一种半导体超纯化学品储罐的制作方法

本发明涉及储罐，具体为一种半导体超纯化学品储罐。

背景技术：

1、在半导体工业领域中，对超纯化学品的需求越来越高。这些化学品在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色，包括清洗、蚀刻、沉积和制造其他关键工艺步骤。超纯度的要求对储存和输送这些化学品的设备提出了严格的要求，以确保其纯净度和安全性。

2、目前储罐一般都具备高度的纯净度、优异的密封性和耐腐蚀性，以确保储存和运输过程中化学品的质量和安全性。但是现有的半导体化学品多为液体或气体，在日常储存时会因为温度而导致体积变化，在储罐内膨胀的液体会对储罐产生由内向外的压力，这些压力如果不及时释放，在开罐时会造成化学品喷涌出，不仅会污染环境，还可能对使用者造成意外伤害。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体超纯化学品储罐，以达到有效防止化学品储存过程中罐体膨胀变形的目的，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体超纯化学品储罐，包括罐体，所述罐体为三层结构，包括有基底层、补强层和防腐层，且罐体的顶部密封连接有顶盖，所述顶盖上设置有带有密封圈的安装座，且安装座上设置有吸收管，所述吸收管上排列设置有泄压管，且泄压管上设置有受推打开的通道结构，所述吸收管上设置有导轨，且导轨上滑动连接有升降座，所述升降座的升降通过设置在安装座上的丝杆进行控制，且升降座上固定安装有中转座，且中转座上设置有对接头，所述对接头上贯穿式滑动安装有活动杆，且活动杆上固定连接有推块，且推块上固定连接有第二弹簧，所述活动杆的端部设置有圆角，且泄压管上活动设置有对接圈，所述中转座上设置有进管，且进管上设置有具有开启阈值调节功能的压力阀结构，所述安装座上设置有插块，且插块连接在顶盖的快速锁定结构中，且快速锁定结构具有防脱功能。

3、优选的，所述罐体为圆形罐，且补强层设置在基底层的外壁上，且防腐层设置在基底层的内壁上，所述顶盖上设置有加料口。

4、优选的，所述顶盖上设置有安装槽，且安装座设置在安装槽中，所述密封圈与顶盖的顶面紧密连接，且吸收管竖直连接在安装座的底部，所述泄压管沿着吸收管的方向等距排列设置。

5、优选的，所述泄压管的端口封闭设置，且其上设置有通孔以及限位件，所述限位件中滑动安装有挡板，且挡板上固定连接有第一弹簧，所述挡板上设置有连接孔以及中心块。

6、优选的，所述通孔和连接孔均设置有两个，且两者的初始位置错位设置，所述第一弹簧连接在挡板的上下两侧，且中心块设置在挡板的侧壁中部。

7、优选的，所述丝杆竖直连接在安装座的底部，且丝杆通过步进电机控制，所述导轨竖直设置，且升降座采用螺母结构，且升降座上设置有限位脚，所述限位脚与导轨连接。

8、优选的，所述中转座设置在升降座的侧面，所述推块垂直连接在活动杆上，所述对接圈中设置有内螺纹，且泄压管和对接头上均设置有外螺纹。

9、优选的，所述进管以及对接头均与中转座连通，且压力阀结构包括有设置在进管端口的挡圈，所述进管中滑动安装有封闭板，且封闭板上固定连接有压力板，所述进管上转动安装有调节环，且调节环上环形设置有可调弹簧，且压力板上设置有缺口。

10、优选的，所述封闭板的外径小于进管的内径，且封闭板的外径大于挡圈的内径，所述封闭板限位滑动安装在进管中，且可调弹簧设置有四个，且四个可调弹簧的弹性系数不同，所述可调弹簧的端部与压力板侧面接触连接。

11、优选的，所述插块上设置有定位孔，且快速锁定结构包括有设置在顶盖上的锁定座，且插块插接在锁定座中，所述锁定座上设置有弹簧插杆，且弹簧插杆上固定连接有背板，所述背板上设置有斜面杆，且斜面杆的斜面与安装座的顶面接触连接。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1. 本发明的半导体超纯化学品储罐能够有效防止化学品储存过程中的膨胀变形问题，确保化学品的纯度和质量，提高储罐的可靠性和安全性，首先，储罐罐体通过多层结构设计，包括基底层、补强层和防腐层，有效防止储罐在化学品内部压力作用下膨胀变形，保持储罐的稳定性和完整性，其次，在罐体内设置有自动吸收泄压式的防膨胀结构，在吸收管的不同高度设置了泄压管，当储罐内部压力超出限度时，可以自动打开压力阀结构，使得化学品从中转座进入吸收管，降低储罐内的压力，避免储罐膨胀变形。

14、2. 本发明在中转座上设置了带有压力阀结构的进管，当储罐内部压力超出限度时，压力阀结构打开，将化学品引导到进管和吸收管中，减少储罐内的化学品量，缓解压力，并且可以通过调节中转座的高度和压力阀结构的内在阻力两种方式，来改变压力阀结构的开启阈值，实际使用更加灵活，可以根据化学品的种类来进行选择调节。

15、3. 本发明的防膨胀结构易于调节和维护，安装座具有方便拆卸性，使得防膨胀结构可以快速安装和拆卸，方便进行调节和清洗工作，同时保证安装座与储罐的密封性。

技术特征：

1.一种半导体超纯化学品储罐，包括罐体（1），其特征在于：所述罐体（1）为三层结构，包括有基底层（101）、补强层（102）和防腐层（103），且罐体（1）的顶部密封连接有顶盖（2），所述顶盖（2）上设置有带有密封圈（4）的安装座（3），且安装座（3）上设置有吸收管（5），所述吸收管（5）上排列设置有泄压管（6），且泄压管（6）上设置有受推打开的通道结构，所述吸收管（5）上设置有导轨（13），且导轨（13）上滑动连接有升降座（14），所述升降座（14）的升降通过设置在安装座（3）上的丝杆（16）进行控制，且升降座（14）上固定安装有中转座（17），且中转座（17）上设置有对接头，所述对接头上贯穿式滑动安装有活动杆（20），且活动杆（20）上固定连接有推块（18），且推块（18）上固定连接有第二弹簧（19），所述活动杆（20）的端部设置有圆角，且泄压管（6）上活动设置有对接圈（21），所述中转座（17）上设置有进管（22），且进管（22）上设置有具有开启阈值调节功能的压力阀结构，所述安装座（3）上设置有插块（29），且插块（29）连接在顶盖（2）的快速锁定结构中，且快速锁定结构具有防脱功能。

2.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述罐体（1）为圆形罐，且补强层（102）设置在基底层（101）的外壁上，且防腐层（103）设置在基底层（101）的内壁上，所述顶盖（2）上设置有加料口。

3.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述顶盖（2）上设置有安装槽，且安装座（3）设置在安装槽中，所述密封圈（4）与顶盖（2）的顶面紧密连接，且吸收管（5）竖直连接在安装座（3）的底部，所述泄压管（6）沿着吸收管（5）的方向等距排列设置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述泄压管（6）的端口封闭设置，且其上设置有通孔（7）以及限位件（8），所述限位件（8）中滑动安装有挡板（9），且挡板（9）上固定连接有第一弹簧（10），所述挡板（9）上设置有连接孔（11）以及中心块（12）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述通孔（7）和连接孔（11）均设置有两个，且两者的初始位置错位设置，所述第一弹簧（10）连接在挡板（9）的上下两侧，且中心块（12）设置在挡板（9）的侧壁中部。

6.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述丝杆（16）竖直连接在安装座（3）的底部，且丝杆（16）通过步进电机控制，所述导轨（13）竖直设置，且升降座（14）采用螺母结构，且升降座（14）上设置有限位脚（15），所述限位脚（15）与导轨（13）连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述中转座（17）设置在升降座（14）的侧面，所述推块（18）垂直连接在活动杆（20）上，所述对接圈（21）中设置有内螺纹，且泄压管（6）和对接头上均设置有外螺纹。

8.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述进管（22）以及对接头均与中转座（17）连通，且压力阀结构包括有设置在进管（22）端口的挡圈（23），所述进管（22）中滑动安装有封闭板（24），且封闭板（24）上固定连接有压力板（25），所述进管（22）上转动安装有调节环（26），且调节环（26）上环形设置有可调弹簧（27），且压力板（25）上设置有缺口（28）。

9.根据权利要求8所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述封闭板（24）的外径小于进管（22）的内径，且封闭板（24）的外径大于挡圈（23）的内径，所述封闭板（24）限位滑动安装在进管（22）中，且可调弹簧（27）设置有四个，且四个可调弹簧（27）的弹性系数不同，所述可调弹簧（27）的端部与压力板（25）侧面接触连接。

10.根据权利要求1所述的一种半导体超纯化学品储罐，其特征在于：所述插块（29）上设置有定位孔（30），且快速锁定结构包括有设置在顶盖（2）上的锁定座（31），且插块（29）插接在锁定座（31）中，所述锁定座（31）上设置有弹簧插杆（32），且弹簧插杆（32）上固定连接有背板（33），所述背板（33）上设置有斜面杆（34），且斜面杆（34）的斜面与安装座（3）的顶面接触连接。

技术总结
本发明涉及储罐领域，具体为一种半导体超纯化学品储罐，包括罐体，罐体为三层结构，且罐体的顶部密封连接有顶盖，顶盖上设置有带有密封圈的安装座，且安装座上设置有吸收管，吸收管上排列设置有泄压管，且泄压管上设置有受推打开的通道结构，吸收管上设置有导轨，且导轨上滑动连接有升降座，且升降座上固定安装有中转座，且中转座上设置有对接头，对接头上贯穿式滑动安装有活动杆，且活动杆上固定连接有推块，且泄压管上活动设置有对接圈，中转座上设置有进管，且进管上设置有具有开启阈值调节功能的压力阀结构，安装座上设置有插块，且插块连接在顶盖的快速锁定结构中；本发明可以达到有效防止化学品储存过程中罐体膨胀变形的目的。

技术研发人员：杨开焱
受保护的技术使用者：江苏泰氟龙防腐设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13