迷宫加热池的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种迷宫加热池，包括由氟塑料制成或具有氟塑料层的加热池，加热池设有池盖和导流板，导流板将加热池的空腔分隔成沿加热池中心外向旋转并形成螺旋状的液体流道，加热池上设有与液体流道相通的进液接口和出液接口。本实用新型增加了热交换面积，在热交换的接触面上限定了液体的流动方向，可以使液体受热更加充分和均匀，螺旋形的迷宫通道减小了液体流动的阻力，使液体在流动的过程中完成热交换，温升时间短，能提高热效率。
【专利说明】迷宫加热池
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种迷宫加热池，属于液体加热【技术领域】。
【背景技术】
[0002]用于加热腐蚀性液体的电加热器是将电热材料设置在不锈钢套管内，不锈钢套管与电热丝之间设有金属氧化镁，在不锈钢套管外壁涂上聚四氟乙烯，虽然电加热器具有耐腐蚀性的特点，但也存在加热功率不高和维护保养不方便的缺陷。
[0003]半导体器件的化学腐蚀和清洗工艺中采用腐蚀性液体，清洗工艺需要将腐蚀性液体进行加热，但目前的加热器大都采用间歇式加热，短时间内不能使液体快速升温达到所需温度，而且维护保养不便。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种液体受热充分，温升时间短的迷宫加热池。
[0005]本实用新型进一步的目的是提供一种维护性好的的迷宫加热池。
[0006]本实用新型为达到上述目的的技术方案是:一种迷宫加热池，其特征在于:包括由氟塑料制成或具有氟塑料层的加热池，加热池设有池盖和导流板，导流板将加热池的空腔分隔成沿加热池中心外向旋转并形成螺旋状的液体流道，加热池上设有与液体流道相通的进液接口和出液接口。
[0007]本实用新型为达到上述进一步目的的技术方案是:还具有由氟塑料制成或具有氟塑料层的隔盘，隔盘上设有用于安装发热盘的安装腔，安装腔顶部具有端板，安装在隔盘上部的加热池其导流板贴合在隔盘的端板上。
[0008]其中:所述隔盘上其端板的厚度控制在0.5?5mm之间。
[0009]所述加热池设有的台阶安装面与隔盘对应的台阶面相配，加热池通过紧固件安装在隔盘上，或加热池和隔盘上设有安装孔，加热池和隔盘设置在上连接件和下连接件之间并通过紧固件连接，加热池上的导流板贴合在隔盘的端板上。
[0010]所述隔盘上设有限位槽，加热池上的限位凸块设置在隔盘的限位槽内。
[0011]所述加热池在出液接口的一侧安装有用于检测出液温度的温度传感器。
[0012]所述加热池上设有内小外大台阶形的传感器安装孔，涨套设置在加热池的传感器安装孔内，锁紧螺母旋接在传感器安装孔的大孔处并顶在涨套上，温度传感器穿在锁紧螺母的通孔和涨套的通孔内，且温度传感器的检测端设置在液体流道内，涨套的外锥面顶在传感器安装孔的台阶处，涨套夹紧温度传感器而密封。
[0013]本实用新型加热池上的导流板将加热池的空腔分隔成螺旋状的液体流道，增加了热交换面积，并在热交换的接触面上限定了液体的流动方向，可以使液体受热更加充分和均匀，螺旋形的液体流道减小了液体流动的阻力，使液体在流动的过程中完成热交换，温升时间短，提高热效率。本实用新型在加热池下部设有隔盘，使加热池的导流板能贴合在隔盘的端板上，因此使加热池具有较好维护性能，本实用新型加热池和隔盘采用抗酸、抗碱和耐高温的氟塑材料，可以用于强酸强碱之类腐蚀性液体的加热。本实用新型可通过设置在加热池上的温度传感器在线检测出液温度，通过温度传感器输出的信号能在线方便调节发热盘的功率，以精确控制被加热液体的温度。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的详细描述。
[0015]图1是本实用新型的迷宫加热池的结构示意图。
[0016]图2是图1的A-A剖视结构示意图。
[0017]其中:I一加热池，1-1 一导流板，1-2—液体流道，1-3—进液接口，1_4一传感器安装孔，1-5—出液接口，1-6一池盖,1-7一限位凸块,2一涨套,3一温度传感器，4一锁紧螺母，5—隔盘，5-1—端板，5-2—安装腔，5-3—限位槽。
【具体实施方式】
[0018]见图1、2所示，本实用新型的迷宫加热池，包括由氟塑料制成或具有氟塑料层的加热池1，加热池I上的氟塑料层设置在外周，使加热池I具有较好的耐腐蚀性能。见图2所示，本实用新型加热池I设有池盖1-6和导流板1-1，导流板1-1将加热池I的空腔分隔成沿加热池中心外向旋转并形成螺旋状的液体流道1-2，加热池I上设有与液体流道1-2相通的进液接口 1-3和出液接口 1-5，本实用新型通过在热交换接触面上限定了液体的流动方向，可以使液体受热更加充分和均匀，并能减小了液体流动的阻力，通过螺旋状的液体流道1-2对液体进行即时加热，提高加热效率，液体在流动的过程中完成热交换，能达到短时间温升的效果。
[0019]见图1、2所示，本实用新型还具有由氟塑料制成或具有氟塑料层的隔盘5，隔盘5上的氟塑料层设置在隔盘5的外周，使隔盘5具有较好的耐腐蚀性能，隔盘5上设有用于安装发热盘的安装腔5-2，安装腔5-2顶部具有端板5-1，隔盘5上的端板5-1厚度控制在
0.5?5mm之间,最好在0.8?2mm之间,加热盘安装在隔盘5的安装腔5_2内，安装在隔盘5上部的加热池I其导流板1-1贴合在隔盘5的端板5-1上，见图2所示，本实用新型加热池I设有的台阶安装面与隔盘5上对应的台阶面相配，使液体与加热盘分隔，具有较好的维护性能，本实用新型可通过紧固件加热池I安装在隔盘5上，或加热池I和隔盘3上设有安装孔，加热池I和隔盘3设置在上连接件和下连接件之间并通过紧固件连接，将加热池I与隔盘5连接。为便于安装、定位，隔盘5上设有限位槽5-3，池盖1-6上的限位凸块1-7设置在隔盘5的限位槽5-3内。
[0020]见图1所示，本实用新型加热池I在出液接口 1-5的一侧安装有用于检测出液温度的温度传感器3，温度传感器3的检测端设置在液体流道1-2内，通过温度传感器3准确检测出液温度，以方便控制发热盘的功率，调节液体的加热温度。见图1所示，本实用新型加热池I上设有内小外大台阶形的传感器安装孔1-4，涨套2设置在加热池I的传感器安装孔1-4内，锁紧螺母4旋接在传感器安装孔1-4的大孔处并顶在涨套2上，温度传感器3穿在锁紧螺母4的通孔和涨套2的通孔内，使温度传感器3的检测端位于液体流道1-2，涨套2的外锥面顶在传感器安装孔1-4的台阶处，涨套2夹紧温度传感器而密封，在锁紧螺母4旋接在传感器安装孔1-4上时，可使涨套2轴向移动，由于涨套2上的外锥面顶在传感器安装孔1-4的台阶处，能将锁紧螺母4作用在涨套2上的轴向力转为径向力，由于涨套2的变形，从而消除涨套2与温度传感器3之间的缝隙而夹紧温度传感器3，同时涨套2的外锥面也与传感器安装孔1-4的台阶处的密封，达到长期密封防渗漏的效果。
【权利要求】
1.一种迷宫加热池，其特征在于:包括由氟塑料制成或具有氟塑料层的加热池(1)，加热池(I)设有池盖(1-6)和导流板(1-1 )，导流板(1-1)将加热池(I)的空腔分隔成沿加热池中心外向旋转并形成螺旋状的液体流道(1-2)，加热池(I)上设有与液体流道(1-2)相通的进液接口( 1-3 )和出液接口( 1-5 )。
2.根据权利要求1所述的迷宫加热池，其特征在于:还具有由氟塑料制成或具有氟塑料层的隔盘(5 )，隔盘(5 )上设有用于安装发热盘的安装腔(5-2 )，安装腔(5-2 )顶部具有端板(5-1)，安装在隔盘(5)上部的加热池(I)其导流板(1-1)贴合在隔盘(5)的端板(5-1)上。
3.根据权利要求2所述的迷宫加热池，其特征在于:所述隔盘(5)上其端板(5-1)的厚度控制在0.5?5mm之间。
4.根据权利要求2所述的迷宫加热池，其特征在于:所述加热池(I)设有的台阶安装面与隔盘(3)对应的台阶面相配，加热池(I)通过紧固件安装在隔盘(3)上，或加热池(I)和隔盘(3)上设有安装孔，加热池(I)和隔盘(3)设置在上连接件和下连接件之间并通过紧固件连接，加热池(I)上的导流板(1-1)贴合在隔盘(5)的端板(5-1)上。
5.根据权利要求2所述的迷宫加热池，其特征在于:所述隔盘(5)上设有限位槽(5-3)，加热池(I)上的限位凸块(1-7)设置在隔盘的限位槽(5-3)内。
6.根据权利要求1所述的迷宫加热池，其特征在于:所述加热池(I)在出液接口(1-5)的一侧安装有用于检测出液温度的温度传感器(3 )。
7.根据权利要求6所述的迷宫加热池，其特征在于:所述加热池(I)上设有内小外大台阶形的传感器安装孔(1-4)，涨套(2)设置在加热池(I)的传感器安装孔(1-4)内，锁紧螺母(4)旋接在传感器安装孔(1-4)的大孔处并顶在涨套(2)上，温度传感器(3)穿在锁紧螺母(4)的通孔和涨套(2)的通孔内，且温度传感器(3)的检测端设置在液体流道(1-2)内，涨套(2)的外锥面顶在传感器安装孔(1-4)的台阶处，涨套(2)夹紧温度传感器(3)而密封。
【文档编号】F24H9/20GK203771663SQ201420087668
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年2月27日 优先权日:2014年2月27日
【发明者】邬治国, 于莉 申请人:常州瑞择微电子科技有限公司