碎片持取器的制作方法

本技术涉及持取器，尤其涉及碎片持取器。

背景技术：

1、持取器是指对物品进行持取的工具，一般由气管、底仓、抽板组成，气管抽气使底仓处于真空，从而使抽板将物品吸在抽板表面进行持取，在外延生产过程中晶片需要经历升温-高温-降温的过程，晶片内部容易产生应力使晶片破裂，而由于在封闭腔体内，而用到晶片持取器对晶片进行持取。

2、发明人在日常工作中发现，晶片持取器只能持取完整的晶片，无法持取破碎的晶片，持取器一般是以中间开大孔的方式进行吸片，只能持取完整的晶片，当晶片破裂后持取器吸力就会破真空，无法吸起破碎的晶片，从而会出现难以将腔体内破碎晶片持取收集的问题出现。

3、因此，针对上述问题提出碎片持取器。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在持取器一般是以中间开大孔的方式进行吸片，只能持取完整的晶片，晶片破裂后持取器吸力就会破真空无法吸起破碎的晶片的缺点，而提出的碎片持取器。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：碎片持取器，包括底仓，所述底仓的上表面固定连接有盖板，所述盖板的上表面均匀开设有若干个抽孔，所述底仓的圆弧面开设有侧孔，所述底仓的圆弧面固定连接有转动架，所述转动架的表面转动连接有挡板，所述底仓的圆弧面固定连接有螺杆，所述螺杆的圆弧面螺纹连接有挤压块，所述挤压块的圆弧面与挡板滑动连接。

3、上述部件所达到的效果为：达到了可对破碎晶片进行持取收集的效果，从而尽量避免持取器一般是以中间开大孔的方式进行吸片，只能持取完整的晶片，晶片破裂后持取器吸力就会破真空无法吸起破碎的晶片的问题出现。

4、优选的，所述挤压块的一侧固定连接有转杆，所述转杆的截面呈“u”形。

5、上述部件所达到的效果为：转动转杆带动挤压块旋转，转杆起到方便转动挤压块的作用。

6、优选的，所述挡板的一侧固定连接有密封垫，所述密封垫的一侧底仓相抵接，所述密封垫位于侧孔一侧。

7、上述部件所达到的效果为：挡板转动带动密封垫与底仓贴合，密封垫达到提高挡板与底仓之间密封性的效果。

8、优选的，所述挡板的一侧固定连接有连接板，所述连接板的一侧固定连接有连接绳，所述连接绳的另一端与底仓固定连接，所述连接绳为弹性绳。

9、上述部件所达到的效果为：连接绳收缩带动挡板移动，连接绳起到打开挡板后避免挡板靠近侧孔的作用。

10、优选的，所述底仓的圆弧面固定连接有两个卡框，所述卡框的内壁滑动连接有插杆，所述插杆的一侧固定连接有支杆，所述支杆的一侧固定连接有支板。

11、上述部件所达到的效果为：支杆借助插杆通过支板进行支撑，支杆达到对底仓进行支撑从而降低人员劳动强度的效果。

12、优选的，所述支杆的一侧固定连接有磁铁，所述卡框为铁框，所述卡框的一侧与磁铁相吸和。

13、上述部件所达到的效果为：支杆带动磁铁与卡框贴合，磁铁起到辅助固定支杆的作用。

14、优选的，所述插杆的一侧固定连接有尖块，所述尖块的表面与卡框内壁滑动连接。

15、上述部件所达到的效果为：插杆借助尖块插入卡框内，尖块达到导向插块位置的效果。

16、综上所述：

17、本实用新型中，当需要对腔体内破碎晶片进行持取时，首先将挡板通过转动架带动密封垫与底仓贴合，使侧孔被封闭，随后转动挤压块通过螺杆挤压挡板使挡板被限位，然后移动底仓至腔体内，盖板通过底仓内真空借助若干个抽孔将碎片吸入至底仓内。

18、达到了可对破碎晶片进行持取收集的效果，通过盖板正面若干个分布满面直径相同的小孔，使每个小孔都能吸附晶片碎片，晶片在破裂后每一片碎片均可以被任何一个小孔吸住，达到吸出碎片的目的，使装置整体不仅可对晶片进行持取还可对碎片进行持取，从而大大提高装置的适配性，且借助支杆还可辅助支撑底仓，人员处理碎片时可不用一直扶持。

技术特征：

1.碎片持取器，包括底仓(1)，其特征在于：所述底仓(1)的上表面固定连接有盖板(2)，所述盖板(2)的上表面均匀开设有若干个抽孔(3)，所述底仓(1)的圆弧面开设有侧孔(4)，所述底仓(1)的圆弧面固定连接有转动架(18)，所述转动架(18)的表面转动连接有挡板(5)，所述底仓(1)的圆弧面固定连接有螺杆(6)，所述螺杆(6)的圆弧面螺纹连接有挤压块(7)，所述挤压块(7)的圆弧面与挡板(5)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的碎片持取器，其特征在于：所述挤压块(7)的一侧固定连接有转杆(8)，所述转杆(8)的截面呈“u”形。

3.根据权利要求1所述的碎片持取器，其特征在于：所述挡板(5)的一侧固定连接有密封垫(9)，所述密封垫(9)的一侧底仓(1)相抵接，所述密封垫(9)位于侧孔(4)一侧。

4.根据权利要求1所述的碎片持取器，其特征在于：所述挡板(5)的一侧固定连接有连接板(10)，所述连接板(10)的一侧固定连接有连接绳(11)，所述连接绳(11)的另一端与底仓(1)固定连接，所述连接绳(11)为弹性绳。

5.根据权利要求1所述的碎片持取器，其特征在于：所述底仓(1)的圆弧面固定连接有两个卡框(12)，所述卡框(12)的内壁滑动连接有插杆(13)，所述插杆(13)的一侧固定连接有支杆(14)，所述支杆(14)的一侧固定连接有支板(15)。

6.根据权利要求5所述的碎片持取器，其特征在于：所述支杆(14)的一侧固定连接有磁铁(16)，所述卡框(12)为铁框，所述卡框(12)的一侧与磁铁(16)相吸和。

7.根据权利要求5所述的碎片持取器，其特征在于：所述插杆(13)的一侧固定连接有尖块(17)，所述尖块(17)的表面与卡框(12)内壁滑动连接。

技术总结
本技术涉及持取器技术领域，具体为碎片持取器，包括底仓，所述底仓的上表面固定连接有盖板，所述盖板的上表面均匀开设有若干个抽孔，所述底仓的圆弧面开设有侧孔，所述底仓的圆弧面固定连接有转动架，所述转动架的表面转动连接有挡板，所述底仓的圆弧面固定连接有螺杆，所述螺杆的圆弧面螺纹连接有挤压块，所述挤压块的圆弧面与挡板滑动连接，所述挤压块的一侧固定连接有转杆，所述转杆的截面呈“U”形，所述挡板的一侧固定连接有密封垫，所述密封垫的一侧底仓相抵接，所述密封垫位于侧孔一侧。本技术，解决了持取器一般是以中间开大孔的方式进行吸片，只能持取完整的晶片，晶片破裂后持取器吸力就会破真空无法吸起破碎的晶片的问题。

技术研发人员：章瑜,高璇,顾广安
受保护的技术使用者：上海晶盟硅材料有限公司
技术研发日：20230321
技术公布日：2024/1/13