一种无接触水平线传送结构的制作方法

本技术属于半导体生产设备，尤其涉及一种无接触水平线传送结构。

背景技术：

1、随着国内fcbga载板的产业崛起，传统的水平前处理线结构通常采用多滚轮交叉或者三点式滚轮结构，在传送板件时，由于fcbga载板放在滚轮中进行传送，会导致滚轮遮挡药水，接触板面有效图形线路区域等问题，导致fcbga载板的良率较低，影响生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供了一种无接触水平线传送结构，能够实现fcbga载板的无接触传送，提高fcbga载板的生产效率和产品良率。

2、第一方面，本实用新型实施例提供了一种无接触水平线传送结构，包括：

3、驱动组件；

4、两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；

5、载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定fcbga载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。

6、根据本实用新型的一些实施例，所述载板固定架还设置有固定扣，所述固定扣用于将所述载板固定架盖板锁紧于所述载板固定架。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述传动箱包括：

8、传动箱盖板，两个所述传动箱的所述传动箱盖板互相位于对侧；

9、传动箱外壳，所述传动箱盖板通过传动箱固定螺丝固定安装于所述传动箱外壳。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述传动组件包括：

11、多个传动轴承，所述传动轴承穿设于所述传动箱盖板，多个所述传动轴承并列设置，所述传动轴承与传动齿轮固定连接，相邻的两个所述传动齿轮相互啮合；

12、主传动轴，所述主传动轴与位于中间的所述传动齿轮固定连接，所述驱动组件用于驱动所述主传动轴转动。

13、根据本实用新型的一些实施例，所述传动齿轮包括导轮传动齿轮，所述传动组件还包括：

14、导轮传动轴，所述导轮传动轴设置于传动轴承中，所述导轮传动轴的一端与所述导轮传动齿轮固定连接，所述导轮传动轴的另一端与所述导轮固定连接。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述传动齿轮还包括间隔传动齿轮，所述导轮传动齿轮和间隔传动齿轮交替设置且相互啮合，所述传动组件还包括：

16、间隔传动轴，所述间隔传动轴设置于传动轴承中，所述间隔传动轴与所述导轮传动轴交替设置，所述间隔传动轴的一端与所述间隔传动齿轮固定连接，所述间隔传动轴的另一端安装有固定盖板。

17、根据本实用新型的一些实施例，驱动组件包括：

18、驱动电机；

19、蜗杆齿轮，所述蜗杆齿轮与所述主传动轴相连接；

20、蜗杆，所述蜗杆连接于所述驱动电机，所述蜗杆中设置有蜗杆螺纹，所述蜗杆螺纹与所述蜗杆齿轮啮合。

21、根据本实用新型的一些实施例，所述驱动组件至少包括两个所述蜗杆，两个所述蜗杆之间通过联轴器相连接。

22、根据本实用新型的一些实施例，所述驱动组件还包括：

23、蜗杆支撑架，所述蜗杆支撑架包括蜗杆安装孔和固定孔，所述固定孔用于固定所述蜗杆支撑架，所述蜗杆安装孔中设置有蜗杆轴承，所述蜗杆通过所述蜗杆轴承安装于所述蜗杆安装孔。

24、根据本实用新型的一些实施例，所述主传动轴设置有蜗杆齿轮固定盖和蜗杆齿轮限位环，所述蜗杆齿轮位于所述蜗杆齿轮固定盖和所述蜗杆齿轮限位环之间。

25、本实用新型实施例包括：驱动组件；两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定fcbga载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。根据本实施例的技术方案，fcbga载板安装在载板固定架中，通过导轮驱动载板固定架移动，fcbga载板与传送结构无直接接触，有效避免机械擦伤；由于承载块为载板固定架两侧的外延结构，因此fcbga载板上下均无遮挡，不会对药水产生阻挡，更有效的处理板面。

技术特征：

1.一种无接触水平线传送结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述载板固定架还设置有固定扣，所述固定扣用于将所述载板固定架盖板锁紧于所述载板固定架。

3.根据权利要求1所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动箱包括：

4.根据权利要求3所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动组件包括：

5.根据权利要求4所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动齿轮包括导轮传动齿轮，所述传动组件还包括：

6.根据权利要求5所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述传动齿轮还包括间隔传动齿轮，所述导轮传动齿轮和间隔传动齿轮交替设置且相互啮合，所述传动组件还包括：

7.根据权利要求4所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，驱动组件包括：

8.根据权利要求7所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述驱动组件至少包括两个所述蜗杆，两个所述蜗杆之间通过联轴器相连接。

9.根据权利要求7所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述驱动组件还包括：

10.根据权利要求7所述的一种无接触水平线传送结构，其特征在于，所述主传动轴设置有蜗杆齿轮固定盖和蜗杆齿轮限位环，所述蜗杆齿轮位于所述蜗杆齿轮固定盖和所述蜗杆齿轮限位环之间。

技术总结
本技术提供了一种无接触水平线传送结构，包括：驱动组件；两个对称设置的传动箱，所述传动箱设置有传动组件，所述传动组件与所述驱动组件相连接，每个所述传动箱的所述传动组件还连接有多个导轮，所述驱动组件用于驱动所述传动组件，从而驱动所述导轮转动；载板固定架，所述载板固定架设置有载板固定架盖板，所述载板固定架盖板用于固定FCBGA载板，所述载板固定架通过两侧外延的承载块安装于所述导轮。根据本实施例的技术方案，FCBGA载板安装在载板固定架中，通过导轮驱动载板固定架移动，FCBGA载板与传送结构无直接接触，有效避免机械擦伤；由于承载块为载板固定架两侧的外延结构，因此FCBGA载板上下均无遮挡，不会对药水产生阻挡，更有效的处理板面。

技术研发人员：陈先明,郭强宇,宝玥,陆帅龙,顾佩圣
受保护的技术使用者：南通越亚半导体有限公司
技术研发日：20230323
技术公布日：2024/1/14