一种炉管半自动装卸设备的制作方法

本发明涉及半导体自动化机械人，尤其涉及炉管半自动拆装设备。

背景技术：

1、现有的半导体和光伏行业化学沉积炉（cvd）、扩散炉等大部分采用的石英玻璃炉管，由于玻璃炉管在使用一段时间后，管内壁会受到炉管内反应气体的化学污染，加上反应温度变化造成玻璃炉管出现裂纹等原因，使得化学沉积炉（cvd）、扩散炉内的炉管，需要频繁的拆装更换；已有技术是通过人工进行石英玻璃炉管的更换和拆装的，由于炉管的尺寸长、重量大，且更换位置比较高，需要6-8名工人抬上抬下的拆装更换，费时费力、效率低；并且人工拆装搬运石英玻璃炉管时，有裂纹的炉管会很容易破碎，这对装卸工人会造成人生安全隐患。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种节省人员、操作省力、效率高、能防止对操作者造成伤害的炉管半自动装卸装备。

2、本发明的炉管半自动装卸设备是这样实现的，包括炉管架车、设置在炉管架车下方的粗升降动力机构、由粗升降动力机构带动升降的升降基座、设置在升降基座上的微调升降机构、由微调升降机构带动升降的升降台、设置在升降台上的左右微调移动机构、设置在升降台上的角度微调转动机构、由左右微调移动机构带动的水平移动台、设置在水平移动台上由角度微调转动机构带动的转动台、设置在转动台上面的v形辊轮组。

3、使用时，将炉管置于带万向轮和v形辊轮组的管架车上，把管架车抬到大有调节平台的升降车上，然后通过升降车将炉管运送到化学沉积炉（cvd）或者扩散炉的炉管装设入口处，通过粗升降动力机构升起升降基座，使炉管升至炉管装设入口处附近，然后通过微调升降机构来调节升降台，使炉管与炉管装设入口处于精确的同一水平线上，通过左右微调移动机构调节水平移动台的左右位置，使炉管正对着炉管装设入口，通过角度微调转动机构调节转动台的角度，使炉管的轴线与炉管装设入口轴线重合，这就可以用人工通过v形辊轮组沿轴线精确地推动到炉内。

4、优选地，在转动台上设置有带有万向轮的管架车， v形辊轮组设置在管架车上，管架车可以从升降机上快速拆卸分离，方便炉管抬到管架车上，或者从管架车上太下；再把装上炉管的管架车抬到带有调节平台的升降车上进行运输、升降和微调对位。

5、优选地，调节平台上的角度微调转动机构包括由手轮带动转动的转轴、由转轴带动的软轴或者可伸缩的万向联轴器、动力输入轴与软轴连接的变速箱，垂直于动力输入轴的变速箱的输出轴连接在转动台的底面，围绕输出轴的四周的水平移动台与转动台之间设置有三个以上万向滚轮。

6、工作时，通过手轮带动转轴转动，转轴带动软轴或者可伸缩的万向联轴器转动，使变速箱的输出轴带动转动台转动，实现角度微调转动机构调节转动台的角度，万向滚轮使转动台稳定地支撑在水平移动台上，采用软轴或者可伸缩的万向联轴器，这样，即使左右微调移动机构的动作使转轴与变速箱的输入轴之间的距离稍有变化，也不影响角度微调转动机构的工作。

7、优选地，设置有车子定位机构，车子定位机构包括固定在化学气相沉积炉或扩散炉的炉管装设入口处正下方的位置上的带有卡口的座、与卡口匹配的设置在车子前端的定位辊。

8、使用时，将车子推到座的前方，使定位辊嵌入卡口上，然后，启动车子的刹车机构，这样，车子就会被定位而不能移动，同时，在带有卡口的座的作用下，车子也不会侧翻。

9、本发明与已有技术相比，具有节省人员、操作省力、效率高、能防止对操作者造成伤害的优点。

技术特征：

1.一种炉管半自动装卸设备，其特征在于，包括炉管架车、设置在炉管架车下方的粗升降动力机构、由粗升降动力机构带动升降的升降基座、设置在升降基座上的微调升降机构、由微调升降机构带动升降的升降台、设置在升降台上的左右微调移动机构、设置在升降台上的角度微调转动机构、由左右微调移动机构带动的水平移动台、设置在水平移动台上由角度微调转动机构带动的转动台、设置在转动台上被定位结构所定位的管架车、设置在管架车上的v形辊轮组。

2.根据权利要求1所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，角度微调转动机构包括由第三手轮带动转动的转轴、由转轴带动的软轴或者可伸缩的万向联轴器、动力输入轴与软轴或者可伸缩的万向联轴器连接的第二变速箱，垂直于动力输入轴的第二变速箱的输出轴连接在水平移动台的底面，围绕输出轴的四周的水平移动台与升降台之间设置有三个以上万向滚轮。

3.根据权利要求1或2所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，设置有车子定位机构，车子定位机构包括固定在化学气相沉积炉的炉管装设入口处正下方的位置上的带有卡口的座、与卡口匹配的设置在车子前端的定位辊。

4.根据权利要求3所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，卡口上设置有锁，以便将定位辊锁紧在卡口内。

5.根据权利要求1或2或4所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，在管架车上设置有万向轮。

6.根据权利要求1或2或4所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，管架车两端设置有活动栏杆。

7.根据权利要求5所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，管架车两端设置有活动栏杆。

技术总结
一种炉管半自动装卸设备，涉及升降传输技术领域，包括车子、设置在车子上的粗升降动力机构、由粗升降动力机构带动升降的升降基座、设置在升降基座上的微调升降机构、由微调升降机构带动升降的升降台、设置在升降台上的左右微调移动机构、设置在升降台上的角度微调转动机构、由左右微调移动机构和角度微调转动机构带动的水平移动台、设置在水平移动台上面的导轨、滑动设置在导轨上的滑动架、设置在滑动架上的V形辊轮组。本发明与已有技术相比，具有操作省力、效率高、能防止对操作者造成伤害的优点。

技术研发人员：赵祖熙,黄建起,扬扬
受保护的技术使用者：佛山禾曦节能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27