用于热塑性树脂的注塑的模具部件和热塑性树脂的注塑方法与流程

本发明涉及：适用于热塑性树脂(具体地，热塑性含氟聚合物)的注塑的模具部件(具体地，芯销)；注塑法；和模塑制品。

背景技术：

1、含氟聚合物具有优异的耐化学品性，因此用于半导体制造装置中使用的化学管、管接头等。注塑方法用于复杂形状，诸如管接头。

2、另一方面，在半导体的制造中，由于硅基板上的小异物(称为颗粒)可导致有缺陷的产品，因此半导体制造装置中使用的用于化学溶液的管接头的内表面需要尽可能地洁净。因此，需要没有任何不规则部分的平滑表面，在不规则部分上异物(颗粒)残留或不规则部分成为异物(颗粒)的来源。

3、然而，在具有中空结构诸如接头的那些通过在树脂注射之后拉伸形成中空结构的模具的芯的部分而模制的情况下，已经发现在与模具的芯的部分(芯销)的拉伸方向(md)正交的方向上产生周期性不规则部分(鳞状图案)。

4、推测该周期性不规则部分(鳞状图案)是由于树脂与模具部件(具体地，芯销)的表面的相互作用而产生的，并且提高脱模性可导致其解决办法。然而，虽然为了提高模制主体在注塑期间的脱模性，通常将脱模剂应用于模具，但由于脱模剂本身可为杂质因素，因此脱模剂的使用不适用于模塑需要清洁度的对象。

5、具体地，在使用含氟聚合物的用于半导体制造装置的化学管或管接头的模塑中，含氟聚合物(具体地，pfa)具有高熔点并且在高温下模塑。因此，由于脱模剂可挥发并变得有缺陷或变成杂质(颗粒)，因此不能使用脱模剂。因此，需要一种模具部件和注塑方法(以及模塑制品)，其不产生周期性不规则部分(鳞状图案)，该周期性不规则部分在与模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上出现。

6、现有技术文献

7、下述专利文献1描述了树脂容器的用途以及用于制造树脂容器(具有优异的透明度)的方法，该树脂容器具有0.02μm至0.20μm的模具的芯的表面粗糙度(ra)，其中蛋白质等倾向于不吸附于内壁上。不幸的是，即使使用这种具有非常平滑表面的模具部件，也会出现在与模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上出现的周期性不规则部分(鳞状图案)(本申请的比较例1至比较例3)。

8、另一方面，下述专利文献2描述了注塑中的脱模方法，其中，在将(通过将用于形成通孔或凹部的插入部件设置在模塑模具的腔体中而注塑的模塑制品)模塑制品通过开模从模具脱模，并且将插入部件从模塑制品拉出后，模塑制品通过再次将插入部件插入到原来的位置而从模具脱模。不幸的是，该方法具有生产率较低的缺点。

9、专利文献1：日本未经审查的专利申请公布号2016-155327

10、专利文献2：日本专利申请公布号h6-94148

技术实现思路

1、待由本发明解决的问题

2、本发明的一个目的是提供模具部件、使用该模具部件的注塑方法、以及模塑制品，该模具部件在热塑性树脂(特别是热塑性含氟聚合物)的注塑期间在注塑后将模塑制品从模具中取出时不产生周期性不规则部分(鳞状图案)，该周期性不规则部分出现在与具有与模塑制品平行地滑动的表面的模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上，在模塑制品中，不出现周期性不规则部分(鳞状图案)(在与模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上出现)。

3、解决问题的方法

4、已经发现，本发明使用具有表面(当在注塑之后从模具中取出成型制品时，该表面基本上平行于成型制品滑动)和特定表面状态的模具部件，从而使得可以抑制在模塑制品的表面上在与模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上出现的周期性不规则部分(鳞状图案)的发生率。

5、即，本
技术实现要素：
如下。

6、1.一种用于热塑性树脂的注塑的模具部件，其中模具部件具有在注塑后将模塑制品从模具中取出时与模塑制品大致平行地滑动的表面，并且其中在滑动方向(md)的平均倾斜角为1.5°或更高。

7、2.根据1所述的模具部件，其是用于形成模塑制品的中空部件的芯销。

8、3.一种用于热塑性树脂的注塑方法，所述方法使用根据1和2所述的模具部件。

9、4.根据3所述的注塑方法，其中热塑性树脂为热塑性含氟聚合物。

10、5.根据3至4所述的注塑方法，其中在将树脂注塑到模具中之后用于拉伸模具部件的拉伸速度为20mm/s或更低。

11、6.一种热塑性树脂的模塑制品，所述模塑制品使用具有在取出模塑制品时与所述模塑制品平行地滑动的表面的模具部件，通过注塑来进行模塑，其中所述模塑制品的表面的模具拉伸方向(md)的平均倾斜角为1.5°或更低。

12、7.根据6所述的模塑制品，其是用于化学溶液的接头部件。

13、本发明的效果

14、本发明提供了不使用脱模剂的模具部件、注塑方法、以及不具有不规则部分(鳞状图案)的模塑制品(在与模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上是周期性的)，该模具部件不产生周期性不规则部分(鳞状图案)，该周期性不规则部分出现在与模具部件的拉伸方向(md)正交的方向上。

技术特征：

1.一种用于热塑性树脂的注塑的模具部件，其中：所述模具部件具有表面，所述表面在注塑后将模塑制品从所述模具中取出时与所述模塑制品大致平行地滑动；并且在滑动方向(md)的平均倾斜角为1.5°或更高。

2.根据权利要求1所述的模具部件，其中所述模具部件是用于形成模塑制品的中空部件的芯销。

3.一种用于热塑性树脂的注塑方法，所述注塑方法使用根据权利要求1至2所述的模具部件。

4.根据权利要求3所述的注塑方法，其中所述热塑性树脂是热塑性含氟聚合物。

5.根据权利要求3至4所述的注塑方法，其中在将所述树脂注塑到模具中之后用于拉伸所述模具部件的拉伸速度为20mm/s或更低。

6.一种热塑性树脂的模塑制品，所述模塑制品使用具有在取出模塑制品时与所述模塑制品平行地滑动的表面的模具部件，通过注塑来进行模塑，其中所述模塑制品的表面的模具拉伸方向(md)的平均倾斜角为1.5°或更低。

7.根据权利要求6所述的模塑制品，其中所述模塑制品是用于化学溶液的接头部件。

技术总结
本发明提供了模具部件、使用该模具部件的注塑方法、以及模塑制品，该模具部件在热塑性树脂(特别是热塑性含氟聚合物)的注塑期间在注塑后将模塑制品从模具中取出时不产生周期性不规则部分(鳞状图案)，该周期性不规则部分出现在与具有与模塑制品平行地滑动的表面的模具部件的拉伸方向(MD)正交的方向上，在模塑制品中，不出现周期性不规则部分(鳞状图案)(在与模具部件的拉伸方向(MD)正交的方向上出现)。模具部件用于热塑性树脂的注塑，并且具有在注塑后将模塑制品从模具中取出时与模塑制品大致平行地滑动的表面，其中在滑动方向(MD)的平均倾斜角为1.5°或更高。

技术研发人员：A·马苏史塔,T·昂达,西村卓浩,T·尼施奥
受保护的技术使用者：科慕·三井氟产品株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13