一种键合丝逆向热风吹干装置的制作方法

文档序号:31480398发布日期:2022-09-10 01:46阅读:38来源:国知局
一种键合丝逆向热风吹干装置的制作方法

1.本实用新型涉及键合丝清洗技术领域,尤其涉及一种键合丝逆向热风吹干装置。


背景技术:

2.键合丝是一种用于集成电路的金属丝,键合丝在退火后要通过退火液进行冷却处理,然而退火处理后附在键合丝表面的退火液有时不能及时挥发掉,从而使得键合丝在后续的使用中会出现粘线现象,导致键合丝放线不顺畅,严重影响集成电路的生产效率,现行的办法是将整卷线放入烘箱中烘烤12小时以上,才能进行下一道工序生产,不仅耗时久,退火液蒸发后,退火液中的残渣残留在键合丝上也会影响键合丝的正常使用。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的传统的键合丝干燥装置使用时不仅耗时久,还不能够及时对键合丝表面进行清洁的缺点,而提出的一种键合丝逆向热风吹干装置。
4.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
5.一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀,所述环形气刀内同轴开设有环形槽,所述环形槽槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管,每根所述水平均气管的一端均贯穿环形气刀的侧壁并延伸至环形气刀外,且环形气刀内开设有多个与水平均气管密封滑动连接的孔洞,多根所述水平均气管位于环形气刀外的部分上共同固定套设有活动块,所述活动块中部水平贯穿开设有通孔,所述环形槽内设有与水平均气管配合的往复机构,所述通孔内设有清洁机构。
6.在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述环形气刀中部同水平开设有与通孔对应的通道,且通道的水平中轴线与通孔的水平中轴线重合。
7.在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述环形槽槽壁与外界之间连通设有进风管,所述进风管远离环形槽的一端与外界热风装置连通。
8.在上述键合丝逆向热风吹干装置中,每根所述水平均气管远离环形槽的一端均固定连通设有斜管,每根所述斜管远离水平均气管的一端均朝向通孔的水平中轴线。
9.在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述往复机构包括环形槽槽壁上固定连接的多个与水平均气管正对的电磁铁,每根所述水平均气管位于环形槽内端口上均固定套设有永磁环,且永磁环与电磁铁相对的侧面同极相对,每个所述电磁铁的输入端均通过导线与外界直流脉冲电源输出端电性连接,每个所述永磁环和对应电磁铁之间均设有复位弹簧。
10.在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述清洁机构包括活动块内开设的多个安装槽,每个所述安装槽内均滑动连接有滑块,每个所述滑块远离通孔的侧面与对应安装槽槽壁之间均设有限位弹簧,每个所述滑块远离对应限位弹簧的一端均延伸至通孔内并固定连接有海绵块。
11.与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
12.1、本实用新型中,外界热风装置内的热风经过进风管、水平均气管、斜管吹向键合丝,从而可以逆向对键合丝进行风干,退完火的产品可以即时进入下一道工序生产,极大的提高了生产效率,缩短生产周期。
13.2、本实用新型中,通过设置往复机构和清洁机构,在对键合丝进行风干的同时,能够往复的带动海绵块对键合丝进行摩擦,既能够避免退火液中的残渣吸附在键合丝上,又能够进一步的对键合丝进行除水,避免退火液蒸发后的水汽吸附在键合丝上,风干质量更好。
附图说明
14.图1为本实用新型提出的一种键合丝逆向热风吹干装置的结构示意图;
15.图2为图1中a处的放大图。
16.图中:1环形气刀、2环形槽、3进风管、4水平均气管、5活动块、6斜管、7永磁环、8电磁铁、9复位弹簧、10通道、11通孔、12安装槽、13滑块、14限位弹簧、15连杆、16海绵块。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
18.参照图1-2,一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀1,环形气刀1内同轴开设有环形槽2,环形槽2槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管4,每根水平均气管4的一端均贯穿环形气刀1的侧壁并延伸至环形气刀1外,且环形气刀1内开设有多个与水平均气管4密封滑动连接的孔洞,多根水平均气管4位于环形气刀1外的部分上共同固定套设有活动块5,活动块5中部水平贯穿开设有通孔11,环形槽2内设有与水平均气管4配合的往复机构,通孔11内设有清洁机构。
19.环形气刀1中部同水平开设有与通孔11对应的通道10,且通道10的水平中轴线与通孔11的水平中轴线重合。
20.环形槽2槽壁与外界之间连通设有进风管3,进风管3远离环形槽2的一端与外界热风装置连通,外界热风装置通过进风管3向环形槽2内注入热风。
21.每根水平均气管4远离环形槽2的一端均固定连通设有斜管6,每根斜管6远离水平均气管4的一端均朝向通孔11的水平中轴线,从而可以直接将热风吹向键合丝。
22.往复机构包括环形槽2槽壁上固定连接的多个与水平均气管4正对的电磁铁8,每根水平均气管4位于环形槽2内端口上均固定套设有永磁环7,且永磁环7与电磁铁8相对的侧面同极相对,即永磁环7和电磁铁8同极相斥,每个电磁铁8的输入端均通过导线与外界直流脉冲电源输出端电性连接,每个永磁环7和对应电磁铁8之间均设有复位弹簧9。
23.清洁机构包括活动块5内开设的多个安装槽12,每个安装槽12内均滑动连接有滑块13,每个滑块13远离通孔11的侧面与对应安装槽12槽壁之间均设有限位弹簧14,每个滑块13远离对应限位弹簧14的一端均延伸至通孔11内并固定连接有海绵块16。
24.本实用新型可通过以下操作方式阐述其功能原理:首先将键合丝依次穿过通孔11和通道10,如图1所示,键合丝由右至左移动,外界热风装置内的热风经过进风管3、水平均
气管4、斜管6吹向键合丝,从而可以逆向对键合丝进行风干,相较于同向风干,热风风干时间长,风干质量高,且退完火的键合丝可以即时进入下一道工序生产,极大的提高了生产效率,缩短生产周期;
25.开启外界直流脉冲电源,外界直流脉冲电源间歇向多个电磁铁8通入直流电流,当电磁铁8通电时,电磁铁8激发磁场,在电磁铁8和永磁环7之间磁性斥力作用下,多个永磁环7共同带动多根水平均气管4向着远离电磁铁8的方向移动,随着永磁环7的运动,永磁环7带动对应的复位弹簧9拉伸蓄能,与此同时,多根水平均气管4共同带动活动块5沿水平方向逆向移动,活动块5内的多个海绵块16可以对键合丝进行摩擦清洁,既能够避免退火液中的残渣吸附在键合丝上,又能够进一步的对键合丝进行除水,避免退火液蒸发后的水汽吸附在键合丝上,风干质量更好,当电磁铁8断电后,在对应复位弹簧9的弹力作用下,多根水平均气管4带动活动块5复位,如此往复。
26.以上,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:
1.一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀(1),其特征在于,所述环形气刀(1)内同轴开设有环形槽(2),所述环形槽(2)槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管(4),每根所述水平均气管(4)的一端均贯穿环形气刀(1)的侧壁并延伸至环形气刀(1)外,且环形气刀(1)内开设有多个与水平均气管(4)密封滑动连接的孔洞,多根所述水平均气管(4)位于环形气刀(1)外的部分上共同固定套设有活动块(5),所述活动块(5)中部水平贯穿开设有通孔(11),所述环形槽(2)内设有与水平均气管(4)配合的往复机构,所述通孔(11)内设有清洁机构。2.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述环形气刀(1)中部同水平开设有与通孔(11)对应的通道(10),且通道(10)的水平中轴线与通孔(11)的水平中轴线重合。3.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述环形槽(2)槽壁与外界之间连通设有进风管(3),所述进风管(3)远离环形槽(2)的一端与外界热风装置连通。4.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,每根所述水平均气管(4)远离环形槽(2)的一端均固定连通设有斜管(6),每根所述斜管(6)远离水平均气管(4)的一端均朝向通孔(11)的水平中轴线。5.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述往复机构包括环形槽(2)槽壁上固定连接的多个与水平均气管(4)正对的电磁铁(8),每根所述水平均气管(4)位于环形槽(2)内端口上均固定套设有永磁环(7),且永磁环(7)与电磁铁(8)相对的侧面同极相对,每个所述电磁铁(8)的输入端均通过导线与外界直流脉冲电源输出端电性连接,每个所述永磁环(7)和对应电磁铁(8)之间均设有复位弹簧(9)。6.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述清洁机构包括活动块(5)内开设的多个安装槽(12),每个所述安装槽(12)内均滑动连接有滑块(13),每个所述滑块(13)远离通孔(11)的侧面与对应安装槽(12)槽壁之间均设有限位弹簧(14),每个所述滑块(13)远离对应限位弹簧(14)的一端均延伸至通孔(11)内并固定连接有海绵块(16)。

技术总结
本实用新型公开了一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀,所述环形气刀内同轴开设有环形槽,所述环形槽槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管,每根所述水平均气管的一端均贯穿环形气刀的侧壁并延伸至环形气刀外,且环形气刀内开设有多个与水平均气管密封滑动连接的孔洞,多根所述水平均气管位于环形气刀外的部分上共同固定套设有活动块,所述活动块中部水平贯穿开设有通孔,所述环形槽内设有与水平均气管配合的往复机构。本实用新型中,外界热风装置内的热风经过进风管、水平均气管、斜管吹向键合丝,从而可以逆向对键合丝进行风干,退完火的产品可以即时进入下一道工序生产,极大的提高了生产效率,缩短生产周期。缩短生产周期。缩短生产周期。


技术研发人员:李天祥 张贺源
受保护的技术使用者:深圳金斯达半导体材料有限公司
技术研发日:2022.01.07
技术公布日:2022/9/9
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