1或2所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述动力装置包括真空电机和减速机组、同步带轮组和螺杆，所述真空电机和减速机组通过所述同步带轮组和所述螺杆构成传动配合，所述螺杆与所述料串单元的滑动轮构成传动配合。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：两个或两个以上的所述料串单元之间设置有连杆。

技术总结
本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种真空镀膜设备中搬送用的环形输送系统，其特征在于：所述环形输送系统包括若干料串单元、环形导轨以及动力装置，若干所述料串单元安装在环形导轨上，所述动力装置可与所述料串单元构成传动配合使所述料串单元沿着所述环形导轨移动。本发明的优点是：占地空间小，集约性强；单个装载轴下端配有配重装置，保持输送线的稳定，搬送精度高；结构简单、合理，搬送方便，适于推广。推广。推广。


技术研发人员：戴晓东 马淑莹 余海春
受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司
技术研发日：2021.06.23
技术公布日：2021/10/7