晶圆箱模具的制作方法

本申请涉及晶圆承载装置的，具体而言，涉及一种晶圆箱模具。

背景技术：

1、在相关的技术领域中，在制备晶圆箱时，支撑件往往是单体设置的，然后通过二次注塑工艺成型出箱体，但是由于支撑件的材质与箱体的材质往往不同，在利用二次注塑工艺注塑箱体时，高温的熔融材质与支撑件接触，会使得支撑件的局部变为熔融状态，并使得熔融状态的支撑件运动，导致晶圆箱的成品良率较低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种晶圆箱模具，旨在利用凹槽的侧壁对支撑连接器的熔融材质进行阻挡，以使得支撑连接器的熔融材质停留在凹槽内，从而降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，以提高晶圆箱的成品良率。

2、本申请实施例提供了一种晶圆箱模具，用于制备晶圆箱，晶圆箱包括箱体以及与箱体连接的支撑连接器，晶圆箱模具包括主体，主体具有型腔、凹槽以及容纳槽，型腔用于成型箱体，凹槽与型腔连通，容纳槽位于凹槽的槽底，且与凹槽连通；容纳槽用于安装支撑连接器。

3、基于上述实施例，在支撑连接器放置于主体的容纳槽内，然后通过注液孔向型腔内注入用于成型箱体的高温的熔融材质时，熔融材质与支撑连接器接触，会使得支撑连接器的局部变为熔融状态并跟随熔融材质运动，利用凹槽的侧壁可以对支撑连接器的熔融材质进行阻挡，以使得支撑连接器的熔融材质停留在凹槽内，从而可以降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，并在重力的作用下支撑连接器的熔融材质沉积于凹槽靠近支撑连接器的一侧，可以进一步降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，进而可以提高晶圆箱的成品良率。

4、在其中一些实施例中，容纳槽具有两个相对设置的侧壁，两个侧壁之间具有第一距离，沿凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，第一距离逐渐增大。

5、基于上述实施例，由于沿凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，第一距离逐渐增大，可以在箱体注塑后，便于对支撑连接器脱模，提高脱模效率，以提高晶圆箱的制作效率。

6、在其中一些实施例中，凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向为第一方向，侧壁与第一方向之间具有第一夹角，第一夹角大于或等于1°，且小于或等于5°。

7、基于上述实施例，在第一夹角大于或等于1°，且小于或等于5°时，便于对支撑连接器脱模，可以提高支撑连接器的脱模效率，以提高晶圆箱的成型效率。若第一夹角小于1°，会导致拔模角较小，导致不便于拔模，降低支撑连接器的脱模效率，降低晶圆箱的成型效率。

8、在其中一些实施例中，凹槽的槽底具有第一中心点，容纳槽的槽口具有第二中心点，沿凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，第一中心点与第二中心点位于同一直线上。

9、基于上述实施例，由于沿凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，第一中心点与第二中心点位于同一直线上，以便于在支撑连接器上成型箱体，从而提高支撑连接器与箱体的连接精度，进而在自支撑连接器与外部设备连接时，可以提高箱体与外部设备的对位精度，以便于外部设备取放晶圆。

10、在其中一些实施例中，容纳槽的形状与支撑连接器适配。

11、基于上述实施例，容纳槽的形状与支撑连接器适配，以便于对支撑连接器进行定位，从而可以在箱体成型过程中，降低支撑连接器移动的概率，进而可以提高支撑连接器与箱体的位置精度。

12、在其中一些实施例中，主体还具有气孔，气孔与容纳槽连通。

13、基于上述实施例，利用气孔可以使得容纳槽与外界连通，以便于在脱模时，取下设置于气孔处的堵塞，以使得容纳槽气压与外部气压相同，从而便于对支撑连接器进行脱模，提高支撑连接器的脱模效率。

14、基于本申请的一种晶圆箱模具，在将支撑连接器放置于主体的容纳槽内，然后通过注液孔向型腔内注入用于成型箱体的高温的熔融材质时，熔融材质与支撑连接器接触，会使得支撑连接器的局部变为熔融状态并跟随熔融材质运动，利用凹槽的侧壁可以对支撑连接器的熔融材质进行阻挡，以使得支撑连接器的熔融材质停留在凹槽内，从而可以降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，并在重力的作用下支撑连接器的熔融材质沉积于凹槽靠近支撑连接器的一侧，可以进一步降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，进而可以提高箱体的成品良率。

技术特征：

1.一种晶圆箱模具，其特征在于，用于制备晶圆箱，所述晶圆箱包括箱体以及与所述箱体连接的支撑连接器，所述晶圆箱模具包括：

2.如权利要求1所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述容纳槽具有两个相对设置的侧壁，两个所述侧壁之间具有第一距离，沿所述凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，所述第一距离逐渐增大。

3.如权利要求2所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向为第一方向，所述侧壁与所述第一方向之间具有第一夹角，所述第一夹角大于或等于1°，且小于或等于5°。

4.如权利要求1所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述凹槽的槽底具有第一中心点，所述容纳槽的槽口具有第二中心点，沿所述凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，所述第一中心点与所述第二中心点位于同一直线上。

5.如权利要求1所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述容纳槽的形状与所述支撑连接器适配。

6.如权利要求1至5中任一项所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述主体还具有气孔，所述气孔与所述容纳槽连通。

技术总结
本申请实施例公开了一种晶圆箱模具，晶圆箱模具用于制备晶圆箱，晶圆箱包括箱体以及与箱体连接的支撑连接器，晶圆箱模具包括主体，主体具有型腔、凹槽以及容纳槽，型腔用于成型箱体，凹槽与型腔连通，容纳槽位于凹槽的槽底，且与凹槽连通；容纳槽用于安装支撑连接器，利用凹槽的侧壁对支撑连接器的熔融材质进行阻挡，以使得支撑连接器的熔融材质停留在凹槽内，从而降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，以提高晶圆箱的成品良率。

技术研发人员：禹在昌,张亮
受保护的技术使用者：北京鑫跃微半导体技术有限公司
技术研发日：20230821
技术公布日：2024/3/17