光热转换膜层结构的制作方法

本申请涉及材料转移，具体而言，涉及一种用于转移材料的光热转换膜层结构。

背景技术：

1、激光剥离(laser lift off，llo)是micro led巨量转移/微纳器件集成工艺的重要手段之一。当前llo技术主要是使用准分子激光或者红外激光作光源，laser通过光学透镜部分并聚焦在转移carrier界面，实现carrier上聚合物消融/气化，产生的气体助推micro led转移或者glass衬底上tft的剥离。其中准分子激光器大都是uv范围(248nm，355nm)，这些激光都需要使用成本高昂的特殊气体(krf、cl2)以及更为复杂的光学系统，生产成本十分高昂。而相比紫外激光，更加成熟的1.06um红外激光通过热处理实现对聚合物材料的加工，一方面部分材料不吸收近红外，适用范围受限；另一方面，直接近红外激光辐射会对材料造成炭化，难以去除。

技术实现思路

1、为了至少克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种光热转换膜层结构。

2、本申请实施例提供的光热转换膜层结构，包括基底层、形成于基底层之上的第一金属层、形成于第一金属层之上的第一介质层、形成于第一介质层之上的第二金属层，

3、基底层具有高透过率，

4、第一金属层用于吸收入射光，并将吸收的光转换成热，

5、第一介质层具有高透过率，用于调节从第二金属层反射的光的相位，以使从第二金属层反射的光与从第一金属层出射的光产生相消干涉，

6、第二金属层用于吸收入射光，并将吸收的光转换成热，

7、第一金属层的厚度小于第二金属层的厚度。

8、在一种可能的实现方式中，光热转换膜层结构还包括形成于第二金属层上的第二介质层，

9、第二介质层用于传导热量。

10、在一种可能的实现方式中，基底层和第一介质层的透过率均高于90％。

11、在一种可能的实现方式中，第一金属层和/或第二金属层的光吸收率高于80％。

12、在一种可能的实现方式中，第一金属层和/或第二金属层的材质为tiw合金。

13、在一种可能的实现方式中，

14、第一金属层的厚度为3～6nm，

15、第一介质层的厚度为70～80nm，

16、第二金属层的厚度为90～120nm。

17、在一种可能的实现方式中，第二介质层的厚度为200～350nm。

18、在一种可能的实现方式中，第一介质层和/或第二介质层的材质为sio2。

19、在一种可能的实现方式中，基底层的材质为石英或蓝宝石。

20、在一种可能的实现方式中，基底层上具有阵列排列的多个光热转换膜层堆，

21、每个光热转换膜层堆包括依次层叠设置在基底层上的第一金属层、第一介质层和第二金属层，

22、第一金属层与基底层相邻。

23、在一种可能的实现方式中，基底层上具有阵列排列的多个光热转换膜层堆，

24、每个光热转换膜层堆包括依次层叠设置在基底层上的第一金属层、第一介质层、第二金属层和第二介质层，

25、第一金属层与基底层相邻。

26、在一种可能的实现方式中，多个光热转换膜层堆之上形成牺牲层，

27、牺牲层在光热转换膜层堆的加热下能够气化或者热降解。

28、本申请实施例提供的光热转换膜层结构，可以最大限度地吸收入射光，并且高效地将吸收的光转化为热能，使光热转换膜层结构迅速升温；利用该光热转换功能，可以对特定对象进行加热。

技术特征：

1.一种光热转换膜层结构，其特征在于：包括基底层、形成于所述基底层之上的第一金属层、形成于所述第一金属层之上的第一介质层、形成于所述第一介质层之上的第二金属层，

2.根据权利要求1所述的光热转换膜层结构，其特征在于：还包括形成于所述第二金属层上的第二介质层，

3.根据权利要求1所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述基底层和第一介质层的透过率均高于90％。

4.根据权利要求1所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述第一金属层和/或第二金属层的光吸收率高于80％。

5.根据权利要求4所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述第一金属层和/或第二金属层的材质为tiw合金。

6.根据权利要求5所述的光热转换膜层结构，其特征在于：

7.根据权利要求2所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述第二介质层的厚度为小于200～350nm。

8.根据权利要求2所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述第一介质层和/或第二介质层的材质为sio2。

9.根据权利要求1至8中任一权利要求所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述基底层的材质为石英或蓝宝石。

10.根据权利要求1所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述基底层上具有阵列排列的多个光热转换膜层堆，

11.根据权利要求2所述的光热转换膜层结构，其特征在于：所述基底层上具有阵列排列的多个光热转换膜层堆，

12.根据权利要求10或11所述的光热转换膜层结构，其特征在于：多个所述光热转换膜层堆之上形成牺牲层，

技术总结
本申请涉及材料转移技术领域，具体涉及一种光热转换膜层结构，包括基底层、形成于基底层之上的第一金属层、形成于第一金属层之上的第一介质层、形成于第一介质层之上的第二金属层，基底层具有高透过率，第一金属层用于吸收入射光，并将吸收的光转换成热，第一介质层具有高透过率，用于调节从第二金属层反射的光的相位，以使从第二金属层反射的光与从第一金属层出射的光产生相消干涉，第二金属层用于吸收入射光，并将吸收的光转换成热，第一金属层的厚度小于第二金属层的厚度。该光热转换膜层结构，可以最大限度地吸收入射光，并且高效地将吸收的光转化为热能，使光热转换膜层结构迅速升温；利用该光热转换功能，可以对特定对象进行加热。

技术研发人员：罗先刚,李勋,李维杰,李雄,张仁彦
受保护的技术使用者：天府兴隆湖实验室
技术研发日：
技术公布日：2024/3/21