多种流量输出的冷却水系统的制作方法

本技术涉及半导体，特别涉及一种多种流量输出的冷却水系统。

背景技术：

1、半导体领域功能水设备中通常会使用到离心泵、气体发生器，这些装置在运转过程中会产生大量的热量。离心泵内热量集聚会引发被输送流体的温升，更严重则会导致管路破裂而发生液体泄漏事故；气体发生器内热量集聚会导致发生器的效率下降、功耗增加，进而引发设备停机。这些高负荷、高转速的装置需要采取冷却降温手段来抑制温升，一般会采用强迫水冷的方式来降温。由于离心泵、气体发生器对冷却水的流量、冷却水的纯净度各不相同；同时，功能水设备中存在多个冷却水使用接驳点，需要管路系统中有多个支路和接头，从而也到导致了组装设备时的繁琐。

技术实现思路

1、根据本实用新型实施例，提供了一种多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备的冷却水需求，包含：入口组件、分配装置、管路组件和出口组件。

2、入口组件与分配装置相连接，为分配装置提供冷却水；

3、管路组件用于连接入口组件与分配装置，并且连接分配装置与设备，分配装置用于将冷却水通过管路组件分配至不同的设备；

4、出口组件与分配装置相连接，用于排出换热后的冷却水。

5、进一步，入口组件包含：控制阀和调节阀；

6、控制阀用于控制冷却水的流动；

7、调节阀用于调节冷却水的流量和压力。

8、进一步，控制阀为截止阀和/或第一气动阀。

9、进一步，调节阀为减压阀。

10、进一步，分配装置包含：阀体、接入口和若干接出口；

11、接入口和若干接出口分别与阀体相连接，接入口通过管路组件与入口组件相连接，若干接出口分别通过管路组件与不同的设备和出口组件相连接。

12、进一步，若干接出口的口径不同。

13、进一步，管路组件采用pfa材料。

14、进一步，出口组件为第二气动阀。

15、进一步，还包含过滤器；过滤器设置在管路组件上，在分配装置与设备之间。

16、根据本实用新型实施例的多种流量输出的冷却水系统，能满足不同设备对冷却水流量、纯度的不同需求，实现流量的精确调节，保证每台设备在不同工作状态下都能获得所需的恰到好处的冷却效果，又能在设备组装时少用管路、接头，降低了系统的复杂性，优化了设备运行过程中的冷却管理，提高了生产效率和质量控制。

17、要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。

技术特征：

1.一种多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备的冷却水需求，其特征在于，包含：入口组件、分配装置、管路组件和出口组件；

2.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述入口组件包含：控制阀和调节阀；

3.如权利要求2所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述控制阀为截止阀和/或第一气动阀。

4.如权利要求2所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述调节阀为减压阀。

5.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述分配装置包含：阀体、接入口和若干接出口；

6.如权利要求5所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述若干接出口的口径不同。

7.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述管路组件采用pfa材料。

8.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述出口组件为第二气动阀。

9.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，还包含过滤器；

技术总结
本技术公开了一种多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备的冷却水需求，包含：入口组件、分配装置、管路组件和出口组件。入口组件与分配装置相连接，为分配装置提供冷却水；管路组件用于连接入口组件与分配装置，并且连接分配装置与设备，分配装置用于将冷却水通过管路组件分配至不同的设备；出口组件与分配装置相连接，用于排出换热后的冷却水。本技术能满足不同设备对冷却水流量、纯度的不同需求，实现流量的精确调节，保证每台设备在不同工作状态下都能获得所需的恰到好处的冷却效果，又能在设备组装时少用管路、接头，降低了系统的复杂性，优化了设备运行过程中的冷却管理，提高了生产效率和质量控制。

技术研发人员：吕南,蔡昆伦
受保护的技术使用者：赛芈科技（上海）有限公司
技术研发日：20230802
技术公布日：2024/2/8