带有低温脱硝结构的烟气退火炉的制作方法

本技术涉及低温脱硝，具体涉及带有低温脱硝结构的烟气退火炉。

背景技术：

1、烟气退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，一般烟气中会含有大量的硝，直接排放到空气中会对大气造成污染，因此就需要用到带催化剂的脱销结构对烟气进行脱硝处理，但是由于烟气本身就具有较高的热量，直接脱销会影响脱销使用的催化剂活性，因此就会用到换热器对烟气进行换热降温，但是由于退火炉的出口烟温一般在650℃左右，然而经过换热器换热后，烟气的温度会被降低到150℃—220℃之间，然而市面上催化剂的高效适用温度在240—380℃之间，所以直接降温达不到催化剂的有效使用温度使，脱销处理的效果也会大打折扣，因此人们又会增加加热器来加热换热后的烟气温度，这样就会导致烟气退火炉脱销结构复杂化，且生产制造成本明显升高，因此先降温再升温并不是很好的处理方案，为此，发明人基于上述现有技术存在的缺陷，针对如何在控制制造成本的问题上，对烟气脱销之前的温度问题提出改进方案。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了带有低温脱硝结构的烟气退火炉，以解决背景技术中提出的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：带有低温脱硝结构的烟气退火炉，包括炉体、换热器、旁路管道、温度控制机构、混合机构和温度计，所述炉体上连通有出烟管，所述换热器连通在所述出烟管上，所述换热器上通过连接管连通有脱硝反应器，所述旁路管道连通在所述出烟管和所述连接管之间，用于将高温烟气直接运输至所述连接管内，所述温度控制机构设置在所述旁路管道内，用于控制通过所述旁路管道的烟气量，所述混合机构设置在所述连接管内，用于对所述换热器内流出的烟气和旁路管道内流出的烟气进行混合，所述温度计固定安装在所述连接管上。

5、为了控制通过所述旁路管道的烟气量，从而控制烟气进入脱硝反应器前的温度，本申请优选的，所述温度控制机构包括收纳盒和密封板，所述收纳盒固定连接在所述旁路管道上，所述密封板通过滑动组件滑动连接在所述收纳盒内，用于阻挡烟气从旁路管道内通过，所述旁路管道上开设有用于所述密封板进行通过的通过口，所述密封板上设置有用于驱动所述密封板进行滑动的驱滑组件。

6、为了便于密封板进行滑动，本申请进一步的，所述滑动组件包括滑动杆和滑动板，所述滑动杆固定连接在所述收纳盒上，所述滑动板滑动套设在所述滑动杆上，所述滑动板固定连接在所述密封板上。

7、为了驱动密封板进行滑动，本申请再进一步的，所述驱滑组件包括螺杆、螺纹块和转动杆，所述螺杆转动连接在所述收纳盒内，所述螺纹块螺纹套设在所述螺杆上，所述螺纹块固定连接在所述密封板上，所述转动杆固定连接在所述螺杆上，所述转动杆贯穿所述收纳盒延伸至外界且固定连接有旋转钮。

8、为了对通过所述旁路管道的烟气量进行查看，本申请更进一步的，所述收纳盒上设置有通气量观测组件，用于对通过所述旁路管道的烟气量进行查看，所述通气量观测组件包括移动杆、指针和标识板，所述移动杆固定连接在所述密封板上，所述收纳盒上开设有用于所述移动杆进行移动的移动槽，所述指针固定连接在所述移动杆上，所述标识板固定连接在所述收纳盒上。

9、为了对所述换热器内流出的烟气和旁路管道内流出的烟气进行混合，本申请在前述方案的基础上进一步的，所述混合机构包括安装架、转轴和混合扇叶，所述安装架固定连接在所述连接管内，所述转轴转动连接在所述安装架上，所述转轴上设置有用于驱动转轴进行转动的驱转组件，所述混合扇叶设置有多个，所述混合扇叶固定连接在所述转轴上。

10、为了驱动转轴进行转动，本申请在前述方案的基础上再进一步的，所述驱转组件包括防护盒、驱动杆、旋转杆和锥型齿轮，所述防护盒通过支撑板固定连接在所述连接管上，所述驱动杆固定连接在所述转轴上，所述驱动杆贯穿所述安装架和所述防护盒转动连接在所述防护盒的内侧壁上，所述旋转杆转动连接在所述防护盒上，所述旋转杆贯穿所述防护盒和所述连接管延伸至外界且设置有动力组件，所述锥型齿轮设置有两个，两个所述锥型齿轮分别固定套设在所述驱动杆和所述旋转杆上，两个所述锥型齿轮相啮合。

11、为了驱动旋转杆进行转动，本申请在前述方案的基础上更进一步的，所述动力组件包括支撑架和电机，所述支撑架固定连接在所述连接管上，所述电机固定安装在所述支撑架上，所述电机的输出端贯穿所述支撑架且与所述旋转杆同心连接。

12、(三)有益效果

13、与现有技术相比，本实用新型提供了带有低温脱硝结构的烟气退火炉，具备以下有益效果：

14、本实用新型中，炉体通过出烟管排出的烟气，一部分通过换热器进行降温流入到连接管内，一部分通过旁路管道流入到连接管内，然后通过混合机构进行混合，通过换热器换热后较低温度的烟气与部分未被降温的高温烟气混合，通过温度控制机构便于控制通过旁路管道的烟气量，从而根据低温气体以及高温气体混合量的控制和配比，达到合适催化剂有效活性使用的温度，其中温度计可以用来反映进脱硝反应器前烟气的温度，通过这种方式，一方面降低了换热器对烟气总量的换热量，另一方面通过利用剩余高温烟气来中和低温烟气的方法，还减少了加热器的增加，达到了有效脱销的目的，解决现有技术缺陷，简化设备，降低运行成本，提高使用效率。

技术特征：

1.带有低温脱硝结构的烟气退火炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)上连通有出烟管(2)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述温度控制机构(7)包括：

3.根据权利要求2所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述滑动组件包括：

4.根据权利要求3所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述驱滑组件包括：

5.根据权利要求4所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述收纳盒(701)上设置有通气量观测组件(10)，用于对通过所述旁路管道(6)的烟气量进行查看，所述通气量观测组件(10)包括：

6.根据权利要求5所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述混合机构(8)包括：

7.根据权利要求6所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述驱转组件包括：

8.根据权利要求7所述的带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其特征在于，所述动力组件包括：

技术总结
本技术涉及低温脱硝技术领域，提出了带有低温脱硝结构的烟气退火炉，其既解决了脱硝温度不足的问题，又无额外运行费用，达到了高效率的脱硝效果，包括炉体、换热器、旁路管道、温度控制机构、混合机构和温度计，炉体上连通有出烟管，换热器连通在出烟管上，换热器上通过连接管连通有脱硝反应器，旁路管道连通在出烟管和连接管之间，用于将高温烟气直接运输至连接管内，温度控制机构设置在旁路管道内，用于控制通过旁路管道的烟气量，混合机构设置在连接管内，温度计固定安装在连接管上，混合机构包括安装架、转轴和混合扇叶，安装架固定连接在连接管内，转轴转动连接在安装架上，混合扇叶固定连接在转轴上。

技术研发人员：白雅文,田月,李莹真,张淞,周柳春,曹树余
受保护的技术使用者：河北林格环保科技有限公司
技术研发日：20230425
技术公布日：2024/1/15