烤桨装置的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种烤桨装置。

背景技术：

1、n型电池的发射极掺杂方式主要有离子注入和高温扩散两种工艺，其中高温扩散工艺采用气态源高温扩散进行扩散掺杂，成本较低，使用广泛。

2、在高温扩散工艺中，采用三氯化硼(分子式为bcl3)作为气态源，过程中生成的氧化硼(分子式为b2o3)会覆盖在热炉的内壁以及桨的表面。氧化硼具有极强的吸水性，与空气中的水分能够发生反应并生成硼酸(分子式为h3bo3)。桨在空气中长时间闲置后，其表面的氧化硼与空气中的水分发生反应，而在进行高温扩散工艺时硼酸受热分解，产生的水分与硅片就会发生湿氧反应，导致形成的硼硅玻璃(bsg)变厚，方阻异常增高，扩散难度增加。

3、因此，亟需一种烤桨装置，以解决上述的技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种烤桨装置，能够防止附着在桨表面的硼酸在扩散过程中产生水分，进而与硅片发生湿氧反应，导致形成的硼硅玻璃变厚，方阻异常增高，扩散难度增加。

2、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

3、烤桨装置，包括第一加热组件和加热机构，上述加热机构被配置成接纳桨，上述第一加热组件设置于上述加热机构内，用于对处于空置状态下的上述桨进行烘烤处理，在上述空置状态下上述桨未装设有待处理的片状材料。

4、可选地，上述烤桨装置还包括门体，上述门体用于密封上述加热机构。

5、可选地，上述加热机构为热炉，上述第一加热组件为上述热炉的加热器。

6、可选地，上述烤桨装置包括第二加热组件，上述第二加热组件包括热风源和连接管，上述热风源用于向上述加热机构内通入热风；上述连接管与上述热风源连通，且上述连接管的部分位于上述加热机构内；上述连接管具有多个出风口，上述热风通过多个上述出风口通入上述加热机构中。

7、可选地，上述烤桨装置还包括抽气组件，上述抽气组件用于从上述加热机构内抽气。

8、可选地，上述烤桨装置还包括控制器，上述控制器和上述第一加热组件通讯连接，用于控制上述第一加热组件的启闭。

9、可选地，上述烤桨装置还包括计时器，上述控制器和上述计时器通讯连接，上述计时器用于测量上述第一加热组件的加热时间和/或上述加热机构的闲置时间，上述控制器被配置为：

10、当上述第一加热组件的加热时间达到第一预设值后关闭上述第一加热组件；

11、和/或，当上述加热机构的闲置时间达到第二预设值后开启上述第一加热组件。

12、可选地，上述烤桨装置还包括温度传感器，上述温度传感器和上述控制器通讯连接，上述温度传感器用于检测上述加热机构内的温度，上述控制器被配置为根据上述温度传感器的检测值开启和关闭上述第一加热组件；

13、和/或，上述烤桨装置还包括水分检测组件，上述水分检测组件与上述控制器通讯连接，上述水分检测组件用于检测上述桨的水分含量，上述控制器被配置为根据上述水分检测组件的检测值调节上述第一加热组件的加热功率。

14、可选地，上述烤桨装置还包括移动组件，上述移动组件传动连接于上述桨，且通讯连接于上述控制器，上述移动组件能够在上述控制器的控制下将上述桨移入或移出上述加热机构；

15、可选地，上述烤桨装置还包括转动组件，上述转动组件传动连接于上述桨，且通讯连接于上述控制器，上述转动组件能够在上述控制器的控制下驱动上述桨绕其轴线转动。

16、本实用新型的烤桨装置的有益效果在于：该烤桨装置包括第一加热组件和加热机构，第一加热组件配合加热机构能够对处于空置状态下的桨进行高效的烘烤处理，且空置状态下的桨未装设有待处理的片状材料，从而使其表面的硼酸受热分解释放水分，进而避免其表面的硼酸在进行高温扩散工艺时受热分解并产生水分，水分与硅片发生湿氧反应，导致形成的硼硅玻璃变厚，方阻异常增高，扩散难度增加。

技术特征：

1.烤桨装置，其特征在于，包括第一加热组件(101)和加热机构(1)，所述加热机构(1)被配置成接纳桨(3)，所述第一加热组件(101)设置于所述加热机构(1)内，用于对处于空置状态下的所述桨(3)进行烘烤处理，在所述空置状态下所述桨(3)未装设有待处理的片状材料。

2.根据权利要求1所述的烤桨装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的烤桨装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的烤桨装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的烤桨装置，其特征在于，

6.根据权利要求1-5中任一项所述的烤桨装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的烤桨装置，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的烤桨装置，其特征在于，

9.根据权利要求6所述的烤桨装置，其特征在于，

10.根据权利要求6所述的烤桨装置，其特征在于，

技术总结
本技术公开了一种烤桨装置。该烤桨装置包括第一加热组件和加热机构，上述加热机构被配置成接纳桨，上述第一加热组件设置于上述加热机构内，用于对处于空置状态下的上述桨进行烘烤处理，在上述空置状态下上述桨未装设有待处理的片状材料。第一加热组件配合加热机构能够对处于空置状态下的桨进行高效的烘烤处理，且空置状态下的桨未装设有待处理的片状材料，从而使其表面的硼酸受热分解释放水分，进而避免其表面的硼酸在进行高温扩散工艺时受热分解并产生水分，水分与硅片发生湿氧反应，导致形成的硼硅玻璃变厚，方阻异常增高，扩散难度增加。

技术研发人员：毛文龙,范伟,祁文杰,梁笑,刘群,林佳继
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230613
技术公布日：2024/1/15