一种硅片不易散开的规整机构及输送带的制作方法

本技术涉及硅片流转设备领域，尤其涉及一种硅片不易散开的规整机构。

背景技术：

1、在硅片生产工艺中，硅片堆叠后流转，需要搬运整沓硅片，片与片之间存在空气，导致片与片之间的吸附性较小，因此在后续搬运过程中可能会有硅片散开、溜片的现象。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种硅片不易散开的规整机构。

2、本实用新型还提供了一种输送带。

3、本实用新型的创新点在于泵体使抽气孔产生负压，通过抽气孔对堆叠的硅片组进行抽气，增加片与片之间的吸附力，流转过程中没有溜片的风险。

4、为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：

5、一种硅片不易散开的规整机构，包括支架，支架上设有一对竖直布置的夹板以及推动两夹板相向平移的一号推动组件，两夹板内侧面上布置有若干抽吸孔，支架上设有泵体，泵体上设有与抽吸孔连通的气管。

6、一号推动组件推动夹板夹紧硅片组，然后泵体工作，气管内形成负压，抽吸孔抽吸硅片之间的空气，增加片与片之间的吸附力，流转过程中没有溜片的风险。

7、作为优选，一号推动组件包括布置在支架上的一号气缸，夹板固定连接在一号气缸伸出的一号活塞杆上。结构简单，维护方便。

8、作为优选，所述夹板包括与一号活塞杆固定的连接板、布设有抽吸孔的接触板，连接板上穿过有若干与一号活塞杆平行布置的一号导向杆，一号导向杆一端设有限位块、另一端与接触板固定连接，一号导向杆上套设有弹簧，弹簧一端抵住接触板、另一端抵住连接板。一号气缸伸出一号活塞杆时推动接触板时具有冲击力，接触板会损坏硅片，接触板接触到硅片组时，通过弹簧的弹性进行缓冲，保护硅片。

9、作为优选，两夹板之间设有一对挡杆，连接板上设有推动档杆移动的二号气缸，档杆平移方向与夹板平移方向垂直，二号气缸伸出的二号活塞杆上固定有支撑板，支撑板上穿过有若干与二号活塞杆平行布置的二号导向杆，二号导向杆一端设有限位块、另一端固定连接在挡杆上，二号导向杆上套设有弹簧，弹簧一端抵住限位块、另一端抵住支撑板。二号气缸的二号活塞杆带动挡杆移动，对硅片组另一方向进行限位，进行二次规整，便于后续打包或者封装处理；弹簧同样起保护作用，使得弹簧。

10、作为优选，接触板为尼龙材质的板，挡杆上包覆有尼龙保护层。接触板和挡杆直接与硅片接触，通过尼龙保护硅片，避免磕碰硅片。

11、作为优选，所述支架上设有用于压住硅片组的下压组件，下压组件包括下压气缸，下压气缸伸出的三号活塞杆上设有下压块。在抽吸时，通过下压组件下压硅片组，能尽快排空硅片间的空气，效果更好。

12、作为优选，下压块为软胶材质的块。避免下压块磕伤硅片。

13、一种输送带，包括输送带本体，输送带本体的输入端处布置有规整机构，所述夹板布置在输送带本体的两侧。

14、硅片组检测完成后，通过输送带输送到打包工序，输送带输送硅片组时，硅片之间吸附力差，容易在输送带上散开，所以在输送带的输入端处加入规整机构，抽吸硅片组的空气，增加硅片之间的吸附力。

15、本实用新型的有益效果是：

16、1、本实用新型中泵体使抽气孔产生负压，通过抽气孔对堆叠的硅片组进行抽气，增加片与片之间的吸附力，流转过程中没有溜片的风险。

17、2、本实用新型中加入弹簧和一号导向杆，通过弹簧的弹性进行缓冲，保护硅片。

18、3、本实用新型中加入下压组件在抽吸时，通过下压组件下压硅片组，能尽快排空硅片间的空气，效果更好。

技术特征：

1.一种硅片不易散开的规整机构，包括支架，支架上设有一对竖直布置的夹板以及推动两夹板相向平移的一号推动组件，其特征在于，两夹板内侧面上布置有若干抽吸孔，支架上设有泵体，泵体上设有与抽吸孔连通的气管。

2.根据权利要求1所述的硅片不易散开的规整机构，其特征在于，一号推动组件包括布置在支架上的一号气缸，夹板固定连接在一号气缸伸出的一号活塞杆上。

3.根据权利要求2所述的硅片不易散开的规整机构，其特征在于，所述夹板包括与一号活塞杆固定的连接板、布设有抽吸孔的接触板，连接板上穿过有若干与一号活塞杆平行布置的一号导向杆，一号导向杆一端设有限位块、另一端与接触板固定连接，一号导向杆上套设有弹簧，弹簧一端抵住接触板、另一端抵住连接板。

4.根据权利要求3所述的硅片不易散开的规整机构，其特征在于，两夹板之间设有一对挡杆，连接板上设有推动档杆移动的二号气缸，档杆平移方向与夹板平移方向垂直，二号气缸伸出的二号活塞杆上固定有支撑板，支撑板上穿过有若干与二号活塞杆平行布置的二号导向杆，二号导向杆一端设有限位块、另一端固定连接在挡杆上，二号导向杆上套设有弹簧，弹簧一端抵住限位块、另一端抵住支撑板。

5.根据权利要求4所述的硅片不易散开的规整机构，其特征在于，接触板为尼龙材质的板，挡杆上包覆有尼龙保护层。

6.根据权利要求1所述的硅片不易散开的规整机构，其特征在于，所述支架上设有用于压住硅片组的下压组件，下压组件包括下压气缸，下压气缸伸出的三号活塞杆上设有下压块。

7.根据权利要求6所述的硅片不易散开的规整机构，其特征在于，下压块为软胶材质的块。

8.一种包括权利要求1~7任一所述的规整机构的输送带，包括输送带本体，其特征在于，输送带本体的输入端处布置有规整机构，所述夹板布置在输送带本体的两侧。

技术总结
本技术公开了一种硅片不易散开的规整机构，包括支架，支架上设有一对竖直布置的夹板以及推动两夹板相向平移的一号推动组件，两夹板内侧面上布置有若干抽吸孔，支架上设有泵体，泵体上设有与抽吸孔连通的气管。本技术中还公开了一种输送带，包括输送带本体，输送带本体的输入端处布置有规整机构，所述夹板布置在输送带本体的两侧。本技术中泵体使抽气孔产生负压，通过抽气孔对堆叠的硅片组进行抽气，增加片与片之间的吸附力，流转过程中没有溜片的风险。

技术研发人员：颜亮,武瑞,白大伟,武治军,曹政民,王大伟,万遥,李瑞鹏,尹贤铮,杨晨
受保护的技术使用者：无锡中环应用材料有限公司
技术研发日：20221129
技术公布日：2024/1/12