一种CVR双温区反应烧结装置的制作方法

一种cvr双温区反应烧结装置
技术领域
1.本实用新型涉及种烧结设备技术领域，具体为一种cvr双温区反应烧结装置。


背景技术：

2.真空系统包括分子泵、维持泵和螺杆式干泵组成，采用石墨加热元件及石墨硬毡和软毡隔热材料，分成上下2个完整的加热区并由双层不锈钢增压筒支撑，整个热区置于一个用碳钢制成的并由底部升降开门的双层炉壳内，由两台磁性调压器分别供电给两个温区的加热元件。炉子的所有功能由plc控制。一个带计算机显示屏，一个用于使炉子执行升温和保温工艺的温度程序器/控制器，一些真空仪表形成操作界面。
3.但是现有的cvr双温区反应烧结设备，存在真空密封罐密封不严，以及装置内部会出现温度变化过大导致设备内部出现故障影响设备的运行，基于此我们对市面上现有的cvr双温区反应烧结设备进行了优化处理。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种cvr双温区反应烧结装置，以解决上述背景技术中问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种cvr双温区反应烧结装置，包括冷凝罐主体，所述冷凝罐主体固定连接有排气管固定垫片，所述排气管固定垫片固定连接进气口，所述进气口固定连接进气管固定片，所述进气管固定片固定与固定收纳舱连接，所述固定收纳舱固定连接石墨接电层，所述石墨接电层与接电箱紧密贴合，所述进气口固定连接反应罐保护层，所述反应罐保护层固定连接有方形静压石墨，所述方形静压石墨固定连接氧气进气口，所述冷凝罐主体固定连接氧气进气口，所述氧气进气口固定连接固定垫片层，所述固定垫片层与石墨固定夹扣连接，所述石墨固定夹扣与宽条式石墨加热元件固定连接，所述宽条式石墨加热元件与固定限位架块固定连接，所述宽条式石墨加热元件固定连接水汽进气口，所述水汽进气口固定连接自动伸缩开关，所述自动伸缩开关固定与进气管相连，所述进气管固定连接反应舱，所述排气管固定垫片与排气管固定相连。
6.进一步的，所述进气管固定片的后置面与固定收纳舱的前置固定连接，所述固定收纳舱的上侧外表面固定与石墨接电层的下端连接。
7.进一步的，所述方形静压石墨的后置端固定与氧气进气口的前置表面连接，所述氧气进气口的后置位表面与固定垫片层的前置面固定连接。
8.进一步的，所述石墨固定夹扣下侧表面固定与宽条式石墨加热元件前置面，所述宽条式石墨加热元件前置表面固定连接上层保护架前置面。
9.进一步的，所述自动伸缩开关前置面固定连接进气管后置面。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该cvr双温区反应烧结设备，通过在装置内部设置的上下两组方形等静压石墨制成的石墨密封罐以及在装备内部设置的宽条式石墨加热元件完全围绕加热区域并均匀分布，对上下温区的工件提供最佳的热传导，避
免装置内部出现受热不均的问题，而在装置内部设置的上下两组方形等静压石墨制成的石墨密封罐能够有效防止渗硅工艺过程中，氧化硅蒸汽挥发至加热区外围区域，极大的提高了装置的实用性。
附图说明
11.图1为本方案整体示意图；
12.图2为本方案正视剖面的结构示意图；
13.图3为本方案正视图；
14.图4为本方案俯视图；
15.图中：1冷凝罐主体、2排气管固定垫片、3反应罐保护层、4氧气进气口、5石墨固定夹扣、6宽条式石墨加热元件、7自动伸缩开关、8反应舱、9上层保护架、10排气管、11进气管固定片、12进气口、13固定垫片层、14水汽进气口、15进气管、16固定限位架块、17接电箱、18方形静压石墨、19石墨接电层、20固定收纳舱。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种cvr双温区反应烧结装置，包括冷凝罐主体1，所述冷凝罐主体1固定连接有排气管固定垫片2，所述排气管固定垫片2固定连接进气口12，所述进气口12固定连接进气管固定片11，所述进气管固定片11固定与固定收纳舱20连接，所述固定收纳舱20固定连接石墨接电层19，所述石墨接电层19与7接电箱17紧密贴合，所述进气口12固定连接反应罐保护层3，所述反应罐保护层3固定连接有方形静压石墨18，所述方形静压石墨18固定连接氧气进气口4，所述冷凝罐主体1固定连接氧气进气口4，所述氧气进气口4固定连接固定垫片层13，所述固定垫片层13与石墨固定夹扣5连接，所述石墨固定夹扣5与宽条式石墨加热元件6固定连接，所述宽条式石墨加热元件6与固定限位架块16固定连接，所述宽条式石墨加热元件6固定连接水汽进气口14，所述水汽进气口14固定连接自动伸缩开关7，所述自动伸缩开关7固定与进气管15相连，所述进气管15固定连接反应舱8，所述排气管固定垫片2与排气管10固定相连。
18.优选的，所述进气管固定片11的后置面与固定收纳舱20的前置固定连接，所述固定收纳舱20的上侧外表面固定与石墨接电层19的下端连接。
19.优选的，所述方形静压石墨18的后置端固定与氧气进气口4的前置表面连接，所述氧气进气口4的后置位表面与固定垫片层13的前置面固定连接。
20.优选的，所述石墨固定夹扣5下侧表面固定与宽条式石墨加热元件6前置面，所述宽条式石墨加热元件6前置表面固定连接上层保护架9前置面。
21.优选的，所述自动伸缩开关7前置面固定连接进气管15后置面。
22.工作原理：当该cvr双温区反应烧结设备在使用时，首先将装置安装所需使用的区域，当装置开始使用时，由进气口12输入气体，经过氧气进气口4、水汽进气口14进入反应舱
8内部，同时控制自动伸缩开关7打开装置，将材料由自动伸缩开关7置入反应舱8内部，1开始冷凝水汽由进气管15进入反应舱8，在宽条式石墨加热元件6的作用下开始反应，以上便是该cvr双温区反应烧结设备全部运行的过程。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种cvr双温区反应烧结装置，包括冷凝罐主体(1)，其特征在于：所述冷凝罐主体(1)固定连接有排气管固定垫片(2)，所述排气管固定垫片(2)固定连接进气口(12)，所述进气口(12)固定连接进气管固定片(11)，所述进气管固定片(11)固定与固定收纳舱(20)连接，所述固定收纳舱(20)固定连接石墨接电层(19)，所述石墨接电层(19)与7接电箱(17)紧密贴合，所述进气口(12)固定连接反应罐保护层(3)，所述反应罐保护层(3)固定连接有方形静压石墨(18)，所述方形静压石墨(18)固定连接氧气进气口(4)，所述冷凝罐主体(1)固定连接氧气进气口(4)，所述氧气进气口(4)固定连接固定垫片层(13)，所述固定垫片层(13)与石墨固定夹扣(5)连接，所述石墨固定夹扣(5)与宽条式石墨加热元件(6)固定连接，所述宽条式石墨加热元件(6)与固定限位架块(16)固定连接，所述宽条式石墨加热元件(6)固定连接水汽进气口(14)，所述水汽进气口(14)固定连接自动伸缩开关(7)，所述自动伸缩开关(7)固定与进气管(15)相连，所述进气管(15)固定连接反应舱(8)，所述排气管固定垫片(2)与排气管(10)固定相连。2.根据权利要求1所述的一种cvr双温区反应烧结装置，其特征在于：所述进气管固定片(11)的后置面与固定收纳舱(20)的前置固定连接，所述固定收纳舱(20)的上侧外表面固定与石墨接电层(19)的下端连接。3.根据权利要求1所述的一种cvr双温区反应烧结装置，其特征在于：所述方形静压石墨(18)的后置端固定与氧气进气口(4)的前置表面连接，所述氧气进气口(4)的后置位表面与固定垫片层(13)的前置面固定连接。4.根据权利要求1所述的一种cvr双温区反应烧结装置，其特征在于：所述石墨固定夹扣(5)下侧表面固定与宽条式石墨加热元件(6)前置面，所述宽条式石墨加热元件(6)前置表面固定连接上层保护架(9)前置面。5.根据权利要求1所述的一种cvr双温区反应烧结装置，其特征在于：所述自动伸缩开关(7)前置面固定连接进气管(15)后置面。

技术总结
本实用新型公开了一种CVR双温区反应烧结装置，包括冷凝罐主体，所述冷凝罐主体固定连接有排气管固定垫片，所述排气管固定垫片固定连接进气口，所述进气口固定连接进气管固定片，所述进气管固定片固定与固定收纳舱连接，所述固定收纳舱固定连接石墨接电层，所述石墨接电层与接电箱紧密贴合，所述进气口固定连接反应罐保护层，通过在装置内部设置的上下两组方形等静压石墨制成的石墨密封罐以及在装备内部设置的宽条式石墨加热元件完全围绕加热区域并均匀分布，对上下温区的工件提供最佳的热传导，避免装置内部出现受热不均的问题。避免装置内部出现受热不均的问题。避免装置内部出现受热不均的问题。


技术研发人员：张上荣 林嵘
受保护的技术使用者：上海钜晶精密仪器制造有限公司
技术研发日：2022.10.09
技术公布日：2023/2/2