一种可升降的基板存储机构的制作方法

本技术涉及基板搬送，尤其涉及一种可升降的基板存储机构。

背景技术：

1、在液晶面板和半导体制程设备中，基板在设备中都是按照设定好的传送速度和时间依次向前传送，前后基板之间保持固定的距离，在设备的出料单元依次出片。但是当设备突然发生故障或者出料单元的机械手不取片时，按照要求在设备内部的基板不能停留在干燥单元，因为如果停留在干燥单元会造成基板二次污染或者干燥不良等工艺问题，这时候就需要将干燥单元的基板继续向前传送至后面的缓冲单元或者出料单元，设备的缓冲单元受场地因素影响较大，有时候由于设备长度受限，干燥单元后面紧接着是出料单元，没办法设置一个缓冲单元，由于出料单元处已经有一张基板，这种情况下干燥单元中的基板只能停留在干燥单元了，当设备复机之后，停留在干燥单元的这张基板就会被单独取走做报废处理。

2、另外，为了确保基板能在出料单元正常取走，目前相邻的前后两张基板的投放间隔时间需要设定的足够大，但是这样又影响了产能，造成成本上面的浪费。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的问题，本申请提出了一种可升降的基板存储机构，其设置在出料单元处，用于在设备出现故障或出料单元的机械手不取片时，将出料单元上的当前一张基板存储在所述可升降的基板存储机构上，以便使干燥单元中的基板能继续向前传送至出料单元，避免基板的报废处理；且当设备以及出料单元的机械手都正常运行时，通过所述可升降的基板存储机构存储出料单元上的基板，机械手持续从所述可升降的基板存储机构上取基板，这样能够缩短两张基板之间的投放时间间隔，进而提高产能，降低制造成本。

2、为了实现上述目的，本申请提出了一种可升降的基板存储机构，包括第一支架和第二支架，所述第一支架上间隔的设有若干第一承载臂，所述第二支架上间隔的设有若干第二承载臂，通过所述第一承载臂和第二承载臂的配合能将基板托住；所述第一支架在第一组水平移动机构的作用下能沿着水平方向移动，所述第二支架在第二组水平移动机构的作用下能沿着水平方向移动，所述第一支架和第二支架的运动方向相反，所述第一支架和第二支架在升降机构的作用下能够实现同步上升或者下降；当所述第一承载臂、第二承载臂移动至出料单元中的预设位置处，且当基板传送至所述出料单元的搬送轴上时，通过所述升降机构的作用，能够使第一承载臂、第二承载臂上升托起基板，以将出料单元上的基板存储在所述可升降的基板存储机构中。

3、在一些实施例中，所有第一承载臂和第二承载臂均水平设置。

4、在一些实施例中，每个第一承载臂和第二承载臂上均间隔的设有若干支撑柱。

5、在一些实施例中，所述支撑柱的顶端呈半球形。

6、在一些实施例中，每组水平移动机构中包括至少一个水平移动机构。

7、在一些实施例中，所述可升降的基板存储机构还包括支撑框架，所述第一组水平移动机构和第二组水平移动机构相对的设置在支撑框架上，所述支撑框架在升降机构的作用下能实现升降运动，以带动所述第一支架和第二支架同步上升或者下降。

8、在一些实施例中，所述升降机构的结构如下：包括固定板，所述固定板固定在出料单元框架上，在所述固定板上装配有伺服电机，所述伺服电机带动滚珠丝杠转动，与所述滚珠丝杠配合使用的螺母与升降架相连接，当驱动所述伺服电机动作时，实现所述升降架的上升或者下降，所述升降架与托板相连接，所述托板与所述支撑框架相连接。

9、在一些实施例中，在所述升降架上设有滑块，在所述固定板上设有与所述滑块配合使用的滑轨，以使所述升降架平稳的垂直升降。

10、在一些实施例中，在所述支撑框架的四角处均设有导向杆，所述导向杆与设置在所述出料单元框架上的直线轴承配合使用，以使所述支撑框架平稳的垂直升降。

11、本申请的该方案的有益效果在于上述可升降的基板存储机构，其设置在出料单元处，用于在设备出现故障或出料单元的机械手不取片时，将出料单元上的当前一张基板存储在所述可升降的基板存储机构上，以便使干燥单元中的基板能继续向前传送至出料单元，避免基板的报废处理；且当设备以及出料单元的机械手都正常运行时，通过所述可升降的基板存储机构存储出料单元上的基板，机械手持续从所述可升降的基板存储机构上取基板，这样能够缩短两张基板之间的投放时间间隔，进而提高产能，降低制造成本。

技术特征：

1.一种可升降的基板存储机构，其特征在于：包括第一支架和第二支架，所述第一支架上间隔的设有若干第一承载臂，所述第二支架上间隔的设有若干第二承载臂，通过所述第一承载臂和第二承载臂的配合能将基板托住；所述第一支架在第一组水平移动机构的作用下能沿着水平方向移动，所述第二支架在第二组水平移动机构的作用下能沿着水平方向移动，所述第一支架和第二支架的运动方向相反，所述第一支架和第二支架在升降机构的作用下能够实现同步上升或者下降；当所述第一承载臂、第二承载臂移动至出料单元中的预设位置处，且当基板传送至所述出料单元的搬送轴上时，通过所述升降机构的作用，能够使第一承载臂、第二承载臂上升托起基板，以将出料单元上的基板存储在所述可升降的基板存储机构中。

2.根据权利要求1所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：所有第一承载臂和第二承载臂均水平设置。

3.根据权利要求2所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：每个第一承载臂和第二承载臂上均间隔的设有若干支撑柱。

4.根据权利要求3所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：所述支撑柱的顶端呈半球形。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：每组水平移动机构中包括至少一个水平移动机构。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：所述可升降的基板存储机构还包括支撑框架，所述第一组水平移动机构和第二组水平移动机构相对的设置在支撑框架上，所述支撑框架在升降机构的作用下能实现升降运动，以带动所述第一支架和第二支架同步上升或者下降。

7.根据权利要求6所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：所述升降机构的结构如下：包括固定板，所述固定板固定在出料单元框架上，在所述固定板上装配有伺服电机，所述伺服电机带动滚珠丝杠转动，与所述滚珠丝杠配合使用的螺母与升降架相连接，当驱动所述伺服电机动作时，实现所述升降架的上升或者下降，所述升降架与托板相连接，所述托板与所述支撑框架相连接。

8.根据权利要求7所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：在所述升降架上设有滑块，在所述固定板上设有与所述滑块配合使用的滑轨，以使所述升降架平稳的垂直升降。

9.根据权利要求7或8所述的可升降的基板存储机构，其特征在于：在所述支撑框架的四角处均设有导向杆，所述导向杆与设置在所述出料单元框架上的直线轴承配合使用，以使所述支撑框架平稳的垂直升降。

技术总结
本技术提出一种可升降的基板存储机构，包括第一支架和第二支架，第一、二支架上分别间隔的设有若干第一、二承载臂，通过第一承载臂和第二承载臂的配合能将基板托住；第一、二支架分别在第一、二组水平移动机构的作用下沿着水平方向移动，且两支架的运动方向相反，第一、二支架在升降机构的作用下能实现同步上升或者下降；当第一承载臂、第二承载臂移动至出料单元中的预设位置处，且当基板传送至出料单元的搬送轴上时，通过升降机构的作用，能使第一承载臂、第二承载臂上升托起基板，以将出料单元上的基板存储在可升降的基板存储机构中。上述基板存储机构能使干燥单元中的基板传送至出料单元；能缩短两张基板之间的投放时间间隔，提高产能。

技术研发人员：乔佳原,于德意,王佳佳,韩冬
受保护的技术使用者：山东瑞翼德科技股份有限公司
技术研发日：20230424
技术公布日：2024/1/14