一种碳化硅基模板的热处理装置的制作方法

本技术涉及一种热处理装置，具体是一种碳化硅基模板的热处理装置。

背景技术：

1、公开号为cn215896320u中国专利公开了一种碳化硅基模板的热处理装置，热处理时，两片碳化硅基模板以外延面面对面的方式叠放于容器内，覆盖片叠放于碳化硅基模板的背面。进行批量热处理时，使用两个或两个以上的多个容器以及与各容器一一匹配的覆盖片，所有容器进行通过定位台阶进行两两搭接，实现碳化硅基模板的批量热处理。本实用新型的装置适用所有碳化硅基模板热处理，抑制了碳化硅基模板的分解，使碳化硅基模板温度分布均匀，且实现了碳化硅基模板批量热处理，提高薄膜的结晶性能、降低表面粗糙度的作用。

2、针对现有技术存在以下问题：

3、碳化硅基模板的热处理装置在使用时，现有的碳化硅基模板的热处理装置不能够对碳化硅基模板进行均匀的加热；碳化硅基模板的热处理装置在使用时，现有的碳化硅基模板的热处理装置不便于拿取。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种碳化硅基模板的热处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

3、一种碳化硅基模板的热处理装置，包括支撑柱，所述支撑柱的上表面固定连接有工作箱，所述工作箱的左侧固定安装有密封门，所述工作箱的内腔固定安装有移动装置。

4、所述工作箱的内腔固定连接有保温层，所述工作箱的内腔顶部固定连接有加热板二，所述工作箱的内腔底部固定连接有加热板一，所述工作箱的内腔且位于加热板一的上方固定连接有固定板。

5、所述移动装置包括电机，所述电机的背面与固定板的内腔固定连接，所述电机的外壁固定套接有齿轮，所述齿轮的外壁与工作箱的内腔活动套接，所述齿轮的下表面搭接有齿板，所述齿板的下表面固定连接有移动板。

6、本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述固定板的上表面固定连接有连接板，所述连接板的右侧与工作箱的内腔固定连接。

7、本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述连接板的上表面固定连接有滑杆，所述滑杆的右侧与工作箱的内腔固定连接。

8、本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述移动板的外壁与工作箱的内腔活动套接，所述移动板的背面与固定板的正面搭接。

9、本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述移动板的内腔与滑杆的外壁活动套接，所述移动板的内腔与连接板的外壁活动套接。

10、本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述移动板的上表面固定连接有限位板，所述移动板的上表面且位于限位板的右侧搭接有碳化硅基模板。

11、由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：

12、1、本实用新型提供一种碳化硅基模板的热处理装置，采用固定板、加热板一、连接板、滑杆、加热板二、保温层、移动板、限位板、碳化硅基模板、工作箱之间的相互配合，通过保温层的作用，使工作箱的内腔在工作时能够保持一定的温度，通过固定板的作用，使连接板和滑杆固定在工作箱的内腔中，通过固定板的作用，使移动板固定在工作箱的内腔中，通过加热板二和加热板一的作用，使工作箱的内腔温度升高，从而使碳化硅基模板进行加热处理，从而达到较好的均匀的加热的目的。

13、2、本实用新型提供一种碳化硅基模板的热处理装置，采用移动板、限位板、碳化硅基模板、齿轮、电机、齿板、连接板、滑杆、工作箱、密封门之间的相互配合，通过启动电机，使固定套接在电机外壁的齿轮进行旋转，通过齿轮的作用，使搭接在齿轮下表面的齿板向左移动，从而使移动板在连接板和滑杆的作用下向左移动，通过限位板的作用，使碳化硅基模板放置于移动板的上表面，放置好后，通过电机的作用，使齿轮进行反向旋转，从而使移动板在齿板的作用下向右移动，当移动板完全移动到工作箱的内腔中后，关闭密封门，从而达到便于拿取的目的。

技术特征：

1.一种碳化硅基模板的热处理装置，包括支撑柱(1)，其特征在于：所述支撑柱(1)的上表面固定连接有工作箱(2)，所述工作箱(2)的左侧固定安装有密封门(3)，所述工作箱(2)的内腔固定安装有移动装置(4)；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅基模板的热处理装置，其特征在于：所述固定板(21)的上表面固定连接有连接板(23)，所述连接板(23)的右侧与工作箱(2)的内腔固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅基模板的热处理装置，其特征在于：所述连接板(23)的上表面固定连接有滑杆(24)，所述滑杆(24)的右侧与工作箱(2)的内腔固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅基模板的热处理装置，其特征在于：所述移动板(41)的外壁与工作箱(2)的内腔活动套接，所述移动板(41)的背面与固定板(21)的正面搭接。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅基模板的热处理装置，其特征在于：所述移动板(41)的内腔与滑杆(24)的外壁活动套接，所述移动板(41)的内腔与连接板(23)的外壁活动套接。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅基模板的热处理装置，其特征在于：所述移动板(41)的上表面固定连接有限位板(42)，所述移动板(41)的上表面且位于限位板(42)的右侧搭接有碳化硅基模板(43)。

技术总结
本技术公开了一种碳化硅基模板的热处理装置，包括支撑柱，所述支撑柱的上表面固定连接有工作箱，所述工作箱的左侧固定安装有密封门，所述工作箱的内腔固定安装有移动装置，所述工作箱的内腔固定连接有保温层，所述工作箱的内腔顶部固定连接有加热板二，所述工作箱的内腔底部固定连接有加热板一。本技术通过保温层的作用，使工作箱的内腔在工作时能够保持一定的温度，通过固定板的作用，使连接板和滑杆固定在工作箱的内腔中，通过固定板的作用，使移动板固定在工作箱的内腔中，通过加热板二和加热板一的作用，使工作箱的内腔温度升高，从而使碳化硅基模板进行加热处理，从而达到较好的均匀的加热的目的。

技术研发人员：徐叶新
受保护的技术使用者：宜兴中村窑业有限公司
技术研发日：20221222
技术公布日：2024/1/12