金属前驱体化合物的分装装置及分装方法与流程

本发明属于化合物分装，具体涉及一种金属前驱体化合物的分装装置及分装方法。

背景技术：

1、金属前驱体化合物属于高技术、高附加值产品，主要用于半导体存储、逻辑芯片中的电容电极、栅极过渡层、隔离材料等电子工业生产，是不可缺少的重要材料。

2、通常情况下，金属前驱体化合物通过精馏等技术提纯至5-6n(n指纯度百分比中9的个数，如6n表示99.9999％)，收集高纯产品后分装至特定的容器用于下游应用。目前分装方式一般是在惰性气氛(手套箱)中实施分装，但惰性气氛(手套箱)存在空间局限性，只能分装可放入惰性气氛的容器，而大规格容器受限于空间无法在惰性气氛(手套箱)中分装。而在非惰性气氛下分装容易使金属前驱体化合物氧化并形成细小颗粒物，而这些颗粒物很容易在制造过程中成为缺陷的来源，会导致下游产品质量不过关，严重情况下会扩散污染整条产品线，造成产品全部报废及不可估量的损失。

3、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种金属前驱体化合物的分装装置，其能够无需在手套箱(惰性气氛)中对金属前驱体化合物进行分装，且不会污染分装后的金属前驱体化合物。

2、为了实现上述目的，本发明一具体实施例提供的技术方案如下：一种金属前驱体化合物的分装装置，包括：

3、原料罐，具有液相口，所述液相口处设置有液相阀门；

4、分装罐，具有进料口，所述进料口处设置有分装阀门；

5、真空泵；

6、管道组件，包括连通于所述原料罐的液相口与分装罐的进料口之间的主管道、与所述真空泵相连接的真空管道、惰性气体管道、连接管道以及与所述主管道相连接的清洗管道，所述连接管道的一端与所述主管道相连接，另一端与真空管道以及惰性气体管道相连接；

7、阀门组件，包括设置于所述主管道上的第一阀门、设置于连接管道上的第二阀门、设置于所述真空管道上的第三阀门、设置于所述惰性气体管道上的第四阀门、以及设置于所述清洗管道上的第五阀门；

8、第一过滤器，设置于所述主管道上，且位于所述液相阀门和第一阀门之间。

9、在本发明的一个或多个实施例中，所述分装装置还包括压力表，所述管道组件还包括连接于所述主管道和压力表之间的压力检测管道，所述阀门组件还包括设置于所述压力检测管道上的第六阀门。

10、在本发明的一个或多个实施例中，所述分装装置还包括与所述惰性气体管道相连通的惰性气体源。

11、在本发明的一个或多个实施例中，所述所述惰性气体管道上设有第二过滤器，所述第二过滤器位于所述惰性气体源和第四阀门之间。

12、在本发明的一个或多个实施例中，所述原料罐具有气相口，所述气相口处设置有气相阀门；所述管道组件还包括辅助管道，所述辅助管道的一端与所述惰性气体管道相连通，另一端与所述气相口相连通，所述辅助管道与惰性气体管道的连通处位于所述第二过滤器和第四阀门之间。

13、在本发明的一个或多个实施例中，所述原料罐内设有出液管，所述出液管的一端与所述液相口相连通，另一端设于所述原料罐内的底部。

14、在本发明的一个或多个实施例中，所述真空泵与第三阀门之间的管道上还设有冷阱。

15、在本发明的一个或多个实施例中，所述分装装置还包括洗瓶，所述洗瓶与所述清洗管道相连接。

16、在本发明的一个或多个实施例中，所述分装装置还包括第一称重机构，所述第一称重机构用于承载以及称重所述原料罐。

17、在本发明的一个或多个实施例中，所述分装装置还包括第二称重机构，所述第二称重机构用于承载以及称重所述分装罐。

18、本发明一具体实施例还提供的技术方案如下：

19、一种金属前驱体化合物的分装方法，应用于如上述的金属前驱体化合物的分装装置，所述分装方法包括以下步骤：

20、仅开启阀门组件中除第四阀门以外的所有阀门，启动真空泵；

21、关闭第三阀门，开启第四阀门；

22、关闭第二阀门、第四阀门，开启第一阀门、第五阀门以及液相阀门，对主管道以及清洗管道进行润洗；

23、关闭第五阀门，开启分装阀门，向分装罐内分装金属前驱体化合物；

24、关闭第一阀门以及液相阀门，开启第二阀门、第四阀门，将分装罐内的压力恢复至预设压力；

25、关闭第四阀门，开启阀门组件中除第四阀门以外的所有阀门，对管道组件中的管道以及分装罐进行抽真空处理；

26、关闭第三阀门，开启第四阀门，对管道组件中的管道内以及分装罐内的气体进行置换；

27、关闭分装阀门，拆除分装罐。

28、与现有技术相比，本发明的金属前驱体化合物的分装装置，通过对整个分装装置的管道、阀门以及其他部件的设计，可以使高活性的金属前驱体化合物在非惰性气氛(手套箱)中实施分装，且不会影响分装后的金属前驱体化合物的纯度。并且，通过在主管道及惰性气体管道上设置过滤器，可以对管道内的流体以及惰性气体中的颗粒等杂质进行有效过滤，避免颗粒等杂质污染分装装置。

技术特征：

1.一种金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装装置包括：

2.根据权利要求1所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装装置还包括压力表，所述管道组件还包括连接于所述主管道和压力表之间的压力检测管道，所述阀门组件还包括设置于所述压力检测管道上的第六阀门。

3.根据权利要求1所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装装置还包括与所述惰性气体管道相连通的惰性气体源。

4.根据权利要求3所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述所述惰性气体管道上设有第二过滤器，所述第二过滤器位于所述惰性气体源和第四阀门之间。

5.根据权利要求4所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述原料罐具有气相口，所述气相口处设置有气相阀门；所述管道组件还包括辅助管道，所述辅助管道的一端与所述惰性气体管道相连通，另一端与所述气相口相连通，所述辅助管道与惰性气体管道的连通处位于所述第二过滤器和第四阀门之间。

6.根据权利要求5所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述原料罐内设有出液管，所述出液管的一端与所述液相口相连通，另一端设于所述原料罐内的底部。

7.根据权利要求1所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述真空泵与第三阀门之间的管道上还设有冷阱。

8.根据权利要求1所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装装置还包括洗瓶，所述洗瓶与所述清洗管道相连接。

9.根据权利要求1所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装装置还包括第一称重机构，所述第一称重机构用于承载以及称重所述原料罐；和/或，

10.一种金属前驱体化合物的分装方法，应用于如权利要求1～9任一项所述的金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装方法包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种金属前驱体化合物的分装装置及分装方法，所述金属前驱体化合物的分装装置，包括原料罐；分装罐；真空泵；管道组件包括连通于所述原料罐的液相口与分装罐的进料口之间的主管道、与真空泵相连接的真空管道、惰性气体管道、连接管道以及与主管道相连接的清洗管道，连接管道的一端与所述主管道相连接，另一端与真空管道以及惰性气体管道相连接；阀门组件，包括设置于所述主管道上的第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门以及第五阀门；第一过滤器设置于所述主管道上。本发明的金属前驱体化合物的分装装置能够无需在手套箱(惰性气氛)中对金属前驱体化合物进行分装，且不会污染分装后的金属前驱体化合物。

技术研发人员：白伟,乔玮,胡昌明,陆佳琦,杨敏
受保护的技术使用者：江苏南大光电材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4