一种硅烷废气处理系统的制作方法

本发明属于硅烷废气处理，更具体地，涉及一种硅烷废气处理系统。

背景技术：

1、电池生产制程处理工艺中，会产生的酸碱废气，有机废气，硅烷废气等废气。其中硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(sih4)、乙硅烷(si2h6)和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。

2、硅烷是强还原剂，与重金属卤化物激烈反应，与氯、溴发生爆炸性反应，与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。

3、因此需要增加除尘机构，但硅烷尾气处理时产生的大量烟尘，容易阻塞管道和影响后续的氨气处理，若简单连接除尘机构也会因尾气量波动而不能达到除尘机构的最大利用率，浪费能源成本。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术中存在的不足，解决现有的硅烷尾气处理时会产生大量烟尘，容易阻塞管道和影响后续的氨气处理，若简单连接除尘机构也会因尾气量波动而不能达到除尘机构的最大利用率，浪费能源成本的问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供一种硅烷废气处理系统，包括：

3、至少两个硅烷燃烧塔，两个所述硅烷燃烧塔的进气端通过第一总管连接多个废气排放嘴；

4、至少两个除尘器，两个所述除尘器的进气端通过第二总管连接两个所述硅烷燃烧塔；

5、至少两个喷淋洗涤塔，两个所述喷淋洗涤塔的进气端通过第三总管连接两个所述除尘器；

6、至少两个排风机，两个所述排风机的抽气端通过第四总管连接两个所述喷淋洗涤塔；

7、控制端，所述控制端分别与所述硅烷燃烧塔、所述除尘器、所述喷淋洗涤塔和所述排风机连接。

8、可选地，所述控制端能够控制两个所述喷淋洗涤塔任一或全部启闭。

9、可选地，还包括跳线，所述跳线的两端分别与所述第三总管和所述第四总管连接。

10、可选地，所述硅烷燃烧塔包括：

11、燃烧筒，所述燃烧筒的下端设置有锥形部；

12、集灰筒，所述集灰筒的上端与所述锥形部的下端可拆卸连接，所述集灰筒的下端设置有滑轮；

13、排气管，所述排气管的下部垂直插入所述燃烧筒内，所述排气管下部的轴线与所述燃烧筒的轴线重合，所述排气管的入口位于所述燃烧筒的中部；

14、进气管，所述进气管的排入口与所述燃烧筒的内壁相切连接，所述进气管的排入口处设置有压缩空气进气口。

15、可选地，所述进气管的排入口与水平方向的夹角为0～30度，所述进气管的排入口倾斜向下。

16、可选地，所述除尘器为脉冲布袋除尘器。

17、可选地，还包括备用风机，所述备用风机为离心风机。

18、可选地，所述喷淋洗涤塔连接有废水处理装置。

19、可选地，所述排风机的输出端连接有烟囱，所述烟囱的排放端不低于25m。

20、可选地，所述硅烷燃烧塔、所述除尘器、所述喷淋洗涤塔和所述排风机分别设置有备用电源。

21、本发明提供一种硅烷废气处理系统，其有益效果在于：

22、该硅烷废气处理系统通过除尘器处理过滤硅烷燃烧灰尘，避免阻塞管道和影响后续的氨气。并能够通过各个总管分别并联硅烷燃烧塔、除尘器和喷淋洗涤塔，使得系统中的各种装置能够相互备用，同时启动均衡负载使用，保证每个装置最大化的工作效率，避免因废气量波动而浪费。

23、本发明的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种硅烷废气处理系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述控制端能够控制两个所述喷淋洗涤塔任一或全部启闭。

3.根据权利要求2所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，还包括跳线，所述跳线的两端分别与所述第三总管和所述第四总管连接。

4.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述硅烷燃烧塔包括：

5.根据权利要求4所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述进气管的排入口与水平方向的夹角为0～30度，所述进气管的排入口倾斜向下。

6.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述除尘器为脉冲布袋除尘器。

7.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，还包括备用风机，所述备用风机为离心风机。

8.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述喷淋洗涤塔连接有废水处理装置。

9.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述排风机的输出端连接有烟囱，所述烟囱的排放端不低于25m。

10.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述硅烷燃烧塔、所述除尘器、所述喷淋洗涤塔和所述排风机分别设置有备用电源。

技术总结
本发明公开了一种硅烷废气处理系统，包括：至少两个硅烷燃烧塔，两个硅烷燃烧塔的进气端通过第一总管连接多个废气排放嘴，至少两个除尘器，两个除尘器的进气端通过第二总管连接两个硅烷燃烧塔，至少两个喷淋洗涤塔，两个喷淋洗涤塔的进气端通过第三总管连接两个除尘器，至少两个排风机，两个排风机的抽气端通过第四总管连接两个喷淋洗涤塔，控制端，控制端分别与硅烷燃烧塔、除尘器、喷淋洗涤塔和排风机连接，该硅烷废气处理系统通过除尘器处理过滤硅烷燃烧灰尘，避免阻塞管道和影响后续的氨气。并能够通过各个总管分别并联硅烷燃烧塔、除尘器和喷淋洗涤塔，使得系统中的各种装置能够相互备用。

技术研发人员：潘丹丹,吕增强,程界勇,丁梁陈,吕海燕
受保护的技术使用者：马鞍山艾瑞斯环保科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15