风冷热场的制作方法

本技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种风冷热场。

背景技术：

1、光伏沉积或者扩散等工艺使用的设备为热炉，热炉的核心部件就是热炉的炉体，也可以叫做热场，在工艺进行完成之后，或者在某些特定的工艺中，工艺温度过高，需要在片材出炉前先降温，即对热场进行冷却，而现有的热场降温的手段主要是依靠自然冷却，即依靠热场与外部环境进行换热降温，这种降温手段效率较低，严重影响了热炉的工作效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种风冷热场，该风冷热场的降温效率较快，有利于提升热炉的工作效率。

2、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

3、本实用新型公开了一种风冷热场，包括：热场本体，进气组件，所述进气组件安装于所述热场本体，所述进气组件设有与热场本体的内部连通的出气口，以及与外部气源相连的进气口；其中：所述外部气源的气体经过所述进气口进入所述进气组件后，从所述出气口吹向所述热场本体的内部以冷却所述热场本体。

4、在一些实施例中，所述进气组件设于所述热场本体外侧，且所述热场本体上与所述出气口连通的冷却道。

5、在一些具体的实施例中，所述冷却道为多个，多个所述冷却道沿所述热场本体的周向间隔设置，所述出气口为多个，多个所述出气口与多个所述冷却道连通设置。

6、在一些更具体的实施例中，每个所述冷却道形成为贯穿所述热场本体的直线孔；或者：每个所述冷却道形成为贯穿所述热场本体的周向弯曲的弧形孔。

7、在一些可选的实施例中，所述热场本体的外侧壁具有安装槽，所述进气组件安装于所述安装槽内。

8、在一些可选的实施例中，所述冷却道与所述热场本体上安装加热件的配合槽隔绝且错开设置，以阻隔散热气流吹向所述加热件。

9、在一些实施例中，所述进气组件设于所述热场本体内部，且位于所述热场本体与设在所述热场本体内的炉管之间。

10、在一些实施例中，所述进气组件包括安装管和进气管，所述安装管安装于所述热场本体的外侧壁，所述安装管设有所述出气口，所述进气管与所述安装管相连，且所述进气管的一端形成所述进气口。

11、在一些实施例中，所述安装管为环形管或螺旋管。

12、在一些实施例中，所述安装管为环形管，且所述环形管的末端为自由端。

13、在一些实施例中，所述热场本体包括外壳、隔热层和内胆，所述进气组件安装于所述内胆的外侧壁。

14、在一些实施例中，所述内胆包括依次拼接的多个，所述进气组件安装于两个所述内胆的交界处。

15、在一些实施例中，所述冷却道与所述热场本体上安装加热件的配合槽隔绝且错开设置，以阻隔散热气流吹向所述加热件。

16、本实用新型的风冷热场的有益效果：在实际工作过程中，当热场本体需要冷却时，外部气源朝向进气组件充入冷却气体，冷却气体从进气口进入进气组件后，由于进气组件上设置有与热场本体的内部连通的出气口，冷却气体能够从出气口吹向热场本体的内部，使得热场本体内部空间的气体强制流动，从而实现了对热场本体的快速散热，提升了该风冷热场的冷却效率，有利于提升热炉的生产效率。本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.风冷热场，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的风冷热场，其特征在于，所述进气组件(200)设于所述热场本体(100)外侧，且所述热场本体(100)上设有与所述出气口(211)连通的冷却道(131)。

3.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，所述冷却道(131)为多个，多个所述冷却道(131)沿所述热场本体(100)的周向间隔设置，所述出气口(211)为多个，多个所述出气口(211)与多个所述冷却道(131)连通设置。

4.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，每个所述冷却道(131)形成为贯穿所述热场本体(100)的直线孔；或者：

5.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，所述热场本体(100)的外侧壁具有安装槽(132)，所述进气组件(200)安装于所述安装槽(132)内。

6.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，所述冷却道(131)与所述热场本体(100)上安装加热件(300)的配合槽隔绝且错开设置，以阻隔散热气流吹向所述加热件(300)。

7.根据权利要求1所述的风冷热场，其特征在于，所述进气组件(200)设于所述热场本体(100)内部，且位于所述热场本体(100)与设在所述热场本体(100)内的炉管之间。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的风冷热场，其特征在于，所述进气组件(200)包括安装管(210)和进气管(220)，所述安装管(210)安装于所述热场本体(100)的外侧壁，所述安装管(210)设有所述出气口(211)，所述进气管(220)与所述安装管(210)相连，且所述进气管(220)的一端形成所述进气口(221)。

9.根据权利要求8所述的风冷热场，其特征在于，所述安装管(210)为环形管或螺旋管。

10.根据权利要求8所述的风冷热场，其特征在于，所述安装管(210)为环形管，且所述环形管的末端为自由端。

11.根据权利要求1-7中任一项所述的风冷热场，其特征在于，所述热场本体(100)包括外壳(110)、隔热层(120)和内胆(130)，所述进气组件(200)安装于所述内胆(130)的外侧壁。

12.根据权利要求11所述的风冷热场，其特征在于，所述内胆(130)包括依次拼接的多个，所述进气组件(200)安装于两个所述内胆(130)的交界处。

技术总结
本技术公开了一种风冷热场，该风冷热场包括热场本体和进气组件，进气组件安装于热场本体，进气组件设有与热场本体的内部连通的出气口，以及与外部气源相连的进气口。外部气源的气体经过进气口进入进气组件后，从出气口吹向热场本体的内部以冷却热场本体。在实际工作过程中，当热场本体需要冷却时，外部气源朝向进气组件充入冷却气体，冷却气体从进气口进入进气组件后，由于进气组件上设置有与热场本体的内部连通的出气口，冷却气体能够从出气口吹向热场本体的内部，使得热场本体内部空间的气体强制流动，从而实现了对热场本体的快速散热，提升了该风冷热场的冷却效率，有利于提升热炉的生产效率。

技术研发人员：庞爱锁,郭永胜,林佳继,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230509
技术公布日：2024/1/15