惰性气体加热装置及废气处理设备的制作方法

本技术涉及废气处理，尤其涉及一种惰性气体加热装置及废气处理设备。

背景技术：

1、半导体材料是制作晶体管、集成电路及光电子器件的重要材料，半导体生产过程中会产生大量的有毒废气，废气需通过废气处理设备的处理后才能排放到环境中。

2、现有技术中，通过废气处理设备对废气进行处理，废气流入废气处理设备的反应腔内的流通管路中，需对流通管路进行加热，以保障废气不会因温度降低，造成气体凝固结粉，堵塞管道。

3、管路堵塞区域通常为管路中温度降低区域，通过在易堵塞位置的前端通入热的惰性气体，保证废气的温度高于其结晶温度，来避免废气结晶导致管路出现堵塞现象。惰性气体通常选用来源丰富、成本低的氮气，现有技术中多通过电阻丝加热方式对氮气进行加热，加热模块包括温控仪表、电阻丝加热管、继电器及温度传感器等元器件，结构复杂，电阻丝易损坏，需依赖闭环控制器，导致其可靠性不佳。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种惰性气体加热装置及废气处理设备，用以解决现有的废气处理过程中惰性气体加热器存在结构复杂、可靠性不佳的问题。

2、第一方面，本实用新型提供一种惰性气体加热装置，包括：进气管、出气管和加热管；

3、所述进气管和所述出气管设于所述加热管相对的两端，所述进气管用于与气源连接，所述出气管用于与废气处理设备的流通管路连接；

4、所述加热管包括ptc层，所述加热管用于与电源连接。

5、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管还包括第一不锈钢层和第二不锈钢层；

6、所述第一不锈钢层和所述第二不锈钢层均与所述ptc层同轴设置，所述第一不锈钢层设于所述ptc层的内侧，所述第二不锈钢层设于所述ptc层的外侧。

7、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管还包括热管层；

8、所述热管层嵌设于所述第一不锈钢层。

9、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管还包括保温层；

10、所述保温层套设于所述第二不锈钢层。

11、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管的外壁面设有挂钩部。

12、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述进气管和/或所述出气管为金属波纹管。

13、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述ptc层呈筒状。

14、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述惰性气体加热装置还包括温度传感器；

15、所述温度传感器设于所述出气管的端部，用于检测由所述出气管排出的惰性气体的温度。

16、根据本实用新型提供的一种惰性气体加热装置，所述惰性气体加热装置还包括报警器；

17、所述报警器与所述温度传感器连接，用于发出报警音。

18、第二方面，本实用新型提供一种废气处理设备，包括所述的惰性气体加热装置；

19、所述废气处理设备具有反应容器，所述惰性气体加热装置用于向所述反应容器内废气的流通管路通入加热的惰性气体。

20、本实用新型提供的惰性气体加热装置及废气处理设备，惰性气体加热装置包括依次连接的进气管、加热管和出气管，加热管包括ptc层，ptc层与电源连接，通过电源向ptc层通入电流，ptc层加热后的温度稳定在目标温度范围内，目标温度大于废气的结晶温度，惰性气体加热装置结构简单，性能可靠，能够有效避免废气的流通管路发生堵塞。

技术特征：

1.一种惰性气体加热装置，其特征在于，包括：进气管、出气管和加热管；

2.根据权利要求1所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管还包括第一不锈钢层和第二不锈钢层；

3.根据权利要求2所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管还包括热管层；

4.根据权利要求2所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管还包括保温层；

5.根据权利要求1所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管的外壁面设有挂钩部。

6.根据权利要求1所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述进气管和/或所述出气管为金属波纹管。

7.根据权利要求1所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述ptc层呈筒状。

8.根据权利要求1所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述惰性气体加热装置还包括温度传感器；

9.根据权利要求8所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述惰性气体加热装置还包括报警器；

10.一种废气处理设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的惰性气体加热装置；

技术总结
本技术涉及废气处理技术领域，提供一种惰性气体加热装置及废气处理设备，惰性气体加热装置包括：进气管、出气管和加热管；所述进气管和所述出气管设于所述加热管相对的两端，所述进气管用于与气源连接，所述出气管用于与废气处理设备的流通管路连接；所述加热管包括PTC层，所述加热管用于与电源连接。惰性气体加热装置包括依次连接的进气管、加热管和出气管，加热管包括PTC层，PTC层与电源连接，通过电源向PTC层通入电流，PTC层加热后的温度稳定在目标温度范围内，目标温度大于废气的结晶温度，惰性气体加热装置结构简单，性能可靠，能够有效避免废气的流通管路发生堵塞。

技术研发人员：王松
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/13