废气燃烧装置的制作方法

本发明涉及废气燃烧装置，具体地，涉及包含从半导体、液晶、太阳能发电板等电子设备制造装置所排出的可燃性气体、有毒气体、温室气体等有害成分的废气的燃烧装置。

背景技术：

1、在半导体、液晶、太阳能发电板等电子设备制造装置中所使用的材料气体中往往具有可燃性成分、有毒成分、温室成分等有害成分。在电子设备的量产工厂中，将具有燃烧式、电加热式、电等离子式等加热源的加热分解式废气处理装置设置在排气路径中，在将上述有害成分稳定化、无害化(除害)后排出。

2、在上述材料气体中，存在着在成膜工艺等中所使用的甲硅烷等由加热分解处理产生粉体的物质。所产生的粉体附着、堆积于燃烧部和/或燃烧室的反应腔内。在粉体附着、堆积的情况下，会产生燃烧效率降低、有害成分的分解效率降低、背压上升引起的装置停止等不良情况。由此，需要定期地使制造装置和除害装置停止来打开清扫。

3、根据上述理由，为了减少伴随装置停止的清扫工作的频率，针对防止、缓解粉体在燃烧部和/或燃烧室的附着、堆积的方法进行了各种探讨。

4、例如，如图7所示，专利文献1公开了下述的废气燃烧装置，其为废气的燃烧筒具有形成有燃烧室的内筒21以及包围该内筒21的外侧的外筒22的双层筒结构，且在水平方向上延伸。在该废气燃烧装置中，所述内筒21形成为在延伸方向上将直径不同的多个圆筒状部件组合而具有多级形状。在该圆筒状部件中，形成内筒21的外轮廓的部分和延伸在所述内筒21的内部的部分分别构成所述内筒21的外壁24和内壁25。另外，所述圆筒状部件在延伸方向上重叠的部分处，在外壁24的周围设置有多个空气取入口26。通过设置于所述外筒22的空气导入口27从外部取入到该外筒22的内部的空气从所述空气取入口26导入到所述内筒21的内部。通过在所述内筒21的内部所形成的空气流动，防止粉体在内筒21的内部的附着、堆积。

5、燃烧筒的上游侧为在进行废气燃烧的同时从空气取入口26取入空气的燃烧区域h，燃烧筒的下游侧为不进行废气燃烧且通过从空气取入口26取入空气来对废气进行冷却的冷却区域c。

6、专利文献1：日本专利第3993686号公报

技术实现思路

1、但是，在大型液晶制造工艺那样使用大量的甲硅烷的情形或成膜时间较长的情形等，由加热分解产生粉体的气体的使用量较多的情况下，粉体的生成量增加。由此，仅依靠如专利文献1所示那样的空气的流动难以完全防止粉体的附着和/或堆积，并且需要进行装置内部的定期清扫。虽然清扫的方法多种多样，但是为了尽可能地减少装置的停止时间，一般采用在不停止、打开废气燃烧装置的情况下机械地去除粉体的方法。

2、例如，如图8所示，存在下述的方法：即从燃烧筒的外部在燃烧筒的轴方向上导入棒状且在前端部具有突起的粉体去除机构，依靠该粉体去除机构的前端部将附着于内筒的内壁面的粉体刮除。但是，在那样的机械地去除粉体的方法的情况下，由于需要将机械式的粉体去除机构导入到燃烧筒内的高温部分，所以容易产生机构部件的劣化，需要定期地更换部件。进一步地，如果刮除操作为手动方式，则存在与增加清扫频率相应地增加操作员费用的问题。

3、鉴于以上的问题，本发明的目的在于提供一种废气燃烧装置，其即使在由有害成分加热分解所产生的粉体较多的工艺条件下，也能够在不停止装置的情况下运行。更具体地，本发明的目的在于提供一种废气燃烧装置，其具有通过定期自动地将附着、堆积于燃烧筒内部的粉体去除，从而在不停止装置的情况下防止粉体的附着和/或堆积的功能。

4、本发明的第一方案为废气燃烧装置，其用于通过燃烧分解处理将废气无害化，其特征在于，包括：燃烧喷嘴部，用于将燃料气体与助燃性流体混合来形成火焰；处理气体喷嘴，与该燃烧喷嘴部位于同一轴线上，配置于该燃烧喷嘴部的内侧并导入废气；双层筒结构的燃烧筒，由内筒和配置于该内筒的外侧的外筒构成，所述内筒在一端连接有所述燃烧喷嘴部和所述处理气体喷嘴，在另一端设置有排气口，在所述内筒的内部依靠由所述燃烧喷嘴部所形成的火焰将废气燃烧分解，所述内筒具备内壁和外壁，从设置于所述外壁一处以上的粉体去除用气体导入口，使得粉体去除用气体朝向所述内壁向所述内筒的内部喷出，由此将附着、堆积于所述内筒的内表面的粉体去除。

5、本发明的第二方案的特征在于，所述燃烧筒在水平方向上延伸，所述外壁由具有扩径的圆锥台形状的单个部件构成，所述内壁在所述外壁的内侧表面多级地设置为多个，并且以指向所述内筒的内部的方式倾斜地形成，粉体去除用气体自所述粉体去除用气体导入口，通过邻接的所述内壁之间，向所述内筒的内部喷出。

6、本发明的第三方案的特征在于，所述燃烧筒在铅垂方向上延伸，所述外壁由具有扩径的圆锥台形状的单个部件构成，所述内壁在所述外壁的内侧表面多级地设置为多个，并且以指向所述内筒的内部的方式倾斜地形成，粉体去除用气体从粉体去除用气体导入口，通过邻接的所述内壁之间向所述内筒的内部喷出。

7、本发明的第四方案的特征在于，在所述内筒的外壁处设置有多个空气取入口，自该空气取入口沿所述内壁从外部导入空气。

8、本发明的第五方案的特征在于，所述粉体去除用气体导入口在所述内筒的轴方向的同一截面中，在圆周方向上等间隔地设置为多个。

9、本发明的第六方案的特征在于，所述粉体去除用气体的喷出以定期且短时间的间歇方式进行。

10、根据本发明的废气燃烧装置，通过粉体去除用气体的喷出来去除附着、堆积于燃烧筒内部的粉体，由此，即使在由燃烧分解处理产生的粉体较多的情况下，也能在不停止装置的情况下有效地防止粉体的附着和/或堆积。

技术特征：

1.一种废气燃烧装置，用于通过燃烧分解处理将废气无害化，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的废气燃烧装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的废气燃烧装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的废气燃烧装置，其特征在于，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的废气燃烧装置，其特征在于，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的废气燃烧装置，其特征在于，

技术总结
本发明提供废气燃烧装置，具有定期自动去除附着在燃烧筒内部的粉体来在不停止装置情况下防止粉体堆积的功能。废气燃烧装置包括：燃烧喷嘴部，将燃料气体与助燃性流体混合来形成火焰；处理气体喷嘴，与该燃烧喷嘴部位于同一轴线上，配置于燃烧喷嘴部的内侧并导入废气；双层筒结构的燃烧筒，由内筒和配置于该内筒外侧的外筒构成，内筒在一端连接有燃烧喷嘴部和处理气体喷嘴，在另一端设置有排气口，依靠由燃烧喷嘴部所形成的火焰将废气燃烧分解，所述内筒由内壁和外壁构成，自设置于所述外壁的粉体去除用气体导入口，使得粉体去除用气体朝向内壁向内筒的内部喷出，由此将附着、堆积于内筒的内表面的粉体去除。

技术研发人员：渡边信昭,渋谷和信,关田诚,大石祐辅
受保护的技术使用者：大阳日酸株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13