一种抛光垫包装盒的制作方法

本技术涉及抛光垫，尤其是涉及一种抛光垫包装盒。

背景技术：

1、化学机械抛光是通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化的技术，是半导体晶片表面加工的关键技术之一。在化学机械抛光过程中，抛光垫具有承载抛光液和提供机械摩擦力的作用，其结构、表面的完整程度等各项性能都对抛光效果有着重要影响。因此，抛光垫的包装、储存、运输等条件也应当严格采用较高标准。

2、现有的抛光垫包装盒通常是简单的盒体包装加上内部填充，容易存在以下缺陷：1、内部填充物比较松散，对内部抛光垫的支撑差，容易晃动，从而运输过程中可能会出现抛光垫与支撑块互相碰撞的情况，容易造成抛光垫边缘的损伤；2、盒体的本身支撑强度较差，在遭到冲撞时容易被挤压破坏；3、装盒完毕后需要在抛光垫上方加装垫片以填满抛光垫与盒盖之间的空隙。由于待包装抛光垫的数量不确定，每次装盒时都需要人工调整加装垫片的厚度，操作繁琐且浪费材料。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种抛光垫包装盒。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：

3、一种抛光垫包装盒，包括盒身和盒盖，其特征在于，所述盒身内固定有多个支撑块，所述支撑块的内侧设有弧状接触面，用于贴合抛光垫的外圈，所述支撑块的外侧设有尖角结构，该尖角结构用于嵌合所述盒身的内角，从而固定所述支撑块的位置。

4、在另一优选的实施方式中，所述支撑块包括纸板内芯和珍珠棉缓冲层，所述珍珠棉缓冲层包覆于所述纸板内芯外层。

5、在另一优选的实施方式中，所述的支撑块的顶面和底面设置有缓冲凸起。

6、在另一优选的实施方式中，所述缓冲凸起为在顶面和底面上分布的波浪形状凸起或半球状凸起。

7、在另一优选的实施方式中，所述缓冲凸起为半球状凸起时，两个相邻半球球心间距介于半球直径的1-3倍之间。

8、在另一优选的实施方式中，所述支撑块的弧状接触面上设置有多个向内凹陷的凹槽，每个凹槽用于固定一片抛光垫。

9、在另一优选的实施方式中，所述凹槽为圆弧形。

10、在另一优选的实施方式中，所述凹槽为折角形。

11、在另一优选的实施方式中，所述盒盖设有缓冲垫片，所述缓冲垫片通过若干弹簧固定于盒盖内侧，所述缓冲垫片的形状和大小与抛光垫一致。

12、在另一优选的实施方式中，所述弹簧呈同心圆状均匀分布。

13、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

14、1、本实用新型使用了具有弧状接触面和尖角结构的支撑块，不但能够有效对抛光垫进行支撑，而且尖角结构提高了盒身的支撑强度，在盒身遭受冲击时不易变形和挤压内部抛光垫，更好地起到缓冲作用。

15、2、支撑块采用了纸板内芯和珍珠棉缓冲层的结构，使得支撑块在传递压力时更为滞后和分散，能够更好地起到缓冲作用，并且纸板作为内芯也能在提高强度的同时节约材料费用、节省开支。

16、3、支撑块上设置有缓冲凸起，缓冲凸起的凸起部分和平整部分受力并不同步和均一，向下传递压力的速度和大小也不同，可以达到更佳的缓冲效果。

17、4、在支撑块的弧状接触面上设置有多个向内凹陷的凹槽，能够对其中的每片抛光垫更好地进行竖直方向限位，进一步避免晃动引起的抛光垫与支撑块相互碰撞，避免抛光垫损伤。

18、5、本实用新型在包装盒盒盖上固定有弹簧状的缓冲垫片，可以根据装填抛光垫的厚度自行伸缩、填充抛光垫与盒盖之间的空隙，避免了人工加装垫片的繁琐操作、提高包装效率。

技术特征：

1.一种抛光垫包装盒，包括盒身(1)和盒盖(2)，其特征在于，所述盒身(1)内固定有多个支撑块(3)，所述支撑块(3)的内侧设有弧状接触面(33)，用于贴合抛光垫的外圈，所述支撑块(3)的外侧设有尖角结构(34)，该尖角结构(34)用于嵌合所述盒身(1)的内角，从而固定所述支撑块(3)的位置。

2.根据权利要求1所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述支撑块(3)包括纸板内芯(3a)和珍珠棉缓冲层(3b)，所述珍珠棉缓冲层(3b)包覆于所述纸板内芯(3a)外层。

3.根据权利要求1所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述的支撑块(3)的顶面和底面设置有缓冲凸起(31)。

4.根据权利要求3所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述缓冲凸起(31)为在顶面和底面上分布的波浪形状凸起或半球状凸起。

5.根据权利要求3所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述缓冲凸起(31)为半球状凸起时，两个相邻半球球心间距介于半球直径的1-3倍之间。

6.根据权利要求1所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述支撑块(3)的弧状接触面(33)上设置有多个向内凹陷的凹槽(32)，每个凹槽(32)用于固定一片抛光垫。

7.根据权利要求6所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述凹槽(32)为圆弧形。

8.根据权利要求6所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述凹槽(32)为折角形。

9.根据权利要求1所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述盒盖(2)设有缓冲垫片(5)，所述缓冲垫片(5)通过若干弹簧(4)固定于盒盖(2)内侧，所述缓冲垫片(5)的形状和大小与抛光垫一致。

10.根据权利要求9所述的一种抛光垫包装盒，其特征在于，所述弹簧(4)呈同心圆状均匀分布。

技术总结
本技术涉及一种抛光垫包装盒，包括盒身和盒盖，所述盒身内固定有多个支撑块，所述支撑块的内侧设有弧状接触面，用于贴合抛光垫的外圈，所述支撑块的外侧设有尖角结构，该尖角结构用于嵌合所述盒身的内角，从而固定所述支撑块的位置。与现有技术相比，本技术不但能够有效对抛光垫进行支撑，而且尖角结构提高了盒身的支撑强度，在盒身遭受冲击时不易变形和挤压内部抛光垫，更好地起到缓冲作用。

技术研发人员：杨波,张莉娟
受保护的技术使用者：上海芯谦集成电路有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12