一种tray盘全自动上下料设备的制作方法

本技术属于半导体加工，具体涉及一种tray盘全自动上下料设备。

背景技术：

1、半导体制造不论是在硅晶圆、集成电路制造还是ic芯片构装等，生产制造过程均相当繁杂，并在制造过程中所使用的化学物质种类亦相当多，而这些化学物质或溶剂的残留不仅会于生产制造过程中对空气造成污染，而且还会对硅晶圆、集成电路或ic芯片的合格率产生巨大影响。为了提高半导体制造的产品合格率，都会用清洗设备对中间产品进行清洗，确保半导体上面的化学物质已清洗干净，不能有任何的化学物质残留。

2、在半导体行业特别是pcb板的生产制造过程中需要运用清洗机对pcb板进行清洗加工，具体清洗过程中，需要将物料车上的tray盘搬运至清洗机入口中，清洗后，由需要将清洗干净的tray盘搬运走，人工搬运效率比较低下，还费时费力，为此我们改进设计了一种tray盘全自动上下料设备。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型提供了一种tray盘全自动上下料设备，用以解决上述背景技术中的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种tray盘全自动上下料设备，包括外壳，所述外壳内部设置有用于搬运tray盘的上料机构，所述上料机构包括机架和抓料机构，所述机架上设有与清洗设备连接的传送带和驱动抓料机构移动的驱动机构。

4、进一步地，所述抓料机构包括和所述驱动机构连接的连接臂，所述连接臂的端部连接有连接板，所述连接板上设有双头同步气缸，所述双头同步气缸的活动头上均连接有抓臂，所述抓臂上设置有卡爪。

5、进一步地，所述驱动机构包括升降气缸和平移气缸，所述平移气缸安装在机架上，所述升降气缸连接在平移气缸的活动端上，所述连接臂连接在升降气缸的活动端。

6、进一步地，所述机架上还设置有顶升组件，所述顶升组件包括固定座和连杆，所述连杆的中部铰接在固定座上，所述连杆一端连接有电动推杆，另一端安装有顶块。

7、本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

8、1.通过设计抓料机构对传送带或物料车上的tray盘进行抓取，从而代替人工搬运，提高效率；

9、2.通过驱动机构带动抓料机构平移或者升降，到达指定位置，双头同步气缸的启动，带动抓臂相互靠近或远离，使得卡爪夹持住ray盘，抓取搬运；

10、3.为了方便物料车的挪移，设有顶升组件，顶升组件将物料车上堆叠的tray盘顶升，流出空间方便取出物料车卸料。

技术特征：

1.一种tray盘全自动上下料设备，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内部设置有用于搬运tray盘的上料机构(3)，所述上料机构(3)包括机架(31)和抓料机构(33)，所述机架(31)上设有与清洗设备连接的传送带(32)和驱动抓料机构(33)移动的驱动机构。

2.如权利要求1所述的一种tray盘全自动上下料设备，其特征在于：所述抓料机构(33)包括和所述驱动机构连接的连接臂(331)，所述连接臂(331)的端部连接有连接板(332)，所述连接板(332)上设有双头同步气缸(3321)，所述双头同步气缸(3321)的活动头上均连接有抓臂(3322)，所述抓臂(3322)上设置有卡爪(3323)。

3.如权利要求2所述的一种tray盘全自动上下料设备，其特征在于：所述驱动机构包括升降气缸(34)和平移气缸(35)，所述平移气缸(35)安装在机架(31)上，所述升降气缸(34)连接在平移气缸(35)的活动端上，所述连接臂(331)连接在升降气缸(34)的活动端。

4.如权利要求1所述的一种tray盘全自动上下料设备，其特征在于：所述机架(31)上还设置有顶升组件(36)，所述顶升组件(36)包括固定座(362)和连杆(363)，所述连杆(363)的中部铰接在固定座(362)上，所述连杆(363)一端连接有电动推杆(361)，另一端安装有顶块(364)。

技术总结
本技术属于半导体加工技术领域，具体涉及一种tray盘全自动上下料设备，包括外壳，所述外壳内部设置有用于搬运tray盘的上料机构，所述上料机构包括机架和抓料机构，所述机架上设有与清洗设备连接的传送带和驱动抓料机构移动的驱动机构，本技术通过设计抓料机构对传送带或物料车上的tray盘进行抓取，从而代替人工搬运，提高效率。

技术研发人员：乐建波,赵泽华,李春江
受保护的技术使用者：重庆思疆科技有限公司
技术研发日：20230628
技术公布日：2024/1/15