一种剥离液回收处理冷凝装置的制作方法

文档序号:26969984发布日期:2021-10-16 10:00阅读:59来源:国知局
一种剥离液回收处理冷凝装置的制作方法

1.本实用新型涉及剥离液回收技术领域,具体为一种剥离液回收处理冷凝装置。


背景技术:

2.因为在印刷电路板、液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中,需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序,在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路,而当微电路形成后,就需要使用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去,现有的剥离液回收时由于废弃剥离液温度较高,需要对其进行冷却,为此,本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置。


技术实现要素:

3.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种剥离液回收处理冷凝装置,包括冷凝水箱,所述冷凝水箱的顶部贯穿有入液管,且入液管的底端延伸至冷凝水箱的内部,所述入液管的底端连通有螺旋管,且螺旋管远离入液管的一端连通有出液管,所述出液管的底端延伸至冷凝水箱的外部,所述螺旋管的外周固定连接有第一齿轮,且冷凝水箱的底部固定连接有l形搭载板,所述l形搭载板的顶部固定连接有驱动电机,且驱动电机输出轴的顶端延伸至冷凝水箱的内部,所述驱动电机输出轴的顶端固定连接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮,所述冷凝水箱的外周固定连接有支撑架,且支撑架的顶部固定连接有水泵,所述冷凝水箱的右侧安装有制冷机。
5.优选的,所述水泵抽水口与冷凝水箱的右侧之间通过连接管相连通,且水泵抽出水口与制冷机的顶部之间通过连接管相连通,所述制冷机的底部与冷凝水箱的右侧之间通过连接管相连通。
6.优选的,所述入液管的外周与冷凝水箱的贯穿处为固定连接,且出液管的外周与冷凝水箱的贯穿处为固定连接,所述驱动电机输出轴的外周与冷凝水箱的贯穿处为转动连接。
7.优选的,所述入液管与螺旋管的连接处通过转轴转动连接,且螺旋管与出液管的连接处通过转轴转动连接。
8.有益效果
9.本实用新型提供了一种剥离液回收处理冷凝装置。与现有技术相比具备以下有益效果:
10.该剥离液回收处理冷凝装置,通过在水泵抽取冷凝水箱内的液体,送入制冷机内制冷后重新输入冷凝水箱,从而保持了冷凝水箱内的冷凝温度,并且通过水循环而不是直接排放,降低了设备的使用成本,回收的剥离液通过入液管进入螺旋管,由于螺旋管位于冷凝水箱,回收剥离液内的热量被冷凝水箱内的水液吸收,并且通过驱动电机转动带动螺旋
管转动,螺旋管转动避免了螺旋管附近的水液吸收的热量多,远离螺旋管附近的水液吸收的热量少,导致的后续冷凝效果不理想的情况发生,提高了冷凝质量。
附图说明
11.图1为本实用新型的主视图;
12.图2为本实用新型图1中a处的局部放大图。
13.图中:1、冷凝水箱;2、入液管;3、螺旋管;4、出液管;5、第一齿轮;6、l形搭载板;7、驱动电机;8、第二齿轮;9、支撑架;10、水泵;11、制冷机。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
15.请参阅图1

2,本实用新型提供一种技术方案:一种剥离液回收处理冷凝装置,包括冷凝水箱1,冷凝水箱1的顶部贯穿有入液管2,且入液管2的底端延伸至冷凝水箱1的内部,入液管2的外周与冷凝水箱1的贯穿处为固定连接,入液管2的底端连通有螺旋管3,入液管2与螺旋管3的连接处通过转轴转动连接,且螺旋管3远离入液管2的一端连通有出液管4,且螺旋管3与出液管4的连接处通过转轴转动连接,出液管4的底端延伸至冷凝水箱1的外部,且出液管4的外周与冷凝水箱1的贯穿处为固定连接,螺旋管3的外周固定连接有第一齿轮5,且冷凝水箱1的底部固定连接有l形搭载板6,l形搭载板6的顶部固定连接有驱动电机7,且驱动电机7输出轴的顶端延伸至冷凝水箱1的内部,驱动电机7输出轴的外周与冷凝水箱1的贯穿处为转动连接,驱动电机7输出轴的顶端固定连接有与第一齿轮5相啮合的第二齿轮8,冷凝水箱1的外周固定连接有支撑架9,且支撑架9的顶部固定连接有水泵10,冷凝水箱1的右侧安装有制冷机11,水泵10抽水口与冷凝水箱1的右侧之间通过连接管相连通,且水泵10抽出水口与制冷机11的顶部之间通过连接管相连通,制冷机11的底部与冷凝水箱1的右侧之间通过连接管相连通,通过在水泵10抽取冷凝水箱1内的液体,送入制冷机11内制冷后重新输入冷凝水箱1,从而保持了冷凝水箱1内的冷凝温度,并且通过水循环而不是直接排放,降低了设备的使用成本,回收的剥离液通过入液管2进入螺旋管3,由于螺旋管3位于冷凝水箱1,回收剥离液内的热量被冷凝水箱1内的水液吸收,并且通过驱动电机7转动带动螺旋管3转动,螺旋管3转动避免了螺旋管3附近的水液吸收的热量多,远离螺旋管3附近的水液吸收的热量少,导致的后续冷凝效果不理想的情况发生,提高了冷凝质量。
16.同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
17.需要说明的是,在本文中,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变,则相对位置关系可能发生改变,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过
程、方法、物品或者设备所固有的要素。
18.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:
1.一种剥离液回收处理冷凝装置,包括冷凝水箱(1),所述冷凝水箱(1)的顶部贯穿有入液管(2),且入液管(2)的底端延伸至冷凝水箱(1)的内部,其特征在于:所述入液管(2)的底端连通有螺旋管(3),且螺旋管(3)远离入液管(2)的一端连通有出液管(4),所述出液管(4)的底端延伸至冷凝水箱(1)的外部,所述螺旋管(3)的外周固定连接有第一齿轮(5),且冷凝水箱(1)的底部固定连接有l形搭载板(6),所述l形搭载板(6)的顶部固定连接有驱动电机(7),且驱动电机(7)输出轴的顶端延伸至冷凝水箱(1)的内部,所述驱动电机(7)输出轴的顶端固定连接有与第一齿轮(5)相啮合的第二齿轮(8),所述冷凝水箱(1)的外周固定连接有支撑架(9),且支撑架(9)的顶部固定连接有水泵(10),所述冷凝水箱(1)的右侧安装有制冷机(11)。2.根据权利要求1所述的一种剥离液回收处理冷凝装置,其特征在于:所述水泵(10)抽水口与冷凝水箱(1)的右侧之间通过连接管相连通,且水泵(10)抽出水口与制冷机(11)的顶部之间通过连接管相连通,所述制冷机(11)的底部与冷凝水箱(1)的右侧之间通过连接管相连通。3.根据权利要求1所述的一种剥离液回收处理冷凝装置,其特征在于:所述入液管(2)的外周与冷凝水箱(1)的贯穿处为固定连接,且出液管(4)的外周与冷凝水箱(1)的贯穿处为固定连接,所述驱动电机(7)输出轴的外周与冷凝水箱(1)的贯穿处为转动连接。4.根据权利要求1所述的一种剥离液回收处理冷凝装置,其特征在于:所述入液管(2)与螺旋管(3)的连接处通过转轴转动连接,且螺旋管(3)与出液管(4)的连接处通过转轴转动连接。

技术总结
本实用新型公开了一种剥离液回收处理冷凝装置,包括冷凝水箱,冷凝水箱的顶部贯穿有入液管,本实用新型涉及剥离液回收技术领域。该剥离液回收处理冷凝装置,通过在水泵抽取冷凝水箱内的液体,送入制冷机内制冷后重新输入冷凝水箱,从而保持了冷凝水箱内的冷凝温度,并且通过水循环而不是直接排放,降低了设备的使用成本,回收的剥离液通过入液管进入螺旋管,由于螺旋管位于冷凝水箱,回收剥离液内的热量被冷凝水箱内的水液吸收,并且通过驱动电机转动带动螺旋管转动,螺旋管转动避免了螺旋管附近的水液吸收的热量多,远离螺旋管附近的水液吸收的热量少,导致的后续冷凝效果不理想的情况发生,提高了冷凝质量。提高了冷凝质量。提高了冷凝质量。


技术研发人员:倪进娟 鲍大利 孙志龙
受保护的技术使用者:合肥茂腾环保科技有限公司
技术研发日:2021.03.29
技术公布日:2021/10/15
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