一种湿化学设备用干燥装置的制作方法

本申请涉及晶体硅材料干燥，尤其是涉及一种湿化学设备用干燥装置。

背景技术：

1、硅料是光伏行业中最上游的产品，是硅片的原材料。晶体硅材料是最主要的光伏材料，性质为带有金属光泽的灰黑色固体，熔点高(1410℃)、硬度大、有脆性、常温下化学性质不活泼。由于硅半导体耐高压、耐高温、晶带宽度大，比其它半导体材料有体积小、效率高、寿命长、可靠性强等优点，因此被广泛用于电子工业集成电路的生产中。高纯的单晶硅是重要的半导体材料。

2、想要得到高纯的单晶硅，在硅料的生产制造过程中，还需要经过一系列的清洗、漂洗工艺。每次清洗后，硅料与硅料中间都会存在大量的残留水，硅料清洗后的控水以及干燥是目前亟需解决的问题，尤其是小尺寸的硅芯材料，由于其又碎又小的特征，很容易堆叠在一起，造成堆叠面的干燥难度非常大。

3、因此，需要设计一种湿化学设备用干燥装置用以解决上述问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种湿化学设备用干燥装置，可以集成到湿化学设备中，有效地解决了硅料尤其是小尺寸的硅芯材料控水以及干燥的问题。

2、根据本发明提供的一种湿化学设备用干燥装置，其中，所述湿化学设备用干燥装置包括物料容置组件，包括壳体和物料容置件，所述物料容置件设置于所述壳体的内部；热风循环组件，包括循环风道和循环驱动件，所述循环风道设置于所述物料容置组件的外周，所述循环驱动件设置于所述循环风道的侧部；所述壳体的两侧开设有进风口和出风口，所述进风口和所述出风口分别连接所述循环风道的两端，所述循环驱动件驱动所述循环风道内的热风循环流动。

3、优选地，所述出风口的开设高度高于所述进风口的开设高度。

4、优选地，所述物料容置组件还包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件和所述第二支撑件相对地设置于所述壳体的内部的两侧，所述第一支撑件位于所述出风口的底部，所述第二支撑件位于所述进风口的中部，所述物料容置件设置于所述第一支撑件和所述第二支撑件的上部。

5、优选地，所述第一支撑件和所述第二支撑件与所述壳体的底部之间形成有空腔部，所述壳体的底部开设有排水口和排料口。

6、优选地，所述物料容置组件还包括盖体，所述盖体盖设于所述壳体的顶部；所述盖体与所述壳体的顶部之间形成有间隙。

7、优选地，所述物料容置件的底部镂空。

8、优选地，所述物料容置组件还包括风量调节板，所述风量调节板可滑动地设置于所述进风口。

9、优选地，所述循环驱动件包括鼓风机、离心风轮和加热器，所述鼓风机设置于所述循环风道的外部，所述离心风轮设置于所述循环风道的内部，所述鼓风机带动所述离心风轮旋转，所述加热器设置于所述循环风道的内部。

10、优选地，所述循环风道的内部开设有进气口，所述热风循环组件还包括温度检测件，所述温度检测件设置于所述循环风道的内部，所述温度检测件的设置位置靠近所述进风口。

11、优选地，所述壳体和所述循环风道的外周侧设置有保温层；所述壳体和所述循环风道之间设置有支架。

12、根据本发明的湿化学设备用干燥装置，可以集成到湿化学设备中，通过湿化学设备中的机械手完成硅料的取放或者人工取放，之后通过循环的热干燥气直吹物料的堆叠缝隙处，使热风通过时将表面水气化，产生的水蒸气跟随热热干燥气一起被带走，达到烘干硅料的目的。该湿化学设备用干燥装置整体结构简单，干燥效率高，应用场景广，可以实现不同结构、不同尺寸及不同形态的硅料的干燥。

13、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述湿化学设备用干燥装置包括：

2.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述出风口的开设高度高于所述进风口的开设高度。

3.根据权利要求2所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述物料容置组件还包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件和所述第二支撑件相对地设置于所述壳体的内部的两侧，所述第一支撑件位于所述出风口的底部，所述第二支撑件位于所述进风口的中部，所述物料容置件设置于所述第一支撑件和所述第二支撑件的上部。

4.根据权利要求3所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述第一支撑件和所述第二支撑件与所述壳体的底部之间形成有空腔部，所述壳体的底部开设有排水口和排料口。

5.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述物料容置组件还包括盖体，所述盖体盖设于所述壳体的顶部；

6.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述物料容置件的底部镂空。

7.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述物料容置组件还包括风量调节板，所述风量调节板可滑动地设置于所述进风口。

8.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述循环驱动件包括鼓风机、离心风轮和加热器，所述鼓风机设置于所述循环风道的外部，所述离心风轮设置于所述循环风道的内部，所述鼓风机带动所述离心风轮旋转，所述加热器设置于所述循环风道的内部。

9.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述循环风道的内部开设有进气口，所述热风循环组件还包括温度检测件，所述温度检测件设置于所述循环风道的内部，所述温度检测件的设置位置靠近所述进风口。

10.根据权利要求1所述的湿化学设备用干燥装置，其特征在于，所述壳体和所述循环风道的外周侧设置有保温层；

技术总结
本发明提供一种湿化学设备用干燥装置，湿化学设备用干燥装置包括物料容置组件，包括壳体和物料容置件，物料容置件设置于壳体的内部；热风循环组件，包括循环风道和循环驱动件，循环风道设置于物料容置组件的外周，循环驱动件设置于循环风道的侧部；壳体的两侧开设有进风口和出风口，进风口和出风口分别连接循环风道的两端，循环驱动件驱动循环风道内的热风循环流动。该湿化学设备用干燥装置可以集成到湿化学设备中，通过循环的热干燥气直吹物料的堆叠缝隙处，将表面水气化跟随热热干燥气一起被带走，达到烘干硅料的目的，该湿化学设备用干燥装置整体结构简单，干燥效率高，应用场景广，可以实现不同结构、不同尺寸及不同形态的硅料的干燥。

技术研发人员：胡天水,李家明,张富聪,贾祥晨,苏翡
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11