一种立式炉及其炉门控制装置的制作方法

本发明涉及立式炉，尤其涉及一种立式炉及其炉门控制装置。

背景技术：

1、半导体器件的制作工艺中有许多热处理的工序，如热氧化、化学气相沉积、热扩散、金属合金化、杂质激活、介质膜致密化等。温度是影响半导体器件制备中的关键参数，更是对立式炉设备的重要考量指标，晶圆的成膜均匀性以及生长速度等特性均与温度均匀性有直接的联系。

2、目前在使用立式炉进行加工时，由于立式炉内部的压强大小对立式炉的温度有很大的影响，所以需要对立式炉的开口处进行密封处理，防止立式炉在工作时安全门和立式炉的开口部位产生泄漏，从而导致立式炉内部压强降低，使得立式炉内部温度发生改变，影响加工效果。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种立式炉及其炉门控制装置，以解决目前立式炉在工作时安全门和立式炉的开口部位产生泄漏，从而导致立式炉内部压强降低，使得立式炉内部温度发生改变，影响加工效果的问题。

2、为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种炉门控制装置，应用于立式炉本体上，所述立式炉本体的前侧设置有两个托板，两个所述托板的相对一侧之间滑动连接有安全门，所述立式炉本体的一侧外表面和前侧均开设有侧口，两个所述侧口之间开设有滑移槽，所述滑移槽的内部设置有滑移块，所述立式炉本体上设置有驱动滑移块滑动的驱动件，所述立式炉本体的前侧开设有存储槽，所述存储槽的内部设置有气囊密封条，所述气囊密封条的外表面和存储槽的内壁之间设置有硅胶黏液，所述滑移槽的内部顶面靠近一侧边缘处固定有与气囊密封条连通的气囊袋，所述滑移块上设置有拨动件和调节件；

3、所述安全门的后侧开设有密封槽，所述密封槽与存储槽相对，所述安全门的后侧靠近一侧边缘处开设有t形滑槽，所述t形滑槽的一侧贯穿至安全门的后侧，所述t形滑槽的一侧内壁开设有两个贯穿至安全门外侧的贯穿口，两个所述贯穿口位于安全门的底部，所述安全门的前侧靠近一侧边缘处固定有手柄。

4、优选的，所述驱动件包括电机，所述电机设置在立式炉本体的顶部，且电机的输出端贯穿至滑移槽的内部，所述电机的输出端固定有螺纹杆，所述滑移槽的内部顶面和底面之间靠近一侧边缘处固定有导向杆，所述螺纹杆的底部转动连接在滑移槽的内部底面。

5、优选的，所述拨动件包括转套，所述转套转动连接在滑移块的内部，并且转套的两端分别延伸至滑移块的两侧，所述转套的两端均固定有挡环，两个所述挡环的一侧均对应贴合在滑移块的两侧外表面上。

6、优选的，所述转套与螺纹杆之间螺纹连接，所述滑移块滑动连接在导向杆的外表面上，所述转套的表面开设有梯形槽。

7、优选的，所述调节件包括活动挡板，所述滑移块的一侧开设有开口，所述活动挡板滑动连接在开口的内部，所述滑移块的内部开设有贯穿至开口的内腔，所述内腔的内部滑动连接有压板，所述活动挡板的前侧开设有贯穿至后侧的v形槽。

8、优选的，所述压板的前侧固定有滑动连接在v形槽内部的固定杆，所述压板的底部呈梯形，所述压板的顶部固定有弹簧，所述弹簧的顶部固定有活动板，所述活动板的顶部设置有调节旋钮，所述调节旋钮的一端延伸至滑移块的外部。

9、优选的，所述滑移块的一侧固定有t形卡块，所述t形卡块从其中一个侧口内延伸至立式炉本体外侧，且卡合在t形滑槽的内部。

10、优选的，所述滑移块的一侧固定有楔形压块，所述楔形压块与气囊袋相对。

11、本发明还提供一种立式炉，包括立式炉本体以及如上所述的炉门控制装置。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1、在使用时，首先将安全门与立式炉本体之间封闭，然后在滑移块向上滑动的过程中，通过楔形压块与气囊袋之间的压合，从而将气囊袋内部的气体向气囊密封条内部挤压，气体进入气囊密封条后气囊密封条会发生膨胀，从而将密封槽填充密封，增加安全门与立式炉本体的密封性，在气囊密封条膨胀过程中会将存储槽内部的硅胶黏液向外侧挤出填充在安全门与立式炉本体之间，当安全门与立式炉本体之间产生泄漏时，会将硅胶黏液向外侧吹出产生气泡，从而方便人们及时发现泄漏情况；

14、2、在滑移块滑动时通过电机带动螺纹杆转动，而螺纹杆与转套之间螺纹连接，同时转套两端的挡环均对应卡合在滑移块的两侧，所以转套沿着螺纹杆上下滑动时可以带动滑移块上下滑动，同时在导向杆的导向下，防止滑移块产生转动；

15、3、在滑移块滑动至滑移槽的内部顶面时，通过活动挡板的一侧与滑移槽的内部顶面相接触，从而可以进行缓冲，防止由于滑移块产生急停现象而螺纹杆与电机之间无法进行缓冲，导致转套与螺纹杆之间产生机械干涉，造成连接部位松动。

技术特征：

1.一种炉门控制装置，其特征在于，应用于立式炉本体(1)上，所述立式炉本体(1)的前侧设置有两个托板(3)，两个所述托板(3)的相对一侧之间滑动连接有安全门(2)，所述立式炉本体(1)的一侧外表面和前侧均开设有侧口(5)，两个所述侧口(5)之间开设有滑移槽(7)，所述滑移槽(7)的内部设置有滑移块(12)，所述立式炉本体(1)上设置有驱动滑移块(12)滑动的驱动件，所述立式炉本体(1)的前侧开设有存储槽(29)，所述存储槽(29)的内部设置有气囊密封条(30)，所述气囊密封条(30)的外表面和存储槽(29)的内壁之间设置有硅胶黏液(31)，所述滑移槽(7)的内部顶面靠近一侧边缘处固定有与气囊密封条(30)连通的气囊袋(8)，所述滑移块(12)上设置有拨动件和调节件；

2.根据权利要求1所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述驱动件包括电机(6)，所述电机(6)设置在立式炉本体(1)的顶部，且电机(6)的输出端贯穿至滑移槽(7)的内部，所述电机(6)的输出端固定有螺纹杆(16)，所述滑移槽(7)的内部顶面和底面之间靠近一侧边缘处固定有导向杆(15)，所述螺纹杆(16)的底部转动连接在滑移槽(7)的内部底面。

3.根据权利要求2所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述拨动件包括转套(13)，所述转套(13)转动连接在滑移块(12)的内部，并且转套(13)的两端分别延伸至滑移块(12)的两侧，所述转套(13)的两端均固定有挡环(14)，两个所述挡环(14)的一侧均对应贴合在滑移块(12)的两侧外表面上。

4.根据权利要求3所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述转套(13)与螺纹杆(16)之间螺纹连接，所述滑移块(12)滑动连接在导向杆(15)的外表面上，所述转套(13)的表面开设有梯形槽(28)。

5.根据权利要求4所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述调节件包括活动挡板(20)，所述滑移块(12)的一侧开设有开口(21)，所述活动挡板(20)滑动连接在开口(21)的内部，所述滑移块(12)的内部开设有贯穿至开口(21)的内腔(22)，所述内腔(22)的内部滑动连接有压板(27)，所述活动挡板(20)的前侧开设有贯穿至后侧的v形槽(25)。

6.根据权利要求5所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述压板(27)的前侧固定有滑动连接在v形槽(25)内部的固定杆(26)，所述压板(27)的底部呈梯形，所述压板(27)的顶部固定有弹簧(24)，所述弹簧(24)的顶部固定有活动板(23)，所述活动板(23)的顶部设置有调节旋钮(19)，所述调节旋钮(19)的一端延伸至滑移块(12)的外部。

7.根据权利要求1所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述滑移块(12)的一侧固定有t形卡块(18)，所述t形卡块(18)从其中一个侧口(5)内延伸至立式炉本体(1)外侧，且卡合在t形滑槽(10)的内部。

8.根据权利要求1所述的一种炉门控制装置，其特征在于：所述滑移块(12)的一侧固定有楔形压块(17)，所述楔形压块(17)与气囊袋(8)相对。

9.一种立式炉，包括立式炉本体(1)以及如权利要求1中所述的炉门控制装置。

技术总结
本发明属于立式炉技术领域，尤其公开了一种立式炉及其炉门控制装置，该炉门控制装置应用于立式炉本体上，立式炉本体的前侧设置有两个托板，两个托板的相对一侧之间滑动连接有安全门，在本发明中，将安全门与立式炉本体之间封闭，然后在滑移块向上滑动的过程中，通过楔形压块与气囊袋之间的压合，从而将气囊袋内部的气体向气囊密封条内部挤压，气体进入气囊密封条后气囊密封条会发生膨胀，从而将密封槽填充密封，之间安全门与立式炉本体的密封性，在气囊密封条膨胀过程中会将存储槽内部的硅胶黏液向外侧挤出填充在安全门与立式炉本体之间，当安全门与立式炉本体之间产生泄漏时，会将硅胶黏液向外侧吹出产生气泡，从而方便及时发现泄漏情况。

技术研发人员：梁聪元,罗文欣
受保护的技术使用者：深圳市浩宝技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13