一种半导体芯片生产用的石墨坩埚的制作方法

本技术涉及石墨坩埚，更具体地说，涉及一种均匀受热且易倾倒溶液的石墨坩埚。

背景技术：

1、现有技术中，石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸、碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性。在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼，并有着较好的技术经济效果，在现实操作中，石墨坩埚设计比较单一，坩埚内的物质主要依靠坩埚壳体的导热进行溶解，坩埚腔体内的外围物质相对受热较快，中心位置受热慢，溶解速度不均匀，并且坩埚一般为u型体顶部为开口设计，加热中坩埚内的保温效果不佳，并且溶解后倾倒溶液操作不方便。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片生产用的石墨坩埚，以解决背景技术中所提到的技术问题。

2、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

3、一种半导体芯片生产用的石墨坩埚，包括坩埚壳体，所述坩埚壳体外侧设置有支撑架，支撑架上开设有通孔，通孔内转动连接有第一转动杆，第一转动杆的右侧穿过通孔轴向固定连接在坩埚壳体外侧，坩埚壳体右侧外壁沿第一转动杆的轴向方向固定有第二转动杆，第二转动杆右侧轴向转动连接在支撑架上，支撑架上端设置有可沿竖向方向滑动连接的门型支架，门型支架上设置有电机，电机的底部输出端轴向固定有转轴，转轴的底部设置有多组搅拌叶片，坩埚壳体内设有坩埚腔体，搅拌叶片位于坩埚腔体内，坩埚壳体的顶部开口的一侧设置有引流嘴，引流嘴与坩埚腔体连通，且坩埚壳体的开口上可拆卸连接有保温盖，支撑架的侧壁上设置有底座，底座上固定连接有液压臂，液压臂上部的伸缩端设置有安装板，安装板固定连接在门型支架外壁上，液压臂在门型支架左右两侧对称设置，液压臂外部连接有控制器，支撑架下端固定有支撑梁。

4、优选的是，所述保温盖包括左盖体和右盖体，左盖体的右端面设置有凹槽，右盖体的左端面设置有凸块，凸块插接到凹槽内。

5、在上述任一方案中优选的是，所述左盖体和所述右盖体对应所述转轴的位置开设有孔洞，转轴的底端穿过孔洞。

6、在上述任一方案中优选的是，所述两组保温盖上侧分别设置有拉环。

7、在上述任一方案中优选的是，所述保温盖上设置有若干排气孔。

8、在上述任一方案中优选的是，所述坩埚壳体设置有抗氧化涂层，抗氧化涂层以金属硅粉为主要原料。

9、在上述任一方案中优选的是，所述转轴和搅拌叶片分别为钨钢材质。

10、在上述任一方案中优选的是，所述转动杆左侧设置有手摇把，手摇把固定在转动杆上，手摇把表面设置有防滑层。

11、在上述任一方案中优选的是，所述支撑架底端固定有制动万向轮。

12、在上述任一方案中优选的是，所述坩埚腔体内设置有刻度线，刻度线固定在坩埚腔体右侧内壁上。

13、相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

14、本实用新型中半导体芯片生产用的石墨坩埚的设计，坩埚壳体外侧设置有支撑架，支撑架上开设有通孔，第一转动杆的右侧穿过通孔轴向固定连接在坩埚壳体外侧，坩埚壳体右侧外壁沿第一转动杆的轴向方向固定有第二转动杆，支撑架上端设置有可沿竖向方向滑动连接的门型支架，门型支架上设置有电机，电机的底部输出端轴向固定有转轴，转轴的底部设置有多组搅拌叶片，搅拌叶片位于坩埚腔体内，坩埚壳体的顶部开口的一侧设置有引流嘴，且坩埚壳体的开口上可拆卸连接有保温盖，支撑架的侧壁上设置有底座，底座上固定连接有液压臂，安装板固定连接在门型支架外壁上，支撑架下端固定有支撑梁，搅拌叶片的设计让加热初期坩埚内容物通过搅拌受热均匀，从而使内容物快速液化，然后加工完成后通过引流嘴倾倒出来，保温盖可以增加坩埚的保温性，减少热量流失，支撑架兼具控制倾倒溶液角度，调整坩埚位置的多重功能，并且在倒出溶液时操作更方便更安全。

技术特征：

1.一种半导体芯片生产用的石墨坩埚，包括坩埚壳体，其特征在于：所述坩埚壳体外侧设置有支撑架，支撑架上开设有通孔，通孔内转动连接有第一转动杆，第一转动杆的右侧穿过通孔轴向固定连接在坩埚壳体外侧，坩埚壳体右侧外壁沿第一转动杆的轴向方向固定有第二转动杆，第二转动杆右侧轴向转动连接在支撑架上，支撑架上端设置有可沿竖向方向滑动连接的门型支架，门型支架上设置有电机，电机的底部输出端轴向固定有转轴，转轴的底部设置有多组搅拌叶片，坩埚壳体内设有坩埚腔体，搅拌叶片位于坩埚腔体内，坩埚壳体的顶部开口的一侧设置有引流嘴，引流嘴与坩埚腔体连通，且坩埚壳体的开口上可拆卸连接有保温盖，支撑架的侧壁上设置有底座，底座上设置有液压臂，液压臂上部的伸缩端固定有安装板，安装板固定连接在门型支架外壁上，液压臂在门型支架左右两侧对称设置，液压臂外部连接有控制器，支撑架下端固定有支撑梁。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述保温盖包括左盖体和右盖体，左盖体的右端面设置有凹槽，右盖体的左端面设置有凸块，凸块插接到凹槽内。

3.根据权利要求2所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述左盖体和所述右盖体对应所述转轴的位置开设有孔洞，转轴的底端穿过孔洞。

4.根据权利要求2所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述两组保温盖上侧分别设置有拉环。

5.根据权利要求2所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述保温盖上设置有若干排气孔。

6.根据权利要求1所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚壳体设置有抗氧化涂层，抗氧化涂层以金属硅粉为主要原料。

7.根据权利要求1所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述转轴和搅拌叶片分别为钨钢材质。

8.根据权利要求1所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述转动杆左侧设置有手摇把，手摇把固定在转动杆上，手摇把表面设置有防滑层。

9.根据权利要求1所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述支撑架底端固定有制动万向轮。

10.根据权利要求1所述的半导体芯片生产用的石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚腔体内设置有刻度线，刻度线固定在坩埚腔体右侧内壁上。

技术总结
本技术涉及一种半导体芯片生产用的石墨坩埚，包括坩埚壳体,所述坩埚壳体外侧设置有支撑架，支撑架上开设有通孔，第一转动杆的右侧穿过通孔轴向固定连接在坩埚壳体外侧，坩埚壳体右侧外壁沿第一转动杆的轴向方向固定有第二转动杆，支撑架上端设置有可沿竖向方向滑动连接的门型支架，门型支架上设置有电机，电机的底部输出端轴向固定有转轴，转轴的底部设置有多组搅拌叶片，坩埚壳体的顶部开口的一侧设置有引流嘴，且坩埚壳体的开口上可拆卸连接有保温盖，支撑架的侧壁上设置有底座，底座上固定连接有液压臂，安装板固定连接在门型支架外壁上，该设计可使石墨坩埚内的溶液受热均匀，增加坩埚的保温性，减少热量流失，提高溶解速度，并且在倒出溶液时操作更方便更安全。

技术研发人员：葛雷,孙浩博
受保护的技术使用者：丹东华顺电子有限公司
技术研发日：20220614
技术公布日：2024/1/12