一种清洗机用精确上料系统的制作方法

本技术涉及半导体清洗设备，具体是指一种清洗机用精确上料系统。

背景技术：

1、在半导体清洗制程中，清洗是必不可少的一环。在清洗中，需要将待清洗的半导体芯片等物品放入清洗机中进行清洗。然而，现有的清洗机上料装置通常是由工作人员手动进行定位，由于人为因素的影响，定位精度有限，存在不确定性因素，不利于清洗机自动控制生产工艺的要求。因此，需要提供一种精确的清洗机上料系统，以克服现有技术的缺陷，提高生产效率和质量。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种清洗机用精确上料系统。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种清洗机用精确上料系统，包括清洗机上料小车以及地面定位导向装置，所述清洗机上料小车包括主框架本体，所述主框架本体底部的前后两端分别设有前轮和后轮，所述清洗机上料小车上设有可升降的上料装置，所述地面定位导向装置包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件用于限定清洗机上料小车的左右上料位置，所述第二限位件用于限定清洗机上料小车的前后上料位置。

3、进一步地，所述地面定位导向装置还包括与设备固定的第一地面固定板，所述第一限位件包括相对设置在第一地面固定板上的导向轮左侧固定板以及导向轮右侧固定板，所述导向轮左侧固定板以及导向轮右侧固定板的外侧面均设有若干导向轮，所述主框架本体底部两内侧面均设有导向板且两排所述导向轮分别与两个导向板内侧面滚动配合，所述第二限位件包括设置在第一地面固定板上的第二地面固定板，所述第二地面固定板上相对设有两个用于限定前轮位置的限位块。

4、进一步地，所述主框架本体上设有丝杠螺旋升降机，所述上料装置包括与丝杠螺旋升降机中丝杠配合的上料框架，所述上料框架的前端设有用于螺柱，所述主框架本体的前端设有纵向导轨且上料框架通过纵向滑块与纵向导轨滑动配合。

5、进一步地，所述上料框架上相对设有电动导轨，所述电动导轨上设有电动滑块，两侧所述电动滑块上均设有连接支架，两侧所述连接支架底部设有放置座且放置座上设有接水盘。

6、进一步地，所述丝杠螺旋升降机中的丝杠通过手摇杆进行驱动。

7、进一步地，所述纵向导轨的上下两端均设有导轨限位块。

8、本实用新型与现有技术相比的优点在于：

9、1、自动化程度更高：通过本实用新型的上料系统，清洗机的上料过程可以自动化完成，无需依赖工作人员进行手动定位操作，从而提高生产效率。

10、2、精度更高：本实用新型的上料系统包括地面定位导向装置和可升降的上料装置，可以精确限定清洗机上料小车的左右上料位置和前后上料位置，从而大大提高了上料的精度。

11、3、适用性更广：本实用新型的上料系统可以适用于不同尺寸的物品进行清洗，具有较强的适用性。

12、4、操作更方便：本实用新型的上料系统采用了手摇杆进行驱动，可以方便地进行操作。

13、综上所述，本实用新型的精确上料系统相较于现有技术具有更高的自动化程度、更高的精度、更广的适用性以及更方便的操作等优点。

技术特征：

1.一种清洗机用精确上料系统，包括清洗机上料小车(2)以及地面定位导向装置(1)，其特征在于，所述清洗机上料小车(2)包括主框架本体(21)，所述主框架本体(21)底部的前后两端分别设有前轮(23)和后轮(24)，所述清洗机上料小车(2)上设有可升降的上料装置(27)，所述地面定位导向装置(1)包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件用于限定清洗机上料小车(2)的左右上料位置，所述第二限位件用于限定清洗机上料小车(2)的前后上料位置。

2.根据权利要求1所述的一种清洗机用精确上料系统，其特征在于，所述地面定位导向装置(1)还包括与设备固定的第一地面固定板(11)，所述第一限位件包括相对设置在第一地面固定板(11)上的导向轮左侧固定板(14)以及导向轮右侧固定板(15)，所述导向轮左侧固定板(14)以及导向轮右侧固定板(15)的外侧面均设有若干导向轮(16)，所述主框架本体(21)底部两内侧面均设有导向板(22)且两排所述导向轮(16)分别与两个导向板(22)内侧面滚动配合，所述第二限位件包括设置在第一地面固定板(11)上的第二地面固定板(12)，所述第二地面固定板(12)上相对设有两个用于限定前轮(23)位置的限位块(13)。

3.根据权利要求1所述的一种清洗机用精确上料系统，其特征在于，所述主框架本体(21)上设有丝杠螺旋升降机(25)，所述上料装置(27)包括与丝杠螺旋升降机(25)中丝杠配合的上料框架(271)，所述上料框架(271)的前端设有用于螺柱(272)，所述主框架本体(21)的前端设有纵向导轨(28)且上料框架(271)通过纵向滑块与纵向导轨(28)滑动配合。

4.根据权利要求3所述的一种清洗机用精确上料系统，其特征在于，所述上料框架(271)上相对设有电动导轨(273)，所述电动导轨(273)上设有电动滑块(274)，两侧所述电动滑块(274)上均设有连接支架(275)，两侧所述连接支架(275)底部设有放置座(276)且放置座(276)上设有接水盘(277)。

5.根据权利要求3所述的一种清洗机用精确上料系统，其特征在于，所述丝杠螺旋升降机(25)中的丝杠通过手摇杆(26)进行驱动。

6.根据权利要求3所述的一种清洗机用精确上料系统，其特征在于，所述纵向导轨(28)的上下两端均设有导轨限位块(29)。

技术总结
本申请公开了一种清洗机用精确上料系统，包括清洗机上料小车以及地面定位导向装置，所述清洗机上料小车包括主框架本体，所述主框架本体底部的前后两端分别设有前轮和后轮，所述清洗机上料小车上设有可升降的上料装置，所述地面定位导向装置包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件用于限定清洗机上料小车的左右上料位置，所述第二限位件用于限定清洗机上料小车的前后上料位置。本申请与现有技术相比的优点在于：本申请通过限位块和导向轮实现小车的精确上料，避免了人工操作的不确定性，且整个脱胶清洗机精准上料装置易操作、定位速度快，节省了设备运行时间，提高了生产效率。

技术研发人员：李天兵,贾世杰,彭洁,魏守冲
受保护的技术使用者：磐石创新（江苏）电子装备有限公司
技术研发日：20230417
技术公布日：2024/1/15