技术特征：
1.一种晶圆托盘，包括托盘本体（1）、设置于托盘本体（1）顶端的盖体（2）以及均匀开设于托盘本体（1）顶面的存放槽（3），其特征在于，还包括：设置于托盘本体（1）两侧的滑槽（4），所述滑槽（4）的内部均滑动连接有滑块（5），盖体（2）通过滑块（5）、滑槽（4）与托盘本体（1）滑动连接；设置于存放槽（3）侧面顶部的固定件，用于对存放槽（3）内部的晶圆进行限位固定；设置于存放槽（3）底面的吸附件，用于对存放槽（3）内部的晶圆进行吸附固定；设置于托盘本体（1）底部的驱动件，用于驱动固定件与吸附件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述固定件包括开设于托盘本体（1）内部靠近存放槽（3）下部的过渡槽（6），所述存放槽（3）的侧面靠近上部固定连接有第一气囊（7），所述第一气囊（7）与过渡槽（6）之间通过连接槽（8）贯穿连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述吸附件包括安装槽（9）、弹性柱（10）、工型连接板（11）、隔板（12）、连接孔（22）、排气管（17）以及第二连接管（23），所述托盘本体（1）内部靠近过渡槽（6）与存放槽（3）之间的位置开设有安装槽（9），所述安装槽（9）的右侧面通过弹性柱（10）连接有工型连接板（11），所述安装槽（9）的侧面靠近工型连接板（11）的中部连接有隔板（12），所述工型连接板（11）与隔板（12）滑动连接，所述存放槽（3）的底面开设有均匀分布的连接孔（22），所述连接孔（22）与安装槽（9）贯穿连接，所述连接孔（22）位于工型连接板（11）的左侧，所述过渡槽（6）的右侧面连接有排气管（17），所述排气管（17）包括管道与控制阀，所述安装槽（9）的底面靠近隔板（12）的左侧通过第二连接管（23）与过渡槽（6）贯穿连接。4.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述驱动件包括活动槽（19）、挤压块（13）、第二气囊（14）、第一连接管（15）以及进气管（16），所述托盘本体（1）底部开设有活动槽（19），所述活动槽（19）的内部密封滑动连接有挤压块（13），所述挤压块（13）与滑块（5）固定连接，所述活动槽（19）的右侧面连接有第二气囊（14），所述第二气囊（14）与过渡槽（6）之间通过第一连接管（15）贯穿连接，所述第一连接管（15）包括第一管道与第一单向阀，所述第二气囊（14）的右侧面贯穿连接有进气管（16），所述进气管（16）包括第二管道与第二单向阀。5.根据权利要求4所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述活动槽（19）的左侧面开设有通孔（18）。6.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述滑槽（4）的内部靠近滑块（5）的左侧滑动连接有调整块（21），所述滑槽（4）的左侧面螺纹连接有调整杆（20），所述调整杆（20）与调整块（21）固定连接。7.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述存放槽（3）的内径大小不同。
技术总结
本实用新型涉及晶圆托盘技术领域，具体涉及一种晶圆托盘，包括托盘本体、设置于托盘本体顶端的盖体以及均匀开设于托盘本体顶面的存放槽，还包括设置于托盘本体两侧的滑槽，所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，盖体通过滑块、滑槽与托盘本体滑动连接；设置于存放槽侧面顶部的固定件，用于对存放槽内部的晶圆进行限位固定；设置于存放槽底面的吸附件，用于对存放槽内部的晶圆进行吸附固定，本实用新型在使用的过程中，气体使第一气囊发生膨胀，膨胀后的第一气囊对晶圆进行固定，从而减少在转移晶圆的过程中，出现移位、脱落、污染、划伤、变形发生弯曲以及破碎等问题，保证托盘本体进行晶圆的转移效果。圆的转移效果。圆的转移效果。
技术研发人员：黄晨福
受保护的技术使用者：广州塔塔电子科技股份有限公司
技术研发日：2022.12.22
技术公布日：2023/1/24