废硅泥干燥处理设备的制作方法

本实用新型涉及一种利用真空微波干燥对废硅泥进行干燥处理的废硅泥干燥处理设备。

背景技术：

按，硅晶圆在被切割的过程中所产生的废硅泥，由于废硅泥中含有水及醇类(即切削油，如二乙二醇、乙二醇或聚乙二醇等)的液体成份，是极待资源化处理的事业废弃物之一，大多数的硅晶圆制造厂的废硅泥大都系交给废弃物处理公司将的运至处理厂再做处理，处理费用较高，而现有欲将废硅泥中的水及切削油分离出，大都系采挤压方式将废硅泥中的水及切削油予以挤压出，但以挤压方式将切削油由废硅泥中挤压出的量极为有限，一般处理后的废硅泥中其含醇量仍有50％，且废硅泥处理后的体积仍很大，对环境易造成污染，又废硅泥中的残留醇类会产生氧化，而有燃烧的危险。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的，是在提供一种废硅泥干燥处理设备，可有效解决现有废硅泥处理所存在的缺失。

本实用新型的废硅泥干燥处理设备，设有一真空炉，该真空炉上设有一入料斗，该入料斗内设有一上阀门及一下阀门，该真空炉的底部设有一落料口，该落料口处设有落料座，该落料座内设有一上阀门及一下阀门，该入料斗内的上阀门及下阀门与该落料座内的上阀门及下阀门由控制装置来控制启、闭，该真空炉的底部另设有集油槽，该真空炉上设有真空泵，该真空炉的外壁面上设有微波加热装置，该微波加热装置等距设有数个微波加热单元，该真空炉的内部设有一输送装置，该输送装置设有一输送带，该输送带具有可挠性，该输送带上设有数个承置槽，该输送带由至少二传动轴所带动，一集油装置连接至该真空炉。

本实用新型的废硅泥干燥处理设备，其中，该输送装置的输送带由玻璃纤维编织带所制成。

本实用新型的废硅泥干燥处理设备，其中，该输送带的下方设有一刷除刀，该刷除刀由玻璃纤维编织带所制成，该刮除刀具有可挠性。

本实用新型的废硅泥干燥处理设备，其中，该真空炉的内壁面设有一刮油装置，该刮油装置设有二连杆，该二连杆分别设于该真空炉内的二侧壁上，该二连杆之间设有由玻璃纤维编织带所制成的刮油刀，该刮油刀贴靠在该真空炉的内炉壁上。

本实用新型的废硅泥干燥处理设备，其中，该集油装置通过一导管连接至该真空炉的集油槽，该导管另连接至一冷凝器，该冷凝器通过另一导管连接至一储油槽，该储油槽上设有抽气泵。

本实用新型的废硅泥干燥处理设备，其优点是在：

1.在负压状态下对废硅泥进行微波干燥，可将废硅泥中的醇类(切削油)和硅泥分离，可回收切削油和得到废硅泥干渣。

2.以输送带输送，可连续干燥，可大幅缩短干燥时间，且干燥效果极佳。

3.利用微波干燥，使废硅泥内部因负压而得以持续加热，加热干燥速度快速。

4.真空炉的入料斗与落料座内均采双阀门的设计，具有高气密性，无须破真空即可进行入料或排除真空炉内的废硅泥干渣。

5.可大幅缩减废硅泥干渣的体积，并可减少废硅泥回收成本，而回收的醇类可再利用，极具环保效益。

附图说明

图1是本实用新型实施例的立体图。

图2是本实用新型实施例的平面示意图。

图3是本实用新型实施例的侧视图。

图4是本实用新型实施例落料时的使用示意图。

附图标记说明：A废硅泥；A1废硅泥干渣；1真空炉；10入料斗；100上阀门；101下阀门；11落料口；12落料座；120上阀门；121下阀门；13集油槽；14真空泵；2微波加热装置；20微波加热单元；3输送装置；30输送带；300承置槽；31传动轴；32刷除刀；4刮油装置；40连杆；41刮油刀；5集油装置；50导管；51冷凝器；52另一导管；53储油槽；54抽气泵。

具体实施方式

有关本实用新型为达上述的使用目的与功效，所采用的技术手段，兹举出较佳可行的实施例，并配合图式所示，详述如下：

本实用新型的实施例，请参阅图1、图2、图3所示，主要设有一真空炉1，该真空炉1上设有一入料斗10，该入料斗10的上方设有一上阀门100，该入料斗10的下方设有一下阀门101，该真空炉1的底部设有一落料口11，该落料口11处设有落料座12，该落料座12内设有一上阀门120及一下阀门121，该入料斗10内的上阀门100及下阀门101与该落料座12内的上阀门120及下阀门121由控制装置(图中未示)来控制启、闭，该真空炉1底部位于落料口11的周围设有集油槽13，该真空炉1上设有真空泵14，该真空炉1的外壁面上设有微波加热装置2，该微波加热装置2等距设有数个微波加热单元20，该真空炉1的内部设有一输送装置3，该输送装置3设有由玻璃纤维编织带所制成的输送带30，该输送带30具有可挠性，该输送带30上设有数个承置槽300，该输送带30由至少二传动轴31所带动，该输送带30的下方设有一刷除刀32，该刷除刀32由玻璃纤维编织带所制成，该刷除刀32具有可挠性，该真空炉1的内壁面设有一刮油装置4，该刮油装置4设有二连杆40，该二连杆40分别设于该真空炉1内的二侧壁上，该二连杆40之间设有由玻璃纤维编织带所制成的刮油刀41，该刮油刀41贴靠于该真空炉1的内炉壁上，一集油装置5连接至该真空炉1的集油槽13，该集油装置5设有一导管50连接至该真空炉1的集油槽13，该导管50另连接至一冷凝器51，该冷凝器51设有另一导管52连接至一储油槽53，该储油槽53上设有抽气泵54，如此，即为一废硅泥干燥处理设备。

使用时，请参阅图1～图4所示，首先，由控制装置(图中未示)的控制开启入料斗10上方的上阀门100，将欲干燥的废硅泥A置入真空炉1的入料斗10内，当废硅泥A置入入料斗10后，由控制装置的控制将上阀门100予以关闭，再将下阀门101予以开启，入料斗10内的废硅泥A则向下落入于真空炉1内的输送带30的承置槽300内，使定量的废硅泥A落至输送带30的承置槽300内，再将下阀门101予以关闭，入料斗10的上阀门100及下阀门101可由控制装置来控制其启、闭，另凭借真空泵14将真空炉1内抽真空，而真空炉1内的输送装置3的传动轮31则由传动机构(图中未示)带动而转动并带动输送带30移动，输送带30则将废硅泥A输送至对应于微波加热装置2的位置，凭借微波加 热单元20的微波震荡来对输送带30上的废硅泥A进行微波加热，使废硅泥A中的含醇类受热蒸发为气态油气，凭借集油装置5的抽气泵54作动，由连接于集油槽13的导管50将真空炉1内部的油气予以抽吸出，高温的油气经由冷凝器51冷凝为可回收再利用的切削油，再由另一导管52将切削油导引至储油槽53内储存，而真空炉1内的部分油气接触到真空炉1的炉壁时，则会沿着炉壁向下滴落至真空炉1底部的集油槽13内，同样由导管50、冷凝器51及另一导管52导引至储油槽53内储存，而被微波干燥后的废硅泥干渣A1则由输送带30的输送落至真空炉1底部的落料口11，并堆积于落料座12内，待废硅泥干渣A1累积至一定数量时，落料座12内的上阀门120则由控制装置的控制打开，使废硅泥干渣A1落至落料座12的底部，再将落料座12内的上阀门120关闭(如图4所示)，另打开落料座12内的下阀门121，使落料座12底部的废硅泥干渣A1向下掉落而排出真空炉1内，本实用新型凭借于真空炉1上的入料斗10与落料座12内均设有上阀门100、120及下阀门101、121，使废硅泥A在置入于真空炉1内或将真空炉1内的废硅泥干渣A1排出时，均无须破真空，在进行干燥的操作使用上可大幅缩短时间。

本实用新型置于输送带30的承置槽300内经干燥后的废硅泥干渣A1在输送带30向下旋移后而落至落料座12内，而部分的废硅泥干渣A1则会附着在输送带30上未完全掉落，本实用新型于输送带30下方设有刷除刀32，凭借该刷除刀32贴靠于输送带30上转动，可将附着在输送带30上的废硅泥干渣A1予以刷除，不会累积在输送带30上。

本实用新型真空炉1长时间使用后，其废硅泥A中的醇类被加热蒸发而接触到内炉壁，其内炉壁会累积油渍，为防止太多油渍累积而向下滴落回干燥中的废硅泥干渣A1上，故于真空炉1内设置有刮油装置4，若欲将真空炉1的内炉壁上的油渍刮除，则仅须以传动机构(图中未示)带动设于真空炉1的二侧壁内的二连杆40旋移，二连杆40则连动刮油刀41随之旋移，凭借括油刀41贴靠于内炉壁上旋移即可将真空炉1的内炉壁上的油渍刮除，油渍则可沿着内炉壁向下滴流至集油槽13内，再由集油装置5将集油槽13内的油气及油渍抽吸、冷凝储存至储油槽53内，如此，可增长真空炉1的使用寿命，且可防止油渍回滴至干燥后的废硅泥干渣A1上，可达到最佳的干燥效果。

综上所述，本实用新型确实已达到所预期的使用目的与功效，且更较现有者为的理想、实用，然而，上述实施例仅系针对本实用新型的较佳实施例进行 具体说明而已，此实施例并非用以限定本实用新型的申请专利范围，举凡其它未脱离本实用新型所揭示的技术手段下所完成的均等变化与修饰，均应包含于本实用新型所涵盖的保护范围中。