晶圆片的烘干的制造方法
【专利摘要】一种晶圆片的烘干机，包括：设在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口；该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。本实用新型操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提高了晶圆片稳定性。
【专利说明】晶圆片的烘干机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及烘干机，尤其涉及一种用于晶圆片的烘干机。
【背景技术】
[0002]目前，用于干燥晶圆片的方法一般有两种:一种是通过手动方式用氮气枪对晶圆片进行吹干；由于此种方式需要通过手动操作，工作效率较低；操作时，不仅容易在晶圆片的边缘产生水痕；而且，还容易导致晶圆片干燥不均匀；同时，稍不小心，还容易使晶圆片破碎。另一种是通过晶圆片烘干机对晶圆片进行干燥，此种方式大大提高了干燥晶圆片的工作效率。
[0003]如图1所示，现有的晶圆片烘干机包括:安装在烘干箱5上的旋转电机1、安装在旋转电机I转轴上的托盘2、设在托盘2上的花篮3、设在烘干箱5上的喷气嘴6、设在烘干箱5上的上盖8、设在上盖8上的出气口 7以及设在烘干箱5底部的排水口 9，其中，旋转电机I设在烘干箱5的底部。操作时，将晶圆片4放在花篮3中，然后，启动晶圆片烘干机，在电机I的带动下，通过托盘2的旋转，将晶圆片4旋干。
[0004]但是，由于电机I安装在旋干机的底部，而同时，排水口 9也设在旋干机的底部，因此，排水口 9的排出的水有可能喷溅到电机I上或是在烘干机底部其他地方有漏水的异常情况发生时,也可能导致电机I进水。一旦电机I进水，电机I将停止工作,托盘2也随之从高速旋转中突然停止旋转，而花篮3由于强大的惯性，有可能飞出托盘2，从而，导致花篮3中的晶圆片4破损；而且，由于放置晶圆片4的花篮3是设在烘干箱5的底部，导致晶圆片在干燥过程中由于烘干箱5内底部温度与上部温度的不同，而出现干燥不均匀的问题。
实用新型内容
[0005]本实用新型的主要目的在于克服现有技术存在的上述缺点，而提供一种改进的晶圆片的烘干机，其操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提高了晶圆片稳定性。
[0006]本实用新型的目的是由以下技术方案实现的:
[0007]一种晶圆片的烘干机，包括:设在在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口 ；其特征在于:该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。
[0008]所述烘干箱内部充有热氮气。
[0009]所述花篮为圆形，且花篮悬吊的位置设在烘干箱的中部。
[0010]本实用新型的有益效果:本实用新型由于采用上述技术方案，其操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提闻了晶圆片稳定性。[0011]下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
【专利附图】
【附图说明】:
[0012]图1为现有技术结构示意图。
[0013]图2为本实用新型结构示意图。
[0014]图中主要标号说明:
[0015]1.电机，2.托盘，3.花篮，4.晶圆片，5.烘干箱，6.喷气嘴，7.出气口，8.上盖，9.排水口，10.连接杆，11.通风橱。
【具体实施方式】
[0016]如图2所示，本实用新型包括:设在烘干箱5上的电机1、设在烘干箱5中的喷气嘴6、设在烘干箱5上的上盖8、设在上盖8上的出气口 7以及设在烘干箱5底部的排水口9 ;其中，烘干箱5的上部设置一通风橱11，电机I固定在通风橱11的顶部；电机I的转轴上连接有一连接杆10，连接杆10延伸至烘干箱5内，连接杆10的端部悬吊一花篮3，花篮3的底部设置一用于放置有晶圆片4的托盘2。
[0017]上述电机I上述烘干箱5内部充有热氮气。
[0018]上述花篮3为圆形，且花篮3悬吊的位置设在烘干箱5的中部。
[0019]使用时，采用以下操作步骤:
[0020](I)将待干燥的晶圆片4按次序放置在圆形花篮3中。
[0021](2)打开热氮气烘干箱5的上盖8，将花篮3悬吊在连接杆10上，此时，花篮3处于热氮气烘干箱5的中间位置。
[0022](3)调节热氮气烘干箱5内喷气嘴6的位置，使喷气嘴6对准吊篮3中待干燥的晶圆片4。
[0023](4)合上热氮气烘干箱5的上盖8。
[0024](5)开启设在通风厨面板上的启动按钮和计时表，烘干箱开始工作，热氮喷气嘴6喷扫热氮、电机I旋转。在规定时间内装置工作完毕:热氮喷气嘴6停止喷扫、电机I停止旋转。
[0025](6)打开热氮气烘干箱5的上盖8，取出悬吊在连接杆上的花篮3。再从花篮3中取出已干燥好的晶圆片4，整个烘干过程完毕。
[0026]本实用新型由于将电机I设在烘干箱5的顶部，远离了设在烘干箱5底部的排水口 9，因此，排水口 9的排出的水绝不会喷溅到电机I上，即使烘干箱5底部其他地方有漏水的异常情况发生时，也绝不会导致电机I进水；而且，由于花篮3悬吊的位置设在烘干箱5的中部，此处的温差较小；因此，使晶圆片4在烘干箱5内的干燥更加均匀。
[0027]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【权利要求】
1.一种晶圆片的烘干机，包括:设在在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口 ；其特征在于:该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。
2.根据权利要求1所述的晶圆片的烘干机，其特征在于:所述烘干箱内部充有热氮气。
3.根据权利要求1所述的晶圆片的烘干机，其特征在于:所述花篮为圆形，且花篮悬吊的位置设在烘干箱的中部。
【文档编号】F26B7/00GK203629225SQ201320813796
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年12月11日 优先权日:2013年12月11日
【发明者】张荣勤, 罗惠英, 宋京, 丁国建, 魏文生 申请人:天津中环新光科技有限公司