一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜机，尤其涉及一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

2、然而，目前的真空镀膜机的散热通常是采用自然冷却，散热效率低，容易因为高温造成真空镀膜机损坏的问题，因此我们提出了一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决目前的真空镀膜机的散热通常是采用自然冷却，散热效率低，容易因为高温造成真空镀膜机损坏的缺点，而提出的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括机体，所述机体内固定设置有换热管，所述机体的后侧固定设置有滤网，所述机体内滑动设置有滑动板，所述滑动板的前侧转动设置有两个连接轴，所述滑动板的后侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与位于上方的连接轴固定连接设置，两个连接轴的外侧均固定套设有皮带轮，两个皮带轮上传动设置有同一个皮带，两个连接轴的前端均固定设置有扇叶，所述机体的左侧固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴上固定设置有凸轮，所述机体的左侧滑动设置有滑杆，所述滑杆的左端固定设置有侧板，所述凸轮与侧板滚动接触，所述侧板的右侧固定设置有弹簧，所述弹簧固定设置在机体的左侧，所述滑杆延伸至机体内，所述滑杆的底侧固定设置有齿条，所述机体内转动设置有卡轴，所述卡轴的外侧固定套设有齿轮与条板，所述齿条与齿轮相啮合，所述条板的前侧固定设置有圆轴，所述滑动板套设在圆轴的外侧。

4、优选的，所述机体内固定设置有两个限位杆，所述滑动板滑动套设在两个限位杆的外侧。

5、优选的，所述机体的左侧固定安装有安装板，所述第二电机固定安装在安装板上。

6、优选的，所述机体的左侧开设有滑孔，所述滑杆滑动设置在滑孔内。

7、优选的，所述机体的顶侧内壁上固定设置有竖板，所述卡轴转动设置在竖板的前侧。

8、优选的，所述滑动板的前侧开设有矩形孔，所述滑动板通过矩形孔套设在圆轴的外侧。

9、本实用新型中，所述的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，通过换热管、滑动板、第一电机、两个连接轴、两个皮带轮与皮带的传动连接设置、两个扇叶、第二电机、凸轮与侧板的滚动接触、滑杆、弹簧、齿条与齿轮的啮合传动、转动设置的卡轴、条板以及圆轴与滑板的共同配合，可以使得两个扇叶往复左右运动对机体内进行吹风散热，散热效率高；

10、本实用新型结构设计合理，通过换热管通入冷却水换热的同时，使得两个扇叶往复左右运动对机体内进行吹风散热，散热效率高，散热效果好。

技术特征：

1.一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括机体（1），其特征在于，所述机体（1）内固定设置有换热管（2），所述机体（1）的后侧固定设置有滤网（3），所述机体（1）内滑动设置有滑动板（4），所述滑动板（4）的前侧转动设置有两个连接轴（5），所述滑动板（4）的后侧固定安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的输出轴与位于上方的连接轴（5）固定连接设置，两个连接轴（5）的外侧均固定套设有皮带轮（7），两个皮带轮（7）上传动设置有同一个皮带（8），两个连接轴（5）的前端均固定设置有扇叶（9），所述机体（1）的左侧固定安装有第二电机（10），所述第二电机（10）的输出轴上固定设置有凸轮（11），所述机体（1）的左侧滑动设置有滑杆（12），所述滑杆（12）的左端固定设置有侧板（13），所述凸轮（11）与侧板（13）滚动接触，所述侧板（13）的右侧固定设置有弹簧（14），所述弹簧（14）固定设置在机体（1）的左侧，所述滑杆（12）延伸至机体（1）内，所述滑杆（12）的底侧固定设置有齿条（15），所述机体（1）内转动设置有卡轴，所述卡轴的外侧固定套设有齿轮（16）与条板（17），所述齿条（15）与齿轮（16）相啮合，所述条板（17）的前侧固定设置有圆轴（18），所述滑动板（4）套设在圆轴（18）的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述机体（1）内固定设置有两个限位杆，所述滑动板（4）滑动套设在两个限位杆的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述机体（1）的左侧固定安装有安装板，所述第二电机（10）固定安装在安装板上。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述机体（1）的左侧开设有滑孔，所述滑杆（12）滑动设置在滑孔内。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述机体（1）的顶侧内壁上固定设置有竖板，所述卡轴转动设置在竖板的前侧。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述滑动板（4）的前侧开设有矩形孔，所述滑动板（4）通过矩形孔套设在圆轴（18）的外侧。

技术总结
本技术属于真空镀膜机技术领域，尤其为一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，针对目前的真空镀膜机的散热通常是采用自然冷却，散热效率低，容易因为高温造成真空镀膜机损坏的问题，现提出如下方案，其包括机体，所述机体内固定设置有换热管，所述机体的后侧固定设置有滤网，所述机体内滑动设置有滑动板，所述滑动板的前侧转动设置有两个连接轴，所述滑动板的后侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与位于上方的连接轴固定连接设置，两个连接轴的外侧均固定套设有皮带轮。本技术结构设计合理，通过换热管通入冷却水换热的同时，使得两个扇叶往复左右运动对机体内进行吹风散热，散热效率高，散热效果好。

技术研发人员：王健平,程小林,王姣骄
受保护的技术使用者：成都光冠嘉富科技有限公司
技术研发日：20220519
技术公布日：2024/1/12