叠片装置的制作方法

本申请涉及叠片，尤其涉及一种叠片装置。

背景技术：

1、目前，单晶蓝宝石作为gan基发光二极管(led)应用最广泛的衬底材料，晶片的表面质量直接决定外延的质量，进而影响最终的led产品的发光性能及寿命，这就要求蓝宝石衬底加工表面具有很高的完整性，在清洗后退火其要求晶片洁净度要求特别高。

2、现有技术中，蓝宝石晶片的生产中，清洗甩干后通过人工进行叠片，但人工叠片容易对晶片造成表面污染。

3、因此，如何提供一种能够避免在叠片过程中污染晶片成为亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本申请所要解决的一个技术问题是：如何避免在叠片过程中污染晶片。

2、为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种叠片装置，包括：

3、本体，本体具有第一表面，第一表面上设置有花篮、接收台和匣钵，花篮用于放置清洗后的晶片，接收台用于放置单片晶片，匣钵用于层叠设置晶片，接收台设置在花篮与匣钵之间；

4、横向移动件，横向移动件设置在本体内，且沿第一方向延伸设置；

5、取片组件，取片组件包括第一机械手和第一升降件，第一机械手用于抓取或放置晶片，第一机械手分别与横向移动件和第一升降件活动连接，第一机械手沿第一横向移动件在花篮与接收台之间进行横向移动，以及第一机械手沿第一升降件在沿竖直方向进行升降；

6、叠片组件，叠片组件包括第二机械手和第二升降件，第二机械手用于抓取或放置晶片，第二机械手分别与横向移动件和第二升降件活动连接，第二机械手沿横向移动件在匣钵与接收台之间进行横向移动，以及第二机械手沿第二升降件在沿竖直方向进行升降；

7、第一方向为花篮至接收台的方向。

8、在一些实施例中，第一机械手、第二机械手和接收台上均设置有真空吸附件，以吸取晶片或放松晶片。

9、在一些实施例中，第一升降件包括第一丝杠和第一驱动电机，第一丝杠沿竖直方向设置，第一丝杠与第一驱动电机的输出轴连接，以在第一驱动电机的作用下发生转动，第一机械手沿第一丝杠的高度方向转动连接于第一丝杠，第一丝杠转动带动第一机械手沿第一丝杠的高度方向进行升降运动。

10、在一些实施例中，第二升降件包括第二丝杠和第二驱动电机，第二丝杠沿竖直方向设置，第二丝杠上沿竖直方向转动连接有第二机械手，且第二丝杠与第二驱动电机的输出轴连接，以在第二驱动电机的作用下发生转动，以驱动第二机械手沿竖直方向进行升降运动。

11、在一些实施例中，横向移动件包括沿第一方向延伸的导轨、第三驱动电机和第四驱动电机，导轨设置在本体的第二表面上，第三驱动电机与第一丝杠连接，以驱动第一丝杠沿导轨的长度方向进行横向移动；第四驱动电机与第二丝杠连接，以驱动第二丝杠沿导轨的长度方向进行横向移动。

12、本体的第二表面与第一表面相对设置，且第二表面朝向第一表面。

13、在一些实施例中，第一表面具有垂直于第一方向的第一区域和第二区域，第一区域上固定有板体，板体上设置有花篮、接收台和匣钵，第二区域为开口，本体内与第二区域对应的区域设置有横向移动件、第一升降件和第二升降件。

14、在一些实施例中，第一机械手包括第一部分和垂直于第一丝杠的第二部分，第一部分与第一丝杠转动连接，第二部分相对于第一丝杠朝向花篮一侧弯折。

15、在一些实施例中，第二机械手包括依次连接的第三部分、第四部分和第五部分，第三部分与第二丝杠转动连接，第四部分朝向匣钵一侧与第三部分垂直设置，第五部分朝向匣钵一侧与第四部分垂直设置，且第五部分用于伸入匣钵内放置晶片。

16、在一些实施例中，第一丝杠靠近第一表面的一端设置有第一限位件；

17、第二丝杠靠近第一表面的一端设置有第二限位件。

18、在一些实施例中，花篮、接收台和匣钵位于同一直线上；导轨上对应花篮、接收台以及匣钵处分别设置有第三限位件、第四限位件和第五限位件。

19、通过上述技术方案，本申请提供的叠片装置，包括本体、横向移动件、取片组件和叠片组件，本体具有第一表面，第一表面上设置有花篮、接收台和匣钵，花篮用于放置清洗后的晶片，匣钵用于将晶片进行叠片放置，接受台设置在花篮与匣钵之间，即接收台为晶片从花篮移动至匣钵之间的中转站，花篮至接收台的方向为第一方向，横向移动件沿第一方向设置再本体内部。在对清洗甩干后的晶片进行叠片处理时，首先将晶片设置在花篮上，而后第一机械手沿第一升降件驱动进行升降运动，使得第一机械手沿竖直方向移动至花篮处，将晶片从花篮中取下，再沿横向移动件的使得第一机械手移动至接收台处，此时第一机械手将抓取到的晶片放置到接收台上，第一机械手再通过横向移动件和第一升降件回到花篮处。而后第二机械手沿横向移动件移动至接收台上方，第二机械手再沿第二升降件移动至接收台的晶片上，第二机械手将晶片抓取，第二机械手再沿第二升降件移动至合适高度，而后沿横向移动件进行横向移动，使得第二机械手移动至匣钵上方，第二机械手再沿第二升降件下降至匣钵内部，以将晶片放置在匣钵内部，重复以上操作，以将多个晶片在匣钵内进行叠片。

20、在本申请提供的叠片装置中，通过第一机械手和第二机械手对晶片进行抓取和叠片，全程机械操作，从而避免了晶片在叠片过程中造成的表面污染，从而有效提高了晶片退火前的干净程度，提升了退火质量，还能提高叠片速度，且叠片更加整齐，也避免了在晶片放入匣钵内的过程中磕碰到匣钵造成崩边的问题，即提升了叠片的效率，又提高了产品的质量。

技术特征：

1.一种叠片装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的叠片装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的叠片装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的叠片装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的叠片装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的叠片装置，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的叠片装置，其特征在于，

8.根据权利要求5所述的叠片装置，其特征在于，

9.根据权利要求4所述的叠片装置，其特征在于，

10.根据权利要求5所述的叠片装置，其特征在于，

技术总结
本申请提供一种叠片装置。本申请涉及叠片技术领域。其中，叠片装置包括：本体，第一表面上设置有花篮、接收台和匣钵；横向移动件；取片组件，取片组件包括第一机械手和第一升降件，第一机械手用于抓取或放置晶片，第一机械手分别与横向移动件和第一升降件活动连接；叠片组件，叠片组件包括第二机械手和第二升降件，第二机械手用于抓取或放置晶片，第二机械手分别与横向移动件和第二升降件活动连接。从而本申请提供的叠片装置，叠片速度快，且叠片更加整齐，也避免了在晶片放入匣钵内的过程中磕碰到匣钵造成崩边的问题，即提升了叠片的效率，又提高了产品的质量。

技术研发人员：李世东,宋亚滨,翟虎,陆继波,陈桥玉,万建军,赵亨山,裴得鑫,宋利国
受保护的技术使用者：甘肃旭晶新材料有限公司
技术研发日：20230606
技术公布日：2024/1/15