本发明涉及半导体氟化炉领域，具体涉及一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构。
背景技术：
1、半导体氟化炉是一种高温处理设备，专门用于材料氟化处理以满足半导体制造的特定需求，但是现有的氟化炉的提拉部套，存在一些刚性连接不方便，难以对准和安装，以及提拉冲击力过大等问题，这会增加设备的安装和维护使用成本，因此急需使用一种能够进行柔性连接的提拉装置，减小启动时的冲击力，减少安装和维护使用成本，提高生产效率，保证工艺的稳定性。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本发明提供一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，以解决上述至少一种技术问题。
2、本发明的技术方案是：一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，包括装置主体，其特征在于，所述装置主体包括一定位块，定位块的上下两侧均设有一提拉块，提拉块包括第一连接块，所述第一连接块通过销轴连接第二连接块，所述第二连接块通过内六角圆柱头螺钉与提升臂相连，所述第二连接块后方有一调整螺栓用固定块，调整螺栓用固定块通过调整螺栓与第二连接块相连，调整第二连接块的位置，保证连接精度；
3、所述升降臂通过升降机驱动，升降机包括一升降杆，升降臂沿着升降杆移动，升降臂的下端部设有一螺母座，螺母座通过螺母与升降杆连接。
4、本发明的提拉机构与钟罩的连接部分旁没有使用完全刚性连接，装配更加方便，由销轴作为连接，承重上升或下降时可以降低开始移动时的冲击力。减少安装和维护使用成本，提高生产效率，保证工艺的稳定性。由升降机带动提拉机构工作，提升或下降氟化炉钟罩。
5、进一步优选，所述第一连接块是一呈t型的板体，所述第一连接块的顶面朝向外侧，且所述第一连接块的顶面四个角部分别设有和钟罩连接的螺钉，所述第二连接块的上表面设有两块延长板，所述第一连接块的后端位于两块延长板之间，所述销轴分别穿过两块延长板和第一连接块的后端。
6、本发明优化了连接块的结构可以更好的降低移动时的冲击力。
7、进一步优选，所述第二连接块包括一底板，所述延长板的长度小于所述底板的长度，且所述延长板的前端与所述底板的前端齐平，所述第一连接块的顶面高于所述底板前端。
8、可以减少其他部位与钟罩的接触以免产生多余的冲击。
9、进一步优选，所述提拉块包括一底座，所述底座通过内六角螺栓与所述升降臂连接，且所述底座与升降臂的连接处呈弧形。
10、可以更好的贴合升降臂的表面，减少冲击力。
11、进一步优选，所述底板通过垫块与所述底座连接。
12、通过增加垫块可以减少冲击力。
13、进一步优选，所述定位块是一呈l型的块状结构，所述定位块的上下两侧分别与底座固定，所述定位块、所述底座与所述升降臂之间构成一中空区域。
14、尽可能减少接触以免产生多余碰撞。
15、进一步优选，所述升降臂通过无油衬套进行润滑，所述升降臂的上端设有一个无油衬套，所述升降臂的下端设有两个无油衬套，且位于下端的两个无油衬套之间设有一端面球轴承。
16、通过端面球轴承带动升降。
17、进一步优选，所述螺母座靠近最下方无油衬套的外侧。方便安装减少干扰。
1.一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，包括装置主体，其特征在于，所述装置主体包括一定位块，定位块的上下两侧均设有一提拉块，提拉块包括第一连接块，所述第一连接块通过销轴连接第二连接块，所述第二连接块通过内六角圆柱头螺钉与提升臂相连，所述第二连接块后方有一调整螺栓用固定块，调整螺栓用固定块通过调整螺栓与第二连接块相连，调整第二连接块的位置，保证连接精度；
2.根据权利要求1所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述第一连接块是一呈t型的板体，所述第一连接块的顶面朝向外侧，且所述第一连接块的顶面四个角部分别设有和钟罩连接的螺钉，所述第二连接块的上表面设有两块延长板，所述第一连接块的后端位于两块延长板之间，所述销轴分别穿过两块延长板和第一连接块的后端。
3.根据权利要求2所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述第二连接块包括一底板，所述延长板的长度小于所述底板的长度，且所述延长板的前端与所述底板的前端齐平，所述第一连接块的顶面高于所述底板前端。
4.根据权利要求3所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述提拉块包括一底座，所述底座通过内六角螺栓与所述升降臂连接，且所述底座与升降臂的连接处呈弧形。
5.根据权利要求4所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述底板通过垫块与所述底座连接。
6.根据权利要求5所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述定位块是一呈l型的块状结构，所述定位块的上下两侧分别与底座固定，所述定位块、所述底座与所述升降臂之间构成一中空区域。
7.根据权利要求1所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述升降臂通过无油衬套进行润滑，所述升降臂的上端设有一个无油衬套，所述升降臂的下端设有两个无油衬套，且位于下端的两个无油衬套之间设有一端面球轴承。
8.根据权利要求7所述的一种氟化炉用钟罩提拉部套提拉结构，其特征在于，所述螺母座靠近最下方无油衬套的外侧。