一种集成式分液保温装置的制作方法

本技术涉及半导体，尤其涉及一种集成式分液保温装置。

背景技术：

1、在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行涂胶或者显影工艺，光刻胶的温度和显影液的温度直接影响着工艺的稳定性和均匀性，因此在加工过程中，对光刻胶和显影液温度的恒定有着严苛的要求，目前在一路主进液需分流并保温的情况下，通常需要先经过某装置将药液与保温水分流，再通过另一独立装置将主进药液和主保温水分流，最后再经另一装置将分药液与分保温水合并，整个过程分流、汇流装置跨距大，热量流失大，导致保温效果差，同时空间利用率不高、接头多、管路复杂、泄漏点多并且不便于拆卸维修，需要加以改进。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种集成式分液保温装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体，所述换热循环主体的上下表面均固定安装有分液汇流块，所述分液汇流块的上表面连通有保温管套件，所述保温管套件包括外层管和内层管，所述分液汇流块的一侧设置有沉头螺塞，所述换热循环主体的一端分别安装有传感器接头和排气接头，所述传感器接头的一端安装有温度传感器。

3、为了提高分液汇流块和保温管套件的连接安装效果，本实用新型改进有，所述分液汇流块和保温管套件的连接处设置有接头连接法兰，所述接头连接法兰的上表面设置有接头螺母。

4、为了方便内层管与换热循环主体之间进行连接固定，本实用新型改进有，所述内层管与换热循环主体的连接处设置有快拧接头。

5、为了进一步提高保温管套件在分液汇流块上的安装效果，本实用新型改进有，所述分液汇流块的上表面安装有压板，所述保温管套件贯穿设置在压板的内部。

6、为了提高整个装置的密封性，本实用新型改进有，所述换热循环主体和分液汇流块的连接处、压板和接头连接法兰的连接处均设置有密封圈。

7、为了保证分流效果，本实用新型改进有，所述分液汇流块的内部设置有分流通道，所述换热循环主体的内部设置有并行通道。

8、与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

9、本实用新型中，通过设置该分液汇流块，可满足药液分流并保温的需求，同时整体结构紧凑，在保证保温的前提下，可保证药液无泄漏，药液保温与保温水无混合，并且不再需要多组独立装置进行组合使用，来实现对药液的分流和保温，大大提高了空间利用率，同时方便拆卸，便于维护，方便工作人员后续工作的进行。

技术特征：

1.一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体(1)，其特征在于：所述换热循环主体(1)的上下表面均固定安装有分液汇流块(2)，所述分液汇流块(2)的上表面连通有保温管套件，所述保温管套件包括外层管和内层管，所述分液汇流块(2)的一侧设置有沉头螺塞(3)，所述换热循环主体(1)的一端分别安装有传感器接头(4)和排气接头(6)，所述传感器接头(4)的一端安装有温度传感器(5)。

2.根据权利要求1所述的集成式分液保温装置，其特征在于：所述分液汇流块(2)和保温管套件的连接处设置有接头连接法兰(9)，所述接头连接法兰(9)的上表面设置有接头螺母(7)。

3.根据权利要求1所述的集成式分液保温装置，其特征在于：所述内层管与换热循环主体(1)的连接处设置有快拧接头(10)。

4.根据权利要求1所述的集成式分液保温装置，其特征在于：所述分液汇流块(2)的上表面安装有压板(8)，所述保温管套件贯穿设置在压板(8)的内部。

5.根据权利要求4所述的集成式分液保温装置，其特征在于：所述换热循环主体(1)和分液汇流块(2)的连接处、压板(8)和接头连接法兰(9)的连接处均设置有密封圈。

6.根据权利要求1所述的集成式分液保温装置，其特征在于：所述分液汇流块(2)的内部设置有分流通道，所述换热循环主体(1)的内部设置有并行通道。

技术总结
本技术涉及半导体技术领域，具体为一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体，换热循环主体的上下表面均固定安装有分液汇流块，分液汇流块的上表面连通有保温管套件，保温管套件包括外层管和内层管，分液汇流块的一侧设置有沉头螺塞，换热循环主体的一端分别安装有传感器接头和排气接头，传感器接头的一端安装有温度传感器。本技术，通过设置该分液汇流块，可满足药液分流并保温的需求，同时整体结构紧凑，在保证保温的前提下，可保证药液无泄漏，药液保温与保温水无混合，并且不再需要多组独立装置进行组合使用，来实现对药液的分流和保温，大大提高了空间利用率，同时方便拆卸，便于维护，方便工作人员后续工作的进行。

技术研发人员：周胤洲
受保护的技术使用者：江苏峰博装备技术有限公司
技术研发日：20230105
技术公布日：2024/1/12