炉门开合装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种炉门开合装置。

背景技术：

1、目前常用的炉门是旋转式炉门和升降式炉门，旋转式炉门是通过连接结构实现摆动打开或者关闭炉门的结构，旋转式炉门的结构相对较为复杂，且需要在炉口的侧面预留较大的空间实现旋转开门，从而使得热炉的占地面积较大。升降式炉门是通过驱动件驱动炉门实现打开或者关闭炉门的结构，但是这种结构的炉门不能进行前后调节，容易使得炉门和炉管之间的配合间隙较大，不利于炉管保温。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种炉门开合装置，该炉门开合装置的结构简单，组装方便，且能够确保炉门能够止抵于炉口，有利于炉管保温。

2、为实现上述技术性效果，本实用新型的技术方案如下：

3、本实用新型公开了一种炉门开合装置，包括：炉门本体；炉门过渡板，所述炉门过渡板与炉门本体相连；炉门安装板，所述炉门安装板与所述炉门过渡板相连；驱动机构，所述驱动机构与所述炉门安装板相连，以驱动所述炉门安装板升降；其中：所述炉门过渡板相对所述炉门安装板可调节。

4、在一些实施例中，所述炉门过渡板上设有调节件，所述炉门安装板上设有与所述调节件配合的调节配合部。

5、在一些具体的实施例中，所述调节配合部包括第一安装孔，所述第一安装孔为长孔，所述炉门过渡板上设有与所述第一安装孔对应设置的第二安装孔，所述调节件穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔连接所述炉门过渡板和所述炉门安装板。

6、在一些实施例中，所述炉门本体上设有安装槽，所述炉门过渡板安装于所述安装槽，且所述炉门过渡板的侧壁与所述安装槽的侧壁止抵。

7、在一些具体的实施例中，所述安装槽的底壁设有第一固定孔，所述炉门过渡板设有与所述第一固定孔对应设置的第二固定孔，固定件穿过所述第一固定孔和所述第二固定孔连接所述炉门过渡板和所述炉门本体。

8、在一些实施例中，所述炉门开合装置还包括：固定架，所述固定架用于安装所述驱动机构；导向组件，所述导向组件连接于所述炉门安装板及固定架，所述导向组件用于导向所述炉门安装板的运动。

9、在一些具体的实施例中，所述导向组件包括导向固定件和导向活动件，所述导向固定件安装于所述固定架，所述导向活动件滑动配合于所述导向固定件且与所述炉门安装板相连。

10、在一些更具体的实施例中，所述固定架的一端设有限位板，所述限位板能够止抵于所述导向活动件以避免所述导向活动件脱出所述导向固定件。

11、在一些更具体的实施例中，所述炉门安装板上设有配合槽，所述导向活动件配合于所述配合槽，且所述导向活动件相邻设置的两个侧壁止抵于所述配合槽的侧壁。

12、在一些具体的实施例中，所述固定架上设有固定板，所述驱动机构包括气缸，所述气缸的缸体连接于所述固定板，所述气缸的活塞与所述炉门安装板相连。

13、本实用新型的炉门开合装置的有益效果：先将炉门过渡板安装到炉门本体上，然后将安装有炉门本体的炉门过渡板安装到炉门安装板上，由于炉门过渡板相对炉门安装板可调节，可以根据炉门开合装置相对炉管的安装位置，调整炉门过渡板的位置，使得驱动机构驱动炉门安装板升降时，炉门本体正好止抵于炉口，确保炉门本体与炉管之间配合间隙较小，降低炉管内部的热量从炉门本体和炉管的配合间隙中散发到外界环境，从而有利于炉管保温。此外，由于该炉门开合装置仅仅通过炉门过渡板和炉门安装板就能够与驱动机构相连，不需要安装转轴、轴承等对安装要求较高的零部件，使得炉门开合装置的结构非常简单，组装也较为方便。

14、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.炉门开合装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，所述炉门过渡板(200)上设有调节件，所述炉门安装板(300)上设有与所述调节件配合的调节配合部。

3.根据权利要求2所述的炉门开合装置，其特征在于，所述调节配合部包括第一安装孔(310)，所述第一安装孔(310)为长孔，所述炉门过渡板(200)上设有与所述第一安装孔(310)对应设置的第二安装孔，所述调节件穿过所述第一安装孔(310)和所述第二安装孔连接所述炉门过渡板(200)和所述炉门安装板(300)。

4.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，所述炉门本体(100)上设有安装槽(110)，所述炉门过渡板(200)安装于所述安装槽(110)，且所述炉门过渡板(200)的侧壁与所述安装槽(110)的侧壁止抵。

5.根据权利要求4所述的炉门开合装置，其特征在于，所述安装槽(110)的底壁设有第一固定孔，所述炉门过渡板(200)设有与所述第一固定孔对应设置的第二固定孔(210)，固定件穿过所述第一固定孔和所述第二固定孔(210)连接所述炉门过渡板(200)和所述炉门本体(100)。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，所述炉门开合装置还包括：

7.根据权利要求6所述的炉门开合装置，其特征在于，所述导向组件(600)包括导向固定件(610)和导向活动件(620)，所述导向固定件(610)安装于所述固定架(500)，所述导向活动件(620)滑动配合于所述导向固定件(610)且与所述炉门安装板(300)相连。

8.根据权利要求7所述的炉门开合装置，其特征在于，所述固定架(500)的一端设有限位板(700)，所述限位板(700)能够止抵于所述导向活动件(620)以避免所述导向活动件(620)脱出所述导向固定件(610)。

9.根据权利要求7所述的炉门开合装置，其特征在于，所述炉门安装板(300)上设有配合槽(320)，所述导向活动件(620)配合于所述配合槽(320)，且所述导向活动件(620)相邻设置的两个侧壁止抵于所述配合槽(320)的侧壁。

10.根据权利要求6所述的炉门开合装置，其特征在于，所述固定架(500)上设有固定板(800)，所述驱动机构(400)包括气缸，所述气缸的缸体连接于所述固定板(800)，所述气缸的活塞与所述炉门安装板(300)相连。

技术总结
本技术公开了一种炉门开合装置，该炉门开合装置包括炉门本体、炉门过渡板、炉门安装板和驱动机构，炉门过渡板与炉门本体相连，炉门安装板与炉门过渡板相连，驱动机构与炉门安装板相连，以驱动炉门安装板升降，炉门过渡板相对炉门安装板可调节。该炉门开合装置的结构简单，组装方便，且能够确保炉门能够止抵于炉口，有利于炉管保温。

技术研发人员：董超,林佳继,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230807
技术公布日：2024/2/8