一种用于硅片检测系统的接片机构的制作方法

本发明属于硅片生产，尤其是涉及一种用于硅片检测系统的接片机构。

背景技术：

1、在硅片制造过程中，采用硅片检测系统能够快速、有效地剔除存在隐裂、微裂纹等缺陷的不良硅片，硅片检测后则需要采用机械手抓取硅片，硅片由于重力作用向下运动，掉落在接片盒中，传统的接片盒缺少自动对齐功能，即上下相邻的硅片边缘层次不齐，增大后续包装难度。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本发明提供一种用于硅片检测系统的接片机构，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

2、为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种用于硅片检测系统的接片机构，包括接片盒、吹气装置和移动装置，接片盒设于移动装置上，接片盒的用于盛装硅片的表面与硅片下落的方向倾斜相交设置，以使得硅片进入接片盒后对齐；移动装置滑动设于机架上，吹气装置设于机架上，且吹气装置与硅片夹取机械手相对应，对硅片进行吹气，便于硅片倾斜进入接片盒内，进行对齐。

3、进一步的，接片盒与移动装置平行设置，移动装置倾斜设置，以使得接片盒的用于盛装硅片的表面倾斜设置，进行硅片对齐。

4、进一步的，接片盒与移动装置倾斜相交设置，移动装置水平设置，以使得接片盒的用于盛装硅片的表面倾斜设置，进行硅片对齐。

5、进一步的，接片盒包括盛装底板、第一阻挡部、第二阻挡部和支撑装置，其中，

6、第一阻挡部与第二阻挡部设于盛装底板的一侧面，且盛装底板该侧面与硅片下落的方向倾斜相交设置，便于硅片对齐；

7、第二阻挡部与第一阻挡部分别设于盛装底板相交的两侧边处，对硅片进行阻挡，使得硅片对齐；

8、支撑装置设于盛装底板的另一侧面，以使得接片盒与移动装置连接。

9、进一步的，盛装底板的两侧面平行设置或相交设置；

10、支撑装置包括支撑本体、水平部和倾斜部，水平部与倾斜部设于支撑本体的两端，倾斜部与盛装底板连接，水平部与倾斜部相交设置，使得盛装底板倾斜设置。

11、进一步的，盛装底板的两侧面相交设置，且盛装底板的一侧面水平设置，支撑装置的两端平行设置，支撑装置的一端与盛装底板水平设置的一侧面连接。

12、进一步的，还包括第三阻挡部，第三阻挡部与盛装底板连接，且第三阻挡部与第一阻挡部设于盛装底板的同一侧，第一阻挡部与第三阻挡部相对设置。

13、进一步的，第一阻挡部与第三阻挡部平行设置，且第一阻挡部与第三阻挡部沿着盛装底板的倾斜方向从低处向高处依次设置，第一阻挡部对硅片进行阻挡，使得硅片对齐。

14、进一步的，第一阻挡部包括多个第一挡条，多个第一挡条呈直线设置。

15、进一步的，第二阻挡部与第一阻挡部垂直设置，第二阻挡部包括多个第二挡条，多个第二挡条呈直线设置。

16、进一步的，第一阻挡部与第二阻挡部均与盛装底板可拆卸连接。

17、进一步的，第三阻挡部为阻挡板。

18、进一步的，第一阻挡部与第二阻挡部均设有防静电贴。

19、由于采用上述技术方案，使得用于硅片检测系统的接片机构结构简单，使用方便，便于对硅片进行对齐、收集，便于硅片的后续包装，该接片盒的与硅片接触的盛装底板的表面倾斜设置，且具有第一阻挡部和第二阻挡部，落在盛装底板上的硅片在自身重力作用下向第一阻挡部和第二阻挡部方向移动，并被第一阻挡部与第二阻挡部阻挡，使得硅片的边缘自动对齐，使得接片盒内的多个硅片边缘整齐，便于硅片后续的包装；

20、接片结构具有吹气装置，使得由硅片夹取机械手下落的硅片在吹气装置的作用下保持倾斜状态，落入接片后，硅片与接片盒面接触，防止硅片某侧先着落而引起硅片的撞裂；

21、防静电贴的设置，能够防止装入接片盒内的硅片之间产生静电。

技术特征：

1.一种用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：包括接片盒、吹气装置和移动装置，所述接片盒设于所述移动装置上，所述接片盒的用于盛装硅片的表面与硅片下落的方向倾斜相交设置，以使得硅片进入接片盒后对齐；所述移动装置滑动设于机架上，所述吹气装置设于所述机架上，且所述吹气装置与硅片夹取机械手相对应，对硅片进行吹气，便于硅片倾斜进入所述接片盒内，进行对齐。

2.根据权利要求1所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述接片盒与所述移动装置平行设置，所述移动装置倾斜设置，以使得所述接片盒的用于盛装硅片的表面倾斜设置，进行硅片对齐。

3.根据权利要求1所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述接片盒与所述移动装置倾斜相交设置，所述移动装置水平设置，以使得所述接片盒的用于盛装硅片的表面倾斜设置，进行硅片对齐。

4.根据权利要求3所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述接片盒包括盛装底板、第一阻挡部、第二阻挡部和支撑装置，其中，

5.根据权利要求4所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述盛装底板的两侧面平行设置或相交设置；

6.根据权利要求4所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述盛装底板的两侧面相交设置，且所述盛装底板的一侧面水平设置，所述支撑装置的两端平行设置，所述支撑装置的一端与所述盛装底板水平设置的一侧面连接。

7.根据权利要求4-6任一项所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：还包括第三阻挡部，所述第三阻挡部与所述盛装底板连接，且所述第三阻挡部与所述第一阻挡部设于所述盛装底板的同一侧，所述第一阻挡部与所述第三阻挡部相对设置。

8.根据权利要求7所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述第一阻挡部与所述第三阻挡部平行设置，且所述第一阻挡部与所述第三阻挡部沿着所述盛装底板的倾斜方向从低处向高处依次设置，所述第一阻挡部对硅片进行阻挡，使得硅片对齐。

9.根据权利要求4-6、8任一项所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述第一阻挡部包括多个第一挡条，所述多个第一挡条呈直线设置。

10.根据权利要求9所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述第二阻挡部与所述第一阻挡部垂直设置，所述第二阻挡部包括多个第二挡条，所述多个第二挡条呈直线设置。

11.根据权利要求10所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述第一阻挡部与所述第二阻挡部均与所述盛装底板可拆卸连接。

12.根据权利要求7所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述第三阻挡部为阻挡板。

13.根据权利要求4所述的用于硅片检测系统的接片机构，其特征在于：所述第一阻挡部与所述第二阻挡部均设有防静电贴。

技术总结
本发明提供一种用于硅片检测系统的接片机构，包括接片盒、吹气装置和移动装置，接片盒设于移动装置上，接片盒的用于盛装硅片的表面与硅片下落的方向倾斜相交设置，以使得硅片进入接片盒后对齐；移动装置滑动设于机架上，吹气装置设于机架上，且吹气装置与硅片夹取机械手相对应，对硅片进行吹气，便于硅片倾斜进入接片盒内，进行对齐。本发明的有益效果是具有呈倾斜状态的盛装底板，具有第一阻挡部和第二阻挡部，落在盛装底板上的硅片在自身重力作用下向第一阻挡部和第二阻挡部方向移动，被第一阻挡部与第二阻挡部阻挡，使得硅片的边缘自动对齐，便于硅片后续的包装。

技术研发人员：李建弘,危晨,刘涛,赵越,王媛,滕飞
受保护的技术使用者：天津市环欧新能源技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14