一种安全性能高的温控烧结炉的制作方法

文档序号:36850066发布日期:2024-01-26 23:08阅读:14来源:国知局
一种安全性能高的温控烧结炉的制作方法

本技术涉及温控烧结炉,更具体地说它涉及一种安全性能高的温控烧结炉。


背景技术:

1、温控烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备,烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

2、现有技术中,温控烧结炉一般由温控器、底座、烧结箱、烧结筒、放置台、加热板和保温门组成,烧结箱固定安装在底座上,烧结筒固定于烧结箱的内部,放置台位于烧结箱内,加热板安装于烧结筒的顶部,保温门铰接于烧结筒的边缘处,使用时,将需要进行烘干的硅片置于放置台上,关上保温门,加热板对硅片进行加热烘干,温度通过温控器进行控制。

3、但是,上述温控烧结炉在硅片烘干时,烧结筒内处于高温的状态,气压很大容易出现爆炸的情况发生,当工人打开保温门将硅片取出时还容易造成烫伤,安全性能较低,因此具有待改进的空间。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种安全性能高的温控烧结炉,其优点在于:提高了使用的安全性。

2、为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种安全性能高的温控烧结炉,包括温控器、底座、烧结箱、烧结筒、放置台、加热板和保温门,所述烧结箱的顶部开设有出气孔,所述出气孔与烧结筒相连通,所述出气孔的内壁插接有出气管,所述出气管的内壁设置有固定板,所述固定板的顶部开设有透气孔,所述固定板位于透气孔两侧的顶部均设置有复位弹簧,所述复位弹簧的顶部设置有移动板,所述移动板的底部设置有堵头,所述堵头与透气孔相适配。

3、通过采用上述技术方案,使用时,将需要进行烘干的硅片置于放置台上,然后关上保温门,控制烧结筒内部加热板开启,加热板对硅片进行加热,硅片加热时烧结筒内的温度会升高,温度升高烧结筒内的气压就会升高,当气压达到一定数值时,气压会顶动堵头向上移动,堵头从透气孔移出后,出气管就会进行排气,进而可降低烧结筒内的气压,避免烧结筒内气压过大造成爆炸的情况发生,提高了使用的安全性。

4、本实用新型进一步设置为:所述堵头呈圆台型结构。

5、通过采用上述技术方案,圆台型结构的设计,可使得堵头的端部较窄,提高了堵头进入至透气孔内的便捷性。

6、本实用新型进一步设置为:所述出气管顶部内壁的边角处设置有导流块。

7、通过采用上述技术方案,导流块的设置,可方便将气体向中间集中排出,提高了排气的顺畅性。

8、本实用新型进一步设置为:所述烧结箱的一侧设置有冷却箱,所述冷却箱内设置有冷却液,所述冷却箱的底部设置有水泵,所述水泵的输出端套接有冷却管,所述冷却管与烧结筒的外壁相贴合,所述冷却管远离水泵的一端与冷却箱相连通。

9、通过采用上述技术方案,当硅片完成烘干后,关闭加热板,控制水泵开启,水泵工作从冷却箱内抽取冷却液,冷却液经过冷却管时能够将烧结筒的热量带走,能够对烧结筒快速降温,避免打开保温门时造成工作人员烫伤的情况发生,提高了使用的安全性。

10、本实用新型进一步设置为:所述冷却管呈螺旋型结构,所述冷却管缠绕在烧结筒的外壁上。

11、通过采用上述技术方案,螺旋型结构的设置,可增加冷却管与烧结筒外壁之间的接触面积,提高了降温的效果。

12、本实用新型进一步设置为:所述冷却箱的一侧开设有安装孔,所述安装孔的内壁设置有半导体制冷片,所述半导体制冷片的制热端位于冷却箱的外部。

13、通过采用上述技术方案,半导体制冷片的设置,可对冷却液进行降温,避免冷却液温度过高影响对烧结筒的降温效果。

14、本实用新型进一步设置为:所述烧结筒的内壁设置有若干等距离分布的导热凸起。

15、通过采用上述技术方案,导热凸起的设置,可增加烧结筒与内部热气的接触面积,方便冷却管快速导热,提高了冷却的效果。

16、综上所述,本实用新型具有以下优点:

17、1、使用时,将需要进行烘干的硅片置于放置台上,然后关上保温门,控制烧结筒内部加热板开启,加热板对硅片进行加热,硅片加热时烧结筒内的温度会升高,温度升高烧结筒内的气压就会升高,当气压达到一定数值时,气压会顶动堵头向上移动,堵头从透气孔移出后,出气管就会进行排气,进而可降低烧结筒内的气压,避免烧结筒内气压过大造成爆炸的情况发生,提高了使用的安全性;

18、2、当硅片完成烘干后,关闭加热板,控制水泵开启,水泵工作从冷却箱内抽取冷却液,冷却液经过冷却管时能够将烧结筒的热量带走,能够对烧结筒快速降温,避免打开保温门时造成工作人员烫伤的情况发生,提高了使用的安全性;

19、3、螺旋型结构的冷却管,可增加冷却管与烧结筒外壁之间的接触面积,提高了降温的效果;半导体制冷片可对冷却液进行降温,避免冷却液温度过高影响对烧结筒的降温效果;导热凸起可增加烧结筒与内部热气的接触面积,方便冷却管快速导热,提高了冷却的效果。



技术特征:

1.一种安全性能高的温控烧结炉,包括温控器(1)、底座(2)、烧结箱(3)、烧结筒(4)、放置台(5)、加热板(6)和保温门(7),其特征在于:所述烧结箱(3)的顶部开设有出气孔,所述出气孔与烧结筒(4)相连通,所述出气孔的内壁插接有出气管(8),所述出气管(8)的内壁设置有固定板(9),所述固定板(9)的顶部开设有透气孔(10),所述固定板(9)位于透气孔(10)两侧的顶部均设置有复位弹簧(11),所述复位弹簧(11)的顶部设置有移动板(12),所述移动板(12)的底部设置有堵头(13),所述堵头(13)与透气孔(10)相适配。

2.根据权利要求1所述的一种安全性能高的温控烧结炉,其特征在于:所述堵头(13)呈圆台型结构。

3.根据权利要求2所述的一种安全性能高的温控烧结炉,其特征在于:所述出气管(8)顶部内壁的边角处设置有导流块(14)。

4.根据权利要求1所述的一种安全性能高的温控烧结炉,其特征在于:所述烧结箱(3)的一侧设置有冷却箱(15),所述冷却箱(15)内设置有冷却液,所述冷却箱(15)的底部设置有水泵(16),所述水泵(16)的输出端套接有冷却管(17),所述冷却管(17)与烧结筒(4)的外壁相贴合,所述冷却管(17)远离水泵(16)的一端与冷却箱(15)相连通。

5.根据权利要求4所述的一种安全性能高的温控烧结炉,其特征在于:所述冷却管(17)呈螺旋型结构,所述冷却管(17)缠绕在烧结筒(4)的外壁上。

6.根据权利要求5所述的一种安全性能高的温控烧结炉,其特征在于:所述冷却箱(15)的一侧开设有安装孔,所述安装孔的内壁设置有半导体制冷片(18),所述半导体制冷片(18)的制热端位于冷却箱(15)的外部。

7.根据权利要求1所述的一种安全性能高的温控烧结炉,其特征在于:所述烧结筒(4)的内壁设置有若干等距离分布的导热凸起(19)。


技术总结
本技术公开了一种安全性能高的温控烧结炉,属于温控烧结炉技术领域,其技术方案要点包括温控器、底座、烧结箱、烧结筒、放置台、加热板和保温门,所述烧结箱的顶部开设有出气孔,所述出气孔与烧结筒相连通,所述出气孔的内壁插接有出气管,所述出气管的内壁设置有固定板,所述固定板的顶部开设有透气孔,所述固定板位于透气孔两侧的顶部均设置有复位弹簧,所述复位弹簧的顶部设置有移动板,所述移动板的底部设置有堵头,所述堵头与透气孔相适配。本技术提高了使用的安全性。

技术研发人员:汤巍
受保护的技术使用者:厦门铭控仪表有限公司
技术研发日:20230524
技术公布日:2024/1/25
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