一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法及系统与流程

本发明涉及实时监控的，尤其涉及一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法及系统。

背景技术：

1、半导体工厂是指专门生产半导体芯片的机构。半导体芯片是现代电子设备中不可或缺的组成部分，用于储存和处理信息。这些芯片通常由硅等半导体材料制成，通过一系列复杂的制造工艺来创建微小的电子元件，如晶体管、电容和连线。半导体工厂需要精密的设备、高度干净的环境以及复杂的技术流程。制造一颗半导体芯片需要经过数百个步骤，并且需要精确的控制，以保证产品的质量和性能。由于半导体技术的不断进步，工厂需要不断更新设备和工艺，以适应新的制造要求和市场需求。半导体工厂在电子产业中具有重要地位，对于现代科技和社会的发展至关重要。

2、随着技术的发展，半导体工厂自动化程度越来越高，此时需要对自动化的半导体工厂进行实时的监控。普通视频监控逐渐无法满足客户需求。由于半导体加工工艺的特殊性，导致半导体设备的加工设备与搬运设备大多为封闭式或者半封闭式。传统的监控方式无法直观的给出设备封闭环境内的具体信息，因此实时监控软件的需求逐渐提升。

技术实现思路

1、针对上述问题，本发明的目的在于提供一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法及系统，通过获取半导体载具仓储设备内部的实时数据，通过实时获取的数据在前端界面上进行2d或者3d的建模，通过动态模型来实时展示半导体载具仓储设备内部的实时监控信息。

2、本发明的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法，包括以下步骤：

4、s1：获取可编程控制器plc与所述半导体载具仓储内部的仓储设备的实时交互数据；

5、s2：半导体载具仓储控制软件与所述可编程控制器plc实时交互，将所述实时交互数据更新至所述仓储设备对应的数据库表格中；

6、s3：前端用户节点实时对存储于所述数据库表格中的所述实时交互数据进行扫描，根据所述实时交互数据对所述半导体载具仓储的内部情况进行展示。

7、进一步地，在步骤s1中，获取所述可编程控制器plc与所述半导体载具仓储内部的所述仓储设备的所述实时交互数据，具体为：

8、所述实时交互数据包括所述半导体载具仓储内部的堆垛机的实时位置、所述半导体载具仓储各部分的所述仓储设备的设备状态、所述半导体载具仓储中正在执行任务情况、所述半导体载具仓储内半导体货物的存储情况在内的数据；

9、其中，所述堆垛机的所述实时位置和所述仓储设备的所述设备状态通过所述可编程控制器plc的实时读取来获取，所述正在执行任务情况通过读取所述可编程控制器plc下发的任务指令以及实时读取任务执行过程中中间运行状态来获取，所述半导体货物的所述存储情况通过向所述仓储设备进行主动校验来获取。

10、进一步地，在获取所述正在执行任务情况中实时读取任务执行过程中中间运行状态，具体为：

11、在所述仓储设备中的马达内部设置伺服编码器，在任务执行过程中所述可编程控制器plc读取所述伺服编码器中的数值；

12、所述可编程控制器plc对读取的所述伺服编码器中的数值进行运算判断，当运算判断成功后计算出所述仓储设备的列与行，并将列与行的值传递给主控制器中预设地址；

13、所述主控制器在接收列与行的值之后，将列与行的值传递给上位机。

14、进一步地，在步骤s2中，所述半导体载具仓储控制软件与所述可编程控制器plc实时交互，将所述实时交互数据更新至所述仓储设备对应的所述数据库表格中，具体为：

15、所述半导体载具仓储控制软件按照预设频率增加轮询，在轮询中实时将所述实时交互数据更新到所述数据库表格中。

16、进一步地，所述数据库表格包括半导体载具仓储设备表、出入库口表、堆垛机表、微小组件表、整体载具仓储总汇表和货物信息维护表在内的表格；

17、在更新所述数据库表格时，低级别的所述数据库表格直接读取所述可编程控制器plc获取的所述实时交互数据；

18、高级别的所述数据库表格，从低级别的所述数据库表格中进行数据的与或判断的数据汇总。

19、进一步地，所述数据库表格还包括执行指令记录表；

20、通过所述执行指令记录表记录整个所述半导体载具仓储的执行中的指令；

21、所述半导体载具仓储通过所述可编程控制器plc下发存储于所述执行指令记录表中的指令，并对比当前所述指令涉及的各个所述仓储设备的包括光电在内的信号来追溯实际货物的当前位置。

22、进一步地，在步骤s3中，根据所述实时交互数据对所述半导体载具仓储的内部情况进行展示，具体为：

23、对所述实时交互数据进行包括2d和3d在内的建模，在所述前端用户节点上采用2d或者3d模型的形式进行展示。

24、一种用于执行如上述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法的应用于半导体载具仓储的实时监控系统，包括：

25、实时交互数据获取模块，用于获取可编程控制器plc与所述半导体载具仓储内部的仓储设备的实时交互数据；

26、数据库表格更新模块，用于，提供给半导体载具仓储控制软件与所述可编程控制器plc实时交互，将所述实时交互数据更新至所述仓储设备对应的数据库表格中；

27、内部情况实时展示模块，用于提供给前端用户节点实时对存储于所述数据库表格中的所述实时交互数据进行扫描，根据所述实时交互数据对所述半导体载具仓储的内部情况进行展示。

28、一种计算机设备，包括存储器和一个或多个处理器，所述存储器中存储有计算机代码，所述计算机代码被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如上述的方法。

29、一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机代码，当所述计算机代码被执行时，如上述的方法被执行。

30、与现有技术相比，本发明包括以下任意一种有益效果：

31、(1)通过提供一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法，包括以下步骤：s1：获取可编程控制器plc与所述半导体载具仓储内部的仓储设备的实时交互数据；s2：半导体载具仓储控制软件与所述可编程控制器plc实时交互，将所述实时交互数据更新至所述仓储设备对应的数据库表格中；s3：前端用户节点实时对存储于所述数据库表格中的所述实时交互数据进行扫描，根据所述实时交互数据对所述半导体载具仓储的内部情况进行展示。上述技术方案，区别于传统的通过拍摄视频直接监控的形式，通过获取半导体载具仓储设备内部的实时数据，并将实时获取的数据在前端界面上进行2d或者3d的建模，通过动态模型来实时展示半导体载具仓储设备内部的实时监控信息。

32、(2)通过对所述实时交互数据进行包括2d和3d在内的建模，在所述前端用户节点上采用2d或者3d模型的形式进行展示，使得前端用户能够更加直观的看到半导体载具仓储内部的情况。

技术特征：

1.一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，在步骤s1中，获取所述可编程控制器plc与所述半导体载具仓储内部的所述仓储设备的所述实时交互数据，具体为：

3.根据权利要求2所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，在获取所述正在执行任务情况中实时读取任务执行过程中中间运行状态，具体为：

4.根据权利要求1所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，在步骤s2中，所述半导体载具仓储控制软件与所述可编程控制器plc实时交互，将所述实时交互数据更新至所述仓储设备对应的所述数据库表格中，具体为：

5.根据权利要求1所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，所述数据库表格包括半导体载具仓储设备表、出入库口表、堆垛机表、微小组件表、整体载具仓储总汇表和货物信息维护表在内的表格；

6.根据权利要求1所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，所述数据库表格还包括执行指令记录表；

7.根据权利要求1所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法，其特征在于，在步骤s3中，根据所述实时交互数据对所述半导体载具仓储的内部情况进行展示，具体为：

8.一种用于执行如权利要求1-7任意一项所述的应用于半导体载具仓储的实时监控方法的应用于半导体载具仓储的实时监控系统，其特征在于，包括：

9.一种计算机设备，包括存储器和一个或多个处理器，所述存储器中存储有计算机代码，所述计算机代码被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如权利要求1至7中任一项所述的方法。

10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机代码，当所述计算机代码被执行时，如权利要求1至7中任一项所述的方法被执行。

技术总结
本发明涉及实时监控技术领域，提供了一种应用于半导体载具仓储的实时监控方法，包括以下步骤：S1：获取可编程控制器PLC与所述半导体载具仓储内部的仓储设备的实时交互数据；S2：半导体载具仓储控制软件与所述可编程控制器PLC实时交互，将所述实时交互数据更新至所述仓储设备对应的数据库表格中；S3：前端用户节点实时对存储于所述数据库表格中的所述实时交互数据进行扫描，根据所述实时交互数据对所述半导体载具仓储的内部情况进行展示。通过获取半导体载具仓储设备内部的实时数据，通过实时获取的数据在前端界面上进行2D或者3D的建模，通过动态模型来实时展示半导体载具仓储设备内部的实时监控信息。

技术研发人员：偰在春,赵萌,朴宇錫
受保护的技术使用者：尊芯（上海）半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/31